Räninitriid

VeTek Semiconductor keskendub räninitriidi tootmisele ning tal on uurimis- ja arendusmeeskond, mis koosneb kõrgematest ekspertidest ja tipptehnilistest talentidest. Räninitriidkeraamika eelised on üldiste keraamiliste materjalide kõvadus, kuumuskindlus, kulumiskindlus ja korrosioonikindlus ning hea soojuslöögikindlus, kõrge temperatuuri libisemiskindlus, hea isemäärimine ja hea keemiline stabiilsus ning need on laialdaselt levinud. kasutatakse uues energeetikas, keemiatööstuses, lennunduses ja pooljuhtide valdkonnas.

VeTek Semiconductori räninitriidmaterjalidel on järgmised silmapaistvad eelised:

1. Suurepärane keemiline stabiilsus

Räninitriidkeraamika on suurepärase keemilise stabiilsusega ning talub mitmesuguseid tugevaid happeid, leeliseid ja söövitavaid gaase. Pooljuhtide tootmisprotsessis tuleb sageli tegeleda söövitavate kemikaalidega, räninitriidkeraamika võib pakkuda pikaajalise stabiilse jõudluse garantii.

2. Suurepärased mehaanilised omadused

Räninitriidkeraamikal on kõrge kõvadus, suurepärane survetugevus ja kulumiskindlus, mis talub mehaanilist pinget ja pinna kulumist, ei deformeeru ega purune. See mehaaniline omadus muudab selle väga sobivaks materjalina pooljuhtseadmete konstruktsiooni- ja protsessiosade jaoks.

3. Kõrge temperatuuri stabiilsus

Räninitriidkeraamika suudab säilitada stabiilsust kõrge temperatuuriga keskkondades, seda pole kerge pehmendada ega sulada ning see talub kõrgel temperatuuril töötlemist ja käsitsemist pooljuhtide tootmisprotsessis. See võimaldab seda kasutada kõrgtemperatuursete protsessiseadmete põhikomponentide, nagu haaratsid, reaktsioonikambri komponendid jne, valmistamisel.

4. Suurepärased isolatsiooniomadused

Isolatsiooniomadused on pooljuhtseadmete valmistamisel kriitilised. Räninitriidkeraamikal on head isolatsiooniomadused, mis suudavad tõhusalt isoleerida ja kaitsta vooluahela komponente voolulekke või elektromagnetiliste häirete eest, aidates parandada seadme stabiilsust ja töökindlust.

5. Soojusjuhtivus ja soojusjuhtivus

Räninitriidkeraamika on kõrge soojusjuhtivusega, suudab tõhusalt juhtida ja hajutada seadme tekitatud soojust, aidates säilitada seadme temperatuuri stabiilsust tööprotsessis. See on pooljuhtseadmete suure jõudlusega töö jaoks kriitiline.

VeTek Semiconductori silikoonnitriidmaterjalide rakendused päikese- ja pooljuhtide tööstuses hõlmavad peamiselt:

1. Elektrostaatilised padrunid ja söövituskambri komponendid

Räninitriidkeraamikat kasutatakse sageli pooljuhtide tootmises elektrostaatiliste padrunite ja söövituskambri komponentide materjalina, kuna see on suurepärane keemiline stabiilsus ja vastupidavus kõrgele temperatuurile. Elektrostaatilisi padruneid kasutatakse vahvlite või substraatide kinnitamiseks ja stabiliseerimiseks, söövituskambri komponente aga söövitavate gaaside ja kõrge temperatuuriga keskkondade jaoks.

2. gaasijaotusplaadid ja helkurid

Räninitriidkeraamikat kasutatakse ka pooljuhtseadmete valmistamisel gaasijaotusplaatides ja helkurites. Gaasijaotusplaate kasutatakse reaktiivsete või kaitsvate gaaside ühtlaseks jaotamiseks reaktsioonikambrisse, samas kui reflektoreid kasutatakse valguse jaotumise ja peegelduse optimeerimiseks reaktsioonikambris, et parandada reaktsiooni tõhusust ja ühtlust.

3. Hoidikud ja termokomponendid

Räninitriidkeraamikat kasutatakse pooljuhtide tootmisseadmetes sageli hoidikute ja soojusjuhtimiskomponentidena. Nendel komponentidel peab olema hea mehaaniline tugevus, kulumiskindlus ja soojusjuhtivus, et tagada seadmete stabiilne töö ja seadme töötlemise täpsus.

4. Keemilise mehaanilise poleerimise (CMP) padjad

Räninitriidkeraamikat kasutatakse laialdaselt padjamaterjalina keemilise mehaanilise poleerimise (CMP) protsessis. Sellel on suurepärane tasapinnalisus ja kulumiskindlus ning see võib pakkuda poleerimisprotsessi ajal stabiilset tuge, et tagada pooljuhtvahvli pinna tasasus ja täpsus.