TaC-ga kaetud grafiitvahvli katterõngas

Peamised tehnilised eelised

• Erakordne keemiline vastupidavus: konstrueeritud taluma karme söövitusgaase (H₂, NH₃, HCl) temperatuurivahemikus 1200°C kuni 2000°C.

• Soojuspaisumise sobitamine: Meie patenteeritud CVD-protsess tagab, et TaC-kattel on optimeeritud CTE (termopaisumise koefitsient) sobivus grafiidist substraadiga, vältides koorumist või pragunemist kiire termilise tsükli ajal.

• Suurepärane osakeste kontroll: Poorse grafiidi täieliku sulgemisega välistab TaC kiht osakeste levimise, suurendades otseselt teie vahvli saagist ja vähendades reaktori seisakuid.

• Pikendatud kasutusiga: Väga kulumiskindel pind, mis peab vastu korduvatele puhastustsüklitele, pakkudes oluliselt madalamat omamiskulu (CoO) võrreldes katmata või SiC-ga kaetud alternatiividega.

Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel

TaC-ga kaetud grafiitvahvli katterõnga tooteparameeter

Miks valida meie TaC katterõngad?

Mõistame, et pooljuhtide valmistamisel võrdub töökindlus kasumlikkusega. Meie TaC-ga kaetud grafiidist vahvlikatte rõngad on partiiliselt testitud katte tiheduse ja puhtuse osas. Olenemata sellest, kas lähete üle 6-tolliste vahvlite tootmiselt 8-tollistele vahvlitele või optimeerite kõrge temperatuuriga MOCVD-protsessi, meie rõngad pakuvad maailmatasemel epitakseerimiseks vajalikku termilist ja keemilist kaitset.