Ränikarbiidi kate

VeTek Semiconductor on spetsialiseerunud ülipuhaste ränikarbiidkattega toodete tootmisele, need katted on mõeldud kasutamiseks puhastatud grafiidile, keraamikale ja tulekindlatele metallkomponentidele.

Meie kõrge puhtusastmega katted on peamiselt mõeldud kasutamiseks pooljuhtide ja elektroonikatööstuses. Need toimivad kaitsva kihina vahvlikandjatele, sustseptoritele ja kütteelementidele, kaitstes neid söövitavate ja reaktiivsete keskkondade eest, mis tekivad sellistes protsessides nagu MOCVD ja EPI. Need protsessid on vahvlite töötlemise ja seadmete valmistamise lahutamatud. Lisaks sobivad meie katted hästi kasutamiseks vaakumpahjudes ja prooviküttes, kus esineb kõrgvaakum-, reaktiiv- ja hapnikukeskkonda.

VeTek Semiconductoris pakume terviklikku lahendust koos meie täiustatud masinatöökoja võimalustega. See võimaldab meil toota põhikomponente kasutades grafiiti, keraamikat või tulekindlaid metalle ning kanda peale SiC või TaC keraamilisi katteid ettevõttesiseselt. Pakume ka klientide tarnitud osade katmisteenust, tagades paindlikkuse erinevate vajaduste rahuldamiseks.

Meie ränikarbiidi kattetooteid kasutatakse laialdaselt Si epitaksis, SiC epitaksis, MOCVD süsteemis, RTP / RTA protsessis, söövitusprotsessis, ICP / PSS söövitusprotsessis, erinevat tüüpi LED-i protsessides, sealhulgas sinine ja roheline LED, UV LED ja sügav UV LED jne, mis on kohandatud LPE, Aixtroni, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ja nii edasi seadmetele.

Reaktori osad, mida saame teha:

Ränikarbiidkattel on mitmeid ainulaadseid eeliseid:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTeki pooljuht ränikarbiidi katte parameeter

CVD SiC katte põhilised füüsikalised omadused
Kinnisvara	Tüüpiline väärtus
Kristalli struktuur	FCC β faasi polükristalliline, peamiselt (111) orienteeritud
SiC kate Tihedus	3,21 g/cm³
SiC katte kõvadus	2500 Vickersi kõvadus (koormus 500 g)
Tera suurus	2-10 μm
Keemiline puhtus	99,99995%
Soojusvõimsus	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatsiooni temperatuur	2700 ℃
Paindetugevus	415 MPa RT 4-punktiline
Youngi moodul	430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃
Soojusjuhtivus	300W·m^-1·K^-1
Soojuspaisumine (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILMIKRISTALLI STRUKTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Ränikarbiidiga kaetud Epi sustseptor SiC kattega vahvlikandja SiC-kattega satelliitkate MOCVD jaoks CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC kattega kütteelement Aixtron Satellite vahvlikandja SiC Coating Epi vastuvõtja SiC kattega poolkuu grafiitdetailid

Poolkuu LPE reaktsioonikambri jaoks

Halfmoon on grafiidikomponent, mida kasutatakse LPE SiC reaktorites ja mis on peamiselt paigaldatud kambri kuuma tsooni ümber. Kuigi see ei puutu otseselt vahvliga kokku, mängib see siiski rolli gaasivoolu stabiilsuses ja reaktori töös epitaksiaalse kasvu ajal. Kõrge temperatuuri ja reaktiivsete protsessitingimustega toimetulemiseks on komponent tavaliselt kaitstud CVD SiC kattega, samas kui teatud rakenduste jaoks on saadaval ka TaC kate. VETEK tarnib ka grafiitvildist isolatsiooni ja muid kaetud grafiidiosisolatsioone SiC epitaksisüsteemide jaoks.

