VeTek semiconductor is a leading manufacturer of Tantalum Carbide Coating materials for the semiconductor industry. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Passed ISO9001, VeTek Semiconductor has good control on quality. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.
Peamised tooted on TaC-kattega juhtrõngas, CVD TaC-ga kaetud kolme kroonlehega juhtrõngas, tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu, CVD TaC-kattega planetaarne ränikarbiidi epitaksiaalne sustseptor, tantaalkarbiidiga kaetud katterõngas, tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit, TaC-kattega plaatkattega taC-karbiidi kattekiht, tantaalkarbiidi kattekiht, TaC, TaC kaetud vahvli susceptor, TaC-ga kaetud deflektorirõngas, CVD TaC-katte kate, TaC-kattega padrun jne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.
TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. Eelis on näidatud alloleval pildil:
Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile kuni 3880 °C, suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksia protsessidele, nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaksia protsess. Sellel on ka laiaulatuslik SiC kristallide kasvatamise meetod.
Põhifunktsioonid
● Temperatuuristabiilsus kuni 2500°C ja suurepärane vastupidavus termilisele šokile.
● Ülikõrge puhtusastmega (<5ppm) ja tugev nakkuvus grafiidiga tagab minimaalse osakeste tekke.
● Suurepärane vastupidavus H₂, NH₃, SiH₄ ja Si aurudele karmides protsessikeskkondades.
● Konformne kattekiht, mille läbimõõt on kuni 750 mm ja mis on ainulaadselt saadaval Hiinas.
Toote spetsifikatsioon
VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:
| TaC katte füüsikalised omadused |
| Tihedus |
14,3 g/cm³ |
| Kõvadus |
2000 HK |
| Soojuspaisumine |
6,3 × 10⁻⁶/K |
| Vastupidavus |
1×10⁻⁵ Ohm·cm |
| Termiline stabiilsus |
<2500°C |
| Katte paksus |
≥20 μm (tavaline 35±10 μm) |
Karbiidkate (TaC) mikroskoopilisel ristlõikel:
TaC katte EDX andmed:
TaC katte kristallstruktuuri andmed:
| Element |
Aatomiprotsent |
|
|
Pt. 1 |
Pt. 2 |
Pt. 3 |
Keskmine |
| C K |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| Ta M |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
Rakendused
To meet the diverse needs of semiconductor processes, VeTek offers targeted Tantalum Carbide Coating products. Järgmises tabelis on need klassifitseeritud peamiste rakendusvaldkondade järgi, loetledes tüüpilised komponendid ja rakendatavad protsessid.
| Rakendusväli |
Tüüpilised tooted |
Rakenduse kirjeldus |
| SiC epitaksia |
CVD TaC-kattega planetaarsusseptor,TaC-ga kaetud vahvli sustseptor,TaC-kattega juhtrõngas
|
Sobib kõrge temperatuuriga SiC epitaksiaalseteks protsessideks (nt LPE meetod), tagades kõrge termilise stabiilsuse ja vähese saastumise liidese, et tagada kile ühtlus. |
| GaN / LED Epitaxy (MOCVD) |
Dušipea, satelliitketas, maskeerimisrõngas, kuumakaitse, süstimisotsik |
Sobib Aixtroni MOCVD süsteemidele, on vastupidav H₂/NH3 korrosioonile, vähendab osakeste saastumist ja parandab LED-i epitaksiaalset saagist. |
| SiC kristallide kasvatamine (PVT meetod) |
TaC-ga kaetud poorne grafiit,TaC-ga kaetud poolkuu,juhtrõngas,kaas,chuck
|
Kasutatakse PVT SiC valuploki kasvatamisel, talub kuni 2500°C, hoiab ära grafiidireaktsioonid ja tagab kristallide puhtuse. |
| Kõrge temperatuuriga kütte- ja tugikomponendid |
Induktiivne küttesusseptor,takistuslik kütteelement, vahvlikandja
|
Sobib induktsioon- või takistusküttesüsteemidele, pakkudes kõrget kõvadust ja vastupidavust termilisele löögile, pikendades komponentide eluiga 3–5 korda. |
Üksikasjalikumad protsesside sobitamise lahendused leiate aadressiltRänikarbiidi epitaksiaseotud rakenduse leht.
Toetame kliendi nõudmistel põhinevaid kohandatud teenuseid. Passed ISO9001 with good quality control.
Tere tulemast meiega täiendava konsultatsiooni saamiseks ühendust võtma või jätke sõnum
