Tooted

Tantaalkarbiidi kate

VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.


Peamised tooted onTaC-kattega juhtrõngas, CVD TaC-kattega kolme kroonlehega juhtrõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu, CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor, Tantaalkarbiidist katterõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit, TaC katte pöörlemissusseptor, Tantaalkarbiidist rõngas, TaC katte pöörlemisplaat, TaC-ga kaetud vahvli sustseptor, TaC-kattega deflektorirõngas, CVD TaC kate, TaC-kattega padrunjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.


TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. Eelis on näidatud alloleval pildil:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaksimisprotsess. Samuti on sellel laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.


Põhifunktsioonid:

 ●Temperatuuri stabiilsus

 ●Ultra kõrge puhtusastmega

 ●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes

 ●Vastupidavus termilisele materjalile

 ●Tugev nake grafiidiga

 ●Konformne kattekiht

 Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)


Rakendused:

 ●Vahvlikandja

 ● Induktiivne küttesusseptor

 ● Resistiivne kütteelement

 ●Satelliidi ketas

 ●Dušipea

 ●Juhtrõngas

 ●LED Epi vastuvõtja

 ●Sissepritse otsik

 ●Maskeeriv rõngas

 ● Kuumakaitse


Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus 14,3 (g/cm³)
Eriemissioon 0.3
Soojuspaisumise koefitsient 6.3 10-6/K
Kõvadus (HK) 2000 HK
Vastupidavus 1 × 10-5Ohm*cm
Termiline stabiilsus <2500 ℃
Grafiidi suurus muutub -10-20 um
Katte paksus ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)


TaC katte EDX andmed

EDX data of TaC coating


TaC katte kristallstruktuuri andmed:

Element Aatomiprotsent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskmine
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -kaetud rõngas SIC ühekristalli PVT kasvuks

TAC -kaetud rõngas SIC ühekristalli PVT kasvuks

Hiina ühe juhtiva TAC-katte tootetarnijana suudab Vetek Semiconductor pakkuda klientidele kvaliteetseid TAC-kattega kohandatud osi. TAC -i kaetud rõngas SIC ühekristalli PVT kasvuks on üks Vetek Semiconductori silmapaistvamaid ja küpsemaid tooteid. See mängib olulist rolli SIC kristalliprotsessi PVT kasvus ja aitab klientidel kasvatada kvaliteetseid SIC-kristalle. Ootan teie järelepärimist.
CVD TAC-i kaetud kolme petaalse juhtrõngas

CVD TAC-i kaetud kolme petaalse juhtrõngas

Vetek Semiconductor on kogenud palju aastaid tehnoloogilist arengut ja omandanud CVD TAC -kattekatte juhtiva protsessitehnoloogia. CVD TAC-i kaetud kolme petaalse juhendi rõngas on üks Vetek Semiconductori kõige küpsematest CVD TAC-kattekatte toodetest ja see on oluline komponent SIC kristallide valmistamiseks PVT-meetodil. Vetek Semiconductori abiga usun, et teie SIC kristallide tootmine on sujuvam ja tõhusam.
Tantaalkarbiidkatte rõngas

Tantaalkarbiidkatte rõngas

Veteki pooljuhtide tantaalkarbiidkatte rõngas on pooljuhtide tööstuses asendamatu komponent, eriti SIC vahvlite söövitamisel. Selle grafiidipõhja ja TAC-katte kombinatsioon tagab kõrge temperatuuri ja keemiliselt agressiivse keskkonnas suurepärase jõudluse. Suurenenud termilise stabiilsuse, korrosioonikindluse ja mehaanilise tugevusega aitab tantaalkarbiidkattega rõngas pooljuhtide tootjatel saavutada täpsust, töökindlust ja kvaliteetseid tulemusi nende tootmisprotsessides.
TaC katterõngas

TaC katterõngas

TAC-katterõngas on suure jõudlusega komponent, mis on mõeldud pooljuhtide protsessides kasutamiseks, Veteki pooljuhtide TAC-kattega rõngas on kõrge termiline stabiilsus, keemilise korrosiooni vastupidavus ja suurepärane mehaaniline tugevus ning seda kasutatakse spetsiaalselt SIC-vahvlite hoidmiseks ja toetamiseks söövitusprotsessi ajal, söövitusprotsessi ajal, söövitusprotsessis, ja seda toetavad SIC-vahvlid, kus kvaliteetsete vahvlite saavutamiseks on hädavajalikud täpsed kontroll ja vastupidavus. Ootame teie edasist konsultatsiooni.
TAC -katte tricible

TAC -katte tricible

Hiinas professionaalse TAC -kattega tiigli tarnijana ja tootjana mängib Vetek Semiconductori TAC -kattega tiiglitel asendamatu roll pooljuhtide ühe kristalli kasvuprotsessis koos suurepärase soojusjuhtivuse, silmapaistva keemilise stabiilsuse ja suurenenud korrosioonikindlusega. Tere tulemast oma täiendavaid päringuid.
Tantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngas

Tantaalkarbiidiga kaetud juhtrõngas

Hiina juhtiva TAC -kattejuhendi rõnga tarnijana ja tootjana on Vetek Semicondulum karbiidiga kaetud juhtrõngas oluline komponent, mida kasutatakse reaktiivsete gaaside voolavuse juhendamiseks ja optimeerimiseks PVT (füüsilise auru transpordi) meetodil. See soodustab SIC üksikute kristallide ühtlast sadestumist kasvutsoonis, kohandades gaasivoolu jaotust ja kiirust. Vetek Semiconductor on juhtiv TAC -i kattejuhendi rõngaste tootja ja tarnija Hiinas ja isegi maailmas ning ootame teie konsultatsiooni.
Hiinas professionaalse Tantaalkarbiidi kate tootja ja tarnijana on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite Hiinas valmistatud täiustatud ja vastupidavat Tantaalkarbiidi kate osta, võite jätta meile sõnumi.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept