Tahke ränikarbiid

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide on oluline keraamiline komponent plasmasöövitusseadmetes, tahke ränikarbiid (CVD ränikarbiid) sisaldavad söövitusseadmete ositeravustamisrõngad, gaasidušipea, kandik, servarõngad jne. Tahke ränikarbiidi (CVD ränikarbiidi) madala reaktsioonivõime ja juhtivuse tõttu kloori ja fluori sisaldavate söövitusgaaside suhtes on see ideaalne materjal plasmasöövitusseadmete teravustamisrõngaste ja muude jaoks. komponendid.

Näiteks fookusrõngas on oluline osa, mis on asetatud vahvlist väljapoole ja on vahvliga otseses kontaktis, rakendades rõngale pinget, et fokusseerida rõngast läbivat plasmat, fokuseerides seeläbi plasma vahvlile, et parandada plaadi ühtlust. töötlemine. Traditsiooniline teravustamisrõngas on valmistatud ränist võikvarts, juhtiv räni kui tavaline fookusrõnga materjal, see on peaaegu lähedane räniplaatide juhtivusele, kuid puuduseks on halb söövituskindlus fluori sisaldavas plasmas, söövitusmasina osade materjalides, mida sageli kasutatakse mõnda aega, on tõsine probleem. korrosiooninähtus, mis vähendab tõsiselt selle tootmise efektiivsust.

Solid SiC Focus RingTööpõhimõte：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Ja-põhise teravustamisrõnga ja CVD SiC teravustamisrõnga võrdlus:

Ja-põhise teravustamisrõnga ja CVD SiC teravustamisrõnga võrdlus
Üksus	Ja	CVD SiC
Tihedus (g/cm³)	2.33	3.21
Ribavahe (eV)	1.12	2.3
Soojusjuhtivus (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Elastsusmoodul (GPa)	150	440
Kõvadus (GPa)	11.4	24.5
Vastupidavus kulumisele ja korrosioonile	Vaene	Suurepärane

VeTek Semiconductor pakub täiustatud tahke ränikarbiidi (CVD ränikarbiidi) osi, näiteks pooljuhtseadmete SiC teravustamisrõngaid. Meie tahkest ränikarbiidist teravustamisrõngad ületavad traditsioonilist räni mehaanilise tugevuse, keemilise vastupidavuse, soojusjuhtivuse, kõrgel temperatuuril vastupidavuse ja ioonide söövitamise vastupidavuse poolest.

Meie SiC teravustamisrõngaste põhiomadused hõlmavad järgmist:

Suur tihedus söövituskiiruse vähendamiseks.

Suurepärane isolatsioon suure ribalaiusega.

Kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumistegur.

Suurepärane mehaaniline löögikindlus ja elastsus.

Kõrge kõvadus, kulumiskindlus ja korrosioonikindlus.

Toodetud kasutadesplasmaga täiustatud keemiline aurustamine-sadestamine (PECVD)Meie SiC teravustamisrõngad vastavad pooljuhtide tootmise söövitusprotsesside kasvavatele nõuetele. Need on loodud taluma suuremat plasmavõimsust ja -energiat, eriti seesmahtuvuslikult seotud plasma (CCP)süsteemid.

VeTek Semiconductori SiC teravustamisrõngad tagavad pooljuhtseadmete valmistamisel erakordse jõudluse ja töökindluse. Valige meie SiC komponendid suurepärase kvaliteedi ja tõhususe tagamiseks.

View as

Kõrge puhtus CVD sic tooraine

Kõrge puhtus CVD sic tooraine, mille on valmistanud CVD, on parim lähtematerjal räni karbiidi kristallide kasvuks füüsilise auru transpordi abil. Veteki pooljuhtide tarnitud kõrge puhtuse CVD SIC tihedus on kõrgem kui väikeste osakeste oma, mis moodustub SI ja C-sisaldavate gaaside spontaanse põlemise teel, ning see ei vaja spetsiaalset paagutatavat ahju ja sellel on peaaegu pidev aurustumiskiirus. See võib kasvada äärmiselt kvaliteetseid SIC -i üksikristalle. Ootan teie järelepärimist.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Tahke SIC vahvli kandja

Vetek Semiconductori tahke SIC vahvli kandja on loodud kõrge temperatuuri ja korrosioonikindla keskkonna jaoks pooljuhtide epitaksiaalsetes protsessides ning sobib igat tüüpi vahvli tootmisprotsesside jaoks, millel on kõrge puhtusaste. Vetek Semiconductor on Hiinas juhtiv vahvlite tarnija ja loodab saada teie pikaajaliseks partneriks pooljuhtide tööstuses.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Tahke sic ketaskujuline dušš pea

Vetek Semiconductor on Hiinas juhtiv pooljuhtide tootja ning professionaalne tootja ja tahke SIC-i kettakujulise dušipea tarnija. Meie ketta kuju duššipea kasutatakse laialdaselt õhukese kilede sadestumise tootmisel, näiteks CVD protsessis, et tagada reaktsioonigaasi ühtlane jaotus, ja see on CVD ahju üks põhikomponente.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

SIC tihendusosa

Hiinas täiustatud SIC tihendiosade tootetootja ja tehasena. Vetek Semiconducto SIC tihendusosa on kõrgjõudlusega tihenduskomponent, mida kasutatakse laialdaselt pooljuhtide töötlemisel ja muudel äärmuslike kõrgete temperatuuride ja kõrgrõhuprotsesside korral. Tere tulemast oma edasist konsultatsiooni.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Räni karbiidi dušš pea

Räni karbiidi dušš pea on suurepärane kõrge temperatuuriga tolerants, keemiline stabiilsus, soojusjuhtivus ja hea gaasi jaotuse jõudlus, mis võib saavutada gaasi ühtlase jaotuse ja parandada kilede kvaliteeti. Seetõttu kasutatakse seda tavaliselt kõrge temperatuuriga protsessides, näiteks keemiline aurude ladestumine (CVD) või füüsikalise aurude sadestumise (PVD) protsessid. Tervitage oma täiendavat konsultatsiooni meiega, Vetek Semiconductor.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Räni karbiidi tihendi rõngas

Hiinas professionaalse räni karbiidi tihendiprodukti tootja ja tehasena kasutatakse Veteki pooljuhtide räni karbiidi tihendi rõngast pooljuhtide töötlemisseadmetes laialdaselt tänu suurepärase kuumakindluse, korrosioonikindluse, mehaanilise tugevuse ja soojusjuhtivuse tõttu. See sobib eriti kõrge temperatuuri ja reaktiivsete gaaside, näiteks CVD, PVD ja plasma söövitamisega, ning see on peamine materjali valik pooljuhtide tootmisprotsessis. Teie edasised päringud on teretulnud.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Hiinas professionaalse Tahke ränikarbiid tootja ja tarnijana on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite Hiinas valmistatud täiustatud ja vastupidavat Tahke ränikarbiid osta, võite jätta meile sõnumi.

QR kood

Meist

Tooted

Võta meiega ühendust

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Aadress
Wangda tee, Ziyangi tänav, Wuyi maakond, Jinhua linn, Zhejiangi provints, Hiina

Veebi menüü

Tooteotsing

Keel

Välju menüüst

Tahke ränikarbiid

Meie SiC teravustamisrõngaste põhiomadused hõlmavad järgmist:

Kõrge puhtus CVD sic tooraine

Tahke SIC vahvli kandja

Tahke sic ketaskujuline dušš pea

SIC tihendusosa

Räni karbiidi dušš pea

Räni karbiidi tihendi rõngas

Saada päring

QR kood

Meist

Tooted

Võta meiega ühendust

Telefon

Faks

E-post

Aadress