Kõrge puhtus sic konsooli aeru

Kõrge puhtus SIC Cantilever aeru on võtmekomponent, mida kasutatakse pooljuhtide töötlemisseadmetes. Toode on valmistatud kõrge puhtusega räni karbiidi (sic) materjalist.  Kliendid saavad vabalt valida paagutatud SIC -materjali või ümberkristalleeritud sic -materjali. Suure puhtuse, kõrge termilise stabiilsuse ja korrosioonikindluse suurepäraste omaduste abil kasutatakse seda laialdaselt sellistes protsessides nagu vahvli ülekandmine, tugi ja kõrgtemperatuuri töötlemine, pakkudes usaldusväärset garantiid protsesside täpsuse ja toote kvaliteedi tagamiseks.

Kõrge puhtus SIC Cantilever Aeru mängib pooljuhtide töötlemisprotsessis järgmisi konkreetseid rolle:

Vahvliülekanne: Kõrge puhtusega konsoolide aeru kasutatakse tavaliselt vahvliülekande seadmena kõrgtemperatuuriliste difusioonide või oksüdatsiooni ahjudes. Selle kõrge karedus muudab selle kulumiskindlaks ja seda pole pikaajalise kasutamise ajal kerge deformeeruda ning suudab tagada, et vahvel püsib ülekandeprotsessi ajal täpselt. Koos oma kõrge temperatuuri ja korrosioonikindlusega saab see vahvleid ohutult ahjutorust sisse ja välja kanda kõrgete temperatuuride keskkonnas, põhjustamata vahvlite saastumist ega kahjustusi.

Vahvli toetamine: SIC -materjalil on madal soojuspaisumistegur, mis tähendab, et temperatuuri muutumisel muutub selle suurus vähem, mis aitab säilitada protsessis täpset kontrolli. Keemiliste aurude ladestumise (CVD) või füüsikalise aurude sadestamise (PVD) protsessides kasutatakse vahvli toetamiseks ja kinnitamiseks SIC -i konsooli aeru, et veenduda, et vahvli püsib sadestumisprotsessi ajal stabiilseks ja tasaseks, parandades seeläbi filmi ühtlust ja kvaliteeti.

Kõrgete temperatuuride rakendamine: SIC konsooli aerul on suurepärane termiline stabiilsus ja ta talub temperatuuri kuni 1600 ° C. Seetõttu kasutatakse seda toodet laialdaselt kõrge temperatuuri lõõmutamisel, oksüdatsioonil, difusioonil ja muudel protsessidel.

Kõrge puhtusega sic konsooli aeru põhilised füüsikalised omadused:

Kõrge puhtus sic konsooli aerukauplused:

Ülevaade pooljuhtkiibi epitaxy tööstusahelast: