Veteksemiconi toode,tantaalkarbiid (TAC) kateSIC -i üksikute kristallide kasvuprotsesside tooted käsitlevad väljakutseid, mis on seotud räni karbiidi (SIC) kristallide kasvuliidesega, eriti kristalli servas toimuvate põhjalike defektidega. TAC -katte rakendades on meie eesmärk parandada kristallide kasvu kvaliteeti ja suurendada kristalli keskuse efektiivset pindala, mis on kiire ja paksu kasvu saavutamiseks ülioluline.
TAC-kate on põhitehnoloogiline lahendus kvaliteetse kasvamiseksSic ühekristallide kasvuprotsess. Oleme edukalt välja töötanud TAC -katte tehnoloogia, kasutades keemilise aurude sadestumist (CVD), mis on jõudnud rahvusvaheliselt arenenud tasemele. TAC -il on erandlikud omadused, sealhulgas kõrge sulamistemperatuur - kuni 3880 ° C, suurepärane mehaaniline tugevus, kõvadus ja termiline šokikindlus. Samuti on kõrge keemiline inerdus ja termiline stabiilsus kõrge temperatuuri ja ainete, näiteks ammoniaagi, vesiniku ja räni sisaldava auruga kokkupuutel.
Vekekemioni omatantaalkarbiid (TAC) katepakub lahendust servaga seotud probleemide lahendamiseks SIC-i üksikute kristallide kasvuprotsessis, parandades kasvuprotsessi kvaliteeti ja tõhusust. Meie täiustatud TAC-katte tehnoloogia abil on meie eesmärk toetada kolmanda põlvkonna pooljuhtide tööstuse arengut ja vähendada sõltuvust imporditud võtmematerjalidest.
PVT -meetod SIC ühe kristalli kasvuprotsessi varuosad:
TAC -i kaetud tiiglis, TAC -kattega seemnehoidja, TAC -katte juhtrõngas on olulised osad SIC -is ja AIN -i ühe kristall -ahjus PVT -meetodil.
Põhifunktsioon:
● Kõrge temperatuurikindlus
● Kõrge puhtus ei saasta SIC toorainet ja SIC üksikkristalle.
● Vastupidav Al aurule ja n₂korrosioonile
● Kõrge eutektiline temperatuur (koos ALN -iga) kristallide valmistamise tsükli lühendamiseks.
● Taaskasutatav (kuni 200H) parandab see selliste üksikute kristallide valmistamise jätkusuutlikkust ja tõhusust.
TAC -katte omadused
TAC -katte tüüpilised füüsilised omadused
|
TAC -katte füüsikalised omadused
|
|
Tihedus
|
14.3 (g/cm³)
|
|
Spetsiifiline emissioon
|
0.3
|
|
Soojuspaisumistegur
|
6,3 10-6/K
|
|
Kõvadus (HK)
|
2000 HK
|
|
Vastupanu
|
1 × 10-5OHM*CM
|
|
Termiline stabiilsus
|
<2500 ℃
|
|
Grafiidi suuruse muutused
|
-10 ~ -20um
|
|
Kattepaksus
|
≥20UM Tüüpiline väärtus (35um ± 10um)
|
