TaC katterõngas

Vetek Semiconductori TAC-katterõngas on valmistatud kvaliteetsest grafiidist ja kaetud tantaalkarbiidiga (TAC), mis on kõrgemate omaduste poolest tuntud materjal, on pooljuhtide vahvlite töötlemisel asendamatu komponent.

Vetek Semiconductor TAC -kattekatterõnga peamised omadused ja eelised:

●  Kõrge termiline stabiilsus: Tantaalkarbiidist katterõnga üks silmapaistvamaid omadusi on selle võime taluda kõrgeid temperatuure, mis on pooljuhtide söövitamisel kriitiline tegur. SiC söövitusprotsess hõlmab kokkupuudet kõrgendatud temperatuuride ja reaktiivsete gaasidega ning tantaalkarbiidi kate tagab, et rõngas püsib stabiilsena ja säilitab oma struktuurse terviklikkuse isegi nendes karmides tingimustes. See termiline vastupidavus tagab komponendi optimaalse toimimise pikema aja jooksul.

● Täiustatud mehaaniline tugevus: Kõrgtugeva grafiidi ja TaC-katte kombinatsiooni tulemuseks on täiustatud mehaaniliste omadustega komponent, mis muudab TaC-kattega rõnga väga kulumis- ja rebenemiskindlaks. Selle mehaaniline tugevus on SiC vahvlite kindlalt paigal hoidmisel ülioluline, tagades täpse söövitamise ja vältides protsessi käigus deformeerumist.

● Keemiline korrosioonikindlus: Pooljuhtide protsessides nagu SIC söövitus puutuvad komponendid sageli kokku agressiivsete kemikaalide ja reaktiivsete gaaside abil. Tantalumi karbiidikate pakub suurepärast kaitset korrosiooni eest, laiendades märkimisväärselt rõnga kasulikku eluiga ja minimeerides vajadust sagedaste asendamiste järele. See resistentsus on eriti oluline söövitusprotsessis, kus komponendid on pidevas kontaktis keemiliselt reageerivate ainetega.

●  Suurepärane CoatiTaC kattekiht täiustatud jõudluse tagamiseks: Grafiitrõnga tantaalkarbiidi kate tagab tugeva pinna, mis suurendab komponendi üldist jõudlust. Tantaalkarbiid on tuntud oma kõrge sulamistemperatuuri (ligikaudu 3880 °C) ja suurepärase vastupidavuse poolest keemilistele reaktsioonidele, eriti agressiivsetes keskkondades, mida tavaliselt pooljuhtide tootmisprotsessides esineb. See tantaalkarbiidist kate pikendab oluliselt toote eluiga, pakkudes katmata grafiitrõngastega võrreldes paremat vastupidavust.

● Täiustatud mehaaniline tugevus: Kõrgtugeva grafiidi ja TaC-katte kombinatsiooni tulemuseks on täiustatud mehaaniliste omadustega komponent, mis muudab TaC-kattega rõnga väga kulumis- ja rebenemiskindlaks. Selle mehaaniline tugevus on SiC vahvlite kindlalt paigal hoidmisel ülioluline, tagades täpse söövitamise ja vältides protsessi käigus deformeerumist.

Hiina juhtiva TaC katterõnga tarnija, tootja ja tehasena on VeTek Semiconductor pikka aega pühendunud täiustatud TaC katterõngaste toodete ja tehniliste lahenduste pakkumisele pooljuhtide töötleva tööstuse jaoks ning toetab kohandatud tooteteenuseid. VeTekSemi ootab siiralt, et saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

TaC katte füüsikalised omadused

VeTeki pooljuhtide TaC Coating Ring toodete kauplused