Materjalid ja disain

Sobiva substraadi ja katte kombinatsiooni valimine on võti komponentide enneaegse rikke vältimiseks, osakeste saastumise vähendamiseks ja vahvlite saagise maksimeerimiseks. Pakume kohandatud materjali- ja konstruktsioonilahendusi vastavalt kliendi konkreetsele protsessiaknale (töötemperatuur, reaktiivgaasi keemia, rambikiirused).

Meie peamised disainivõimalused:

• Range CTE stressi sobitamine:Kiire termilise tsükli (>100 °C/min) jaoks sobitame täpselt kõrge puhtusastmega grafiidist substraatide ja CVD-katete CTE temperatuurikõverad, vähendades oluliselt kattekihi delaminatsiooni ja mikropragude tekke ohtu.
• Protsessi stsenaariumipõhine katte valik:CVD SiC kate Si/SiC epitaksi (Epi), MOCVD ja plasma söövituskeskkondade jaoks; CVD TaC kate kõrgemate temperatuuride ja tugevalt söövitavate tingimuste jaoks (nt SiC ühekristalliline PVT kasv).
• Kontrollitav takistus ja soojusjuhtivuse optimeerimine:Substraadi ja katte kogutakistuse ja soojusjuhtivuse täpne juhtimine, et vastata RF, ESC elektrostaatiliste padrunite või küttetsoonide spetsiifilistele elektri- ja soojusvälja nõuetele.
• Saasteallika kontroll ja CoO vähendamine:Kõrge puhtusastmega CVD-sadestuskihid tihendavad tihedalt poorset grafiiti, vähendades märkimisväärselt osakeste väljalangemist, metallide lisandite ülijälgede difusiooni ja kõrge temperatuuriga gaasi väljavoolu ohtu.

Tüüpilise katte valiku võrdlus (ülevaade juhendist)

Reaalse juhtumi ja kliendi eelised (kogemus):

Juhtiv SiC epitaksi (Epi) tootja:Algses komponendis kasutati sobimatut CVD TaC katet, mille tulemuseks oli liigne liidese pinge ja sagedased mikropraod kõrgel temperatuuril. Korraldasime termodünaamilised simulatsioonid ja läksime üle aCTE-ga sobitatud spetsiaalne kõrge puhtusastmega grafiidist substraat + puhverkiht + CVD SiC katelahendus. Tulemus: komponentide keskmine eluiga pikenes 200 tunnilt 850 tunnini; aastane vahetussagedus tööriista kohta langes 40-lt 9-le; kõikehõlmav seadmete O&M kulude kokkuhoid ületas 650 000 RMB aastas.

GDMS-i puhtuseanalüüsi aruanne TaC- ja SiC-katete kohta

KKK

Alustage oma eksklusiivset teenust kohe