VeTek Semiconductor pakub spetsiaalset grafiiti nagu silikoonitud grafiit, pürolüütiline süsinik, poorne grafiit, klaasjas süsinikkate, kõrge puhtusastmega grafiitleht ja kõrge puhtusastmega isostaatiline grafiit on mitut tüüpi spetsiaalseid grafiitmaterjale, millel on ühised omadused ja rakendused. Siin on nende funktsioonide ja rakenduste lühitutvustus:
● Silikoonitud grafiit: silikoonitud grafiit on spetsiaalne grafiitmaterjal, mis saadakse grafiidi kombineerimisel räniühenditega. Sellel on suurepärane vastupidavus kõrgele temperatuurile, korrosioonikindlus ja mehaanilised omadused. Silikoonitud grafiiti kasutatakse tavaliselt kõrgtemperatuurilistes ahjudes, korrosioonikindlates seadmetes ja pooljuhtide tootmises.
● Pürolüütiline süsinik: pürolüütiline süsinik on süsinikmaterjal, mis saadakse orgaaniliste ainete (nt kivisüsi ja naftakoksi) kõrgtemperatuursel pürolüüsil. Sellel on kõrge puhtusaste, tihedus, tugevus ja madal elektrijuhtivus. Pürolüütilist süsinikku kasutatakse laialdaselt kõrge temperatuuriga materjalide ja konstruktsioonikomponentidena pooljuhtides, keemiaseadmetes, kosmosetööstuses ja muudes valdkondades.
● Poorne grafiit: poorne grafiit on spetsiaalne grafiitmaterjal, millel on mikro- ja mesopoorsed struktuurid. Sellel on suur eripind ja poorsus, pakkudes suurepäraseid adsorptsiooni- ja soojusjuhtivusomadusi. Poorset grafiiti kasutatakse tavaliselt gaasi eraldamisel, SiC kristallide kasvatamisel ja muudel rakendustel.
● Klaasjas süsinikkate: Klaasjas süsinikkate viitab klaasja süsinikmaterjali pinnakattena kandmise tehnikale. Sellel on suurepärane korrosioonikindlus, kulumiskindlus ja elektrijuhtivus. Klaasseid süsinikkatteid kasutatakse sageli korrosioonikindlates katetes, E-Beam Gun kattematerjalides ja muudes pooljuhtväljades.
● Kõrge puhtusastmega isostaatiline grafiit: kõrge puhtusastmega isostaatiline grafiit on kõrge puhtusastmega spetsiaalne grafiitmaterjal, mis on valmistatud kõrge temperatuuriga isostaatilise pressimise protsessiga. Sellel on ühtlane mikrostruktuur, suur tihedus ja madal hapnikusisaldus. Kõrge puhtusastmega isostaatilist grafiiti kasutatakse laialdaselt täppistöötluses, soojust hajutavates materjalides, pooljuhtide tootmises, fotogalvaanikas, kosmosetööstuses ja muudes tööstusharudes.
Kõrge puhtusastmega grafiitpaber on pooljuhtide tööstuses kasutatav spetsiaalne materjal. Oma erakordse soojus- ja elektrijuhtivusega mängib see olulist rolli sellistes rakendustes nagu jahutusradiaatorid, soojusliidese materjalid ja elektriisolatsioon. Kõrge puhtusastmega grafiitpaberi kerge ja paindlik olemus muudab selle ideaalseks soojusjuhtimise parandamiseks ja pooljuhtseadmete jõudluse optimeerimiseks. Selle kõrge puhtusaste (lisandisisaldus alla 5 ppm) tagab usaldusväärse ja tõhusa töö, muutes selle väärtuslikuks komponendiks pooljuhtide valmistamisel ja kokkupanekul.
Need spetsiaalsed grafiitmaterjalid pakuvad oma vastavates valdkondades ainulaadseid omadusi ja kasutuseeliseid. Nad mängivad olulist rolli kõrge temperatuuriga keskkondades, korrosioonikindluses, elektroonikas, energeetikas, keemiatööstuses, kosmosetööstuses ja pooljuhtide tööstuses, pakkudes olulist tuge nende sektorite edusammudele ja uuendustele.
Põhifunktsioonid
● Ülikõrge puhtusastmega valikud, mille lisandite tase on alla 5 ppm kriitiliste pooljuhtprotsesside jaoks.
● Suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus ja termilise šoki vastupidavus, mis sobib PVT SiC kristallide kasvatamiseks ja vaakumahjude jaoks.
● Erinevad materjalivormid: isostaatiline grafiit, poorne grafiit, silikoonitud grafiit, PyC kate, klaasjas süsinikkate ja painduvad grafiitlehed.
● Suurepärane korrosioonikindlus, kulumiskindlus ja kontrollitud poorsus gaasihalduse ja soojusvälja rakenduste jaoks.
● Ettevõttesisene töötlemis- ja katmisvõimalus (SiC / TaC / PyC), mis võimaldab ühekordselt kohandatud lahendusi.
● Ühildub suuremate pooljuhtide ja kristallide kasvatamise seadmete platvormidega.
Toote spetsifikatsioonid
| Pürolüütilise süsiniku (PyC) katte parameeter |
| Üksus |
Üksus |
väärtus |
| Kristalli struktuur |
-
|
Kuusnurkne |
| Joondamine |
-
|
Suunatud või mitteorienteeritud piki 001 suunda |
| Puistetihedus |
g/cm³ |
~2.24 |
| Mikrostruktuur |
-
|
Polükristalliline/mitmekihiline grafeen |
| Kõvadus |
GPa |
1.1
|
| Elastne moodul |
GPa |
10
|
| Tüüpiline paksus |
μm |
30-100 |
| Pinna karedus |
μm |
1.5
|
| Toote puhtus |
ppm |
≤5 ppm |
Rakendused
Pooljuht- ja kõrgtemperatuuriliste protsesside erinevate vajaduste rahuldamiseks pakub VeTek spetsiaalseid grafiiditooteid. Järgmises tabelis on need klassifitseeritud peamiste rakendusvaldkondade järgi, loetledes tüüpilised materjalid/komponendid ja rakendatavad protsessid:
| Rakendusväli |
Tüüpilised materjalid/tooted |
Rakenduse kirjeldus |
| SiC Crystal Growth (PVT) |
Poorne grafiit, PyC-kattega grafiitrõngas, isostaatiline grafiiditiigel, juhtrõngas
|
Kasutatakse PVT SiC kristallide kasvu termilistes väljades; tagab kontrollitud aurutranspordi, kõrge puhtuse ja termilise stabiilsuse kuni >2200°C, vähendades osakeste saastumist. |
| Pooljuhtide epitaksia / MOCVD |
küttekehad, PyC / klaasjad süsinikkattega osad
|
Kõrge puhtusastmega soojusvälja komponendid Si/SiC/GaN epitaksia ja MOCVD süsteemide jaoks; suurepärane temperatuuri ühtlus ja keemiline inertsus. |
| Kõrgtemperatuurilised ahjud ja vaakum |
Grafiitküttekehad, Kolme kroonlehega grafiittiigel
|
Korrosioonikindlad ja termiliselt stabiilsed materjalid vaakumahjudele, kuumatsooni küttekehadele ja kõrgtemperatuursetele töötlemisseadmetele. |
| Soojusjuhtimine |
Kõrge puhtusastmega grafiitvilt, Grafiitpaber
|
Paindlikud kõrge soojus-/elektrijuhtivusega lehed jahutusradiaatorite, soojusliidese materjalide ja pooljuhtseadmete elektriisolatsiooni jaoks (lisandid <5 ppm). |
| Korrosiooni-/kulumiskaitse |
Klaasjas süsinikkate, silikoonitud grafiit |
Pinnakatted ja puistematerjalid, mis pakuvad silmapaistvat korrosioonikindlust, kulumiskindlust ja elektrijuhtivust E-kiirrelvade ja karmi keskkonna jaoks. |
| Gaasi eraldamine ja adsorptsioon |
Poorne grafiit
|
Suure eripinnaga mikro/mesopoorse struktuur gaasi eraldamiseks, filtreerimiseks ja kontrollitud atmosfääriga rakendusteks. |
Üksikasjalikumate toodete ja protsesside sobitamise lahenduste saamiseks vaadake seotud alamkategooriate lehti:Poorne grafiit, Isotroopne grafiit, Pürolüütiline süsinikkatejne.
Professionaalse spetsiaalse grafiidi tootja ja tarnijana Hiinas on meil oma tehas. Olenemata sellest, kas vajate oma piirkonna spetsiifiliste vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite osta täiustatud ja vastupidavat Hiinas valmistatud spetsiaalset grafiiti, saatejäta meile sõnum.