8-tolline CVD ränikarbiidiga (SiC) kaetud epitaksi ülemine rõngas

8-tolline SiC epi ülemine rõngas on pooljuhtreaktorite riistvaraosa. See töötab Si/SiC epitaksi ja MOCVD/CVD süsteemides. See rõngas stabiliseerib soojust kambri sees. Samuti kontrollib see gaasivoogu. Materjal on kõrge puhtusastmega CVD ränikarbiid. Sellel ei ole grafiidiga seotud probleeme. See vähendab ka osakeste saastumist tootmise ajal. Ootame teie päringuid.

MOCVD SiC kaetud sustseptor

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor on täpselt konstrueeritud kandelahendus, mis on spetsiaalselt välja töötatud LED- ja liitpooljuhtide epitaksiaalseks kasvuks. See näitab erakordset termilist ühtlust ja keemilist inertsust keerukates MOCVD keskkondades. Kasutades ära VETEKi ranget CVD-sadestamise protsessi, oleme pühendunud vahvlite kasvu järjepidevuse suurendamisele ja põhikomponentide kasutusea pikendamisele, pakkudes stabiilse ja usaldusväärse jõudluse tagamise iga teie pooljuhtide tootmise partii jaoks.

Tahke ränikarbiidi fookusrõngas

Veteksemicon Solid Silicon Carbide (SiC) teravustamisrõngas on kriitilise tähtsusega kulukomponent, mida kasutatakse täiustatud pooljuhtide epitaksi- ja plasmasöövitusprotsessides, kus plasmajaotuse, termilise ühtluse ja vahvli servaefektide täpne juhtimine on hädavajalik. Kõrge puhtusastmega tahkest ränikarbiidist valmistatud teravustamisrõngal on erakordne plasma erosioonikindlus, kõrge temperatuuri stabiilsus ja keemiline inertsus, mis võimaldab usaldusväärset jõudlust agressiivsetes protsessitingimustes. Ootame teie päringut.

SiC-kattega epitaksiaalne reaktorikamber

Veteksemicon SiC Coated Epitaxial Reactor kamber on põhikomponent, mis on loodud nõudlike pooljuhtide epitaksiaalsete kasvuprotsesside jaoks. Kasutades täiustatud keemilist aurustamise-sadestamise meetodit (CVD), moodustab see toode tugeva ja kõrge puhtusastmega SiC katte kõrge tugevusega grafiidist substraadil, mille tulemuseks on suurepärane stabiilsus kõrgel temperatuuril ja korrosioonikindlus. See talub tõhusalt reaktiivgaaside söövitavat mõju kõrge temperatuuriga protsessikeskkondades, vähendab märkimisväärselt tahkete osakeste saastumist, tagab ühtlase epitaksiaalse materjali kvaliteedi ja suure saagise ning pikendab oluliselt reaktsioonikambri hooldustsüklit ja eluiga. See on oluline valik lairibavahega pooljuhtide, nagu SiC ja GaN, tootmise efektiivsuse ja töökindluse parandamiseks.

EPI vastuvõtja osad

Ränikarbiidi epitaksiaalse kasvu põhiprotsessis mõistab Veteksemicon, et sustseptori jõudlus määrab otseselt epitaksiaalse kihi kvaliteedi ja tootmise efektiivsuse. Meie kõrge puhtusastmega EPI-sustseptorid, mis on loodud spetsiaalselt ränikarbiidi välja jaoks, kasutavad spetsiaalset grafiidist substraati ja tihedat CVD SiC katet. Oma suurepärase termilise stabiilsuse, suurepärase korrosioonikindluse ja äärmiselt madala osakeste tekkekiirusega tagavad need klientidele võrratu paksuse ja dopingu ühtluse isegi karmides kõrge temperatuuriga protsessikeskkondades. Veteksemiconi valimine tähendab oma täiustatud pooljuhtide tootmisprotsesside usaldusväärsuse ja jõudluse nurgakivi valimist.

QR kood

Meie kohta

Tooted

Võta meiega ühendust

Telefon
+86-18069220752
+86-15988690905
Faks
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Aadress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi maakond, Jinhua linn, Zhejiangi provints, Hiina

Veebi menüü

Tooteotsing

Keel

Välju menüüst