SiC kattega vahvlikandja

Vetek Semiconductor on spetsialiseerunud suure jõudlusega SiC-kattega vahvlikandjate tootmisele ja tarnimisele ning on pühendunud kõrgtehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele.

Pooljuhtide tootmises on Vetek Semiconductori SiC-kattega vahvlikandja keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) seadmete, eriti metallide orgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) seadmete võtmekomponent. Selle peamine ülesanne on toetada ja soojendada monokristalli substraati, et epitaksiaalne kiht saaks ühtlaselt kasvada. See on kvaliteetsete pooljuhtseadmete tootmiseks hädavajalik.

SiC katte korrosioonikindlus on väga hea, mis suudab tõhusalt kaitsta grafiitpõhja söövitavate gaaside eest. See on eriti oluline kõrgel temperatuuril ja söövitavas keskkonnas. Lisaks on väga suurepärane ka SiC materjali soojusjuhtivus, mis suudab soojust ühtlaselt juhtida ja tagada ühtlase temperatuurijaotuse, parandades seeläbi epitaksiaalsete materjalide kasvukvaliteeti.

SiC kate säilitab keemilise stabiilsuse kõrgel temperatuuril ja söövitavas keskkonnas, vältides katte purunemise probleemi. Veelgi olulisem on see, et SiC soojuspaisumise koefitsient on sarnane grafiidi omaga, mis võib vältida soojuspaisumisest ja kokkutõmbumisest tingitud katte lagunemise probleemi ning tagada katte pikaajalise stabiilsuse ja töökindluse.

Põhilised füüsikalised omadusedSiC kattega vahvlikandja:

Tootmispood:

Ülevaade pooljuhtkiipide epitaksitööstuse ahelast: