Räni nitriid

1. suurepärane keemiline stabiilsus

Räni nitriidi keraamika on suurepärane keemiline stabiilsus ja ta talub mitmesuguseid tugevaid happeid, leelise ja söövitavaid gaase. Pooljuhtide tootmisprotsessis peab sageli söövitavate kemikaalidega toime tulema räni nitriidi keraamika pikaajalise stabiilse jõudluse garantii.

2. suurepärased mehaanilised omadused

Räni nitriidi keraamikal on kõrge kõvadus, suurepärane survetugevus ja kulumiskindlus, mis suudab taluda mehaanilist pinget ja pinna kulumist, seda pole kerge deformeeruda ega rebeneda. See mehaaniline omadus muudab selle väga sobivaks pooljuhtide seadmetes konstruktsiooni- ja töötlemisosade materjalina.

3. kõrgtemperatuuri stabiilsus

Räni nitriidi keraamika suudab stabiilsust säilitada kõrgtemperatuuril keskkonnas, seda pole kerge pehmendada ega sulada ning talub kõrge temperatuuri töötlemist ja käitlemist pooljuhtide tootmisprotsessis. See võimaldab seda kasutada kõrge temperatuuriga protsessiseadmete põhikomponentide, näiteks haarakeste, reaktsioonikambri komponentide ja nii edasi tootmisel.

4. suurepärased isoleerivad omadused

Isoleerimisomadused on pooljuhtide seadme tootmisel kriitilise tähtsusega. Räni nitriidi keraamikal on head isoleerivad omadused, mis võimaldavad vooluahela komponente tõhusalt isoleerida ja kaitsta voolu lekke või elektromagnetiliste häirete eest, aidates parandada seadme stabiilsust ja usaldusväärsust.

5. soojusjuhtivus ja soojusjuhtivus

Räni nitriidi keraamikal on kõrge soojusjuhtivus, see võib tõhusalt läbi viia ja hajutada seadme poolt tekkinud soojust, aidates säilitada seadme temperatuuri stabiilsust tööprotsessis. See on kriitilise tähtsusega pooljuhtseadmete suure jõudlusega toimimise jaoks.

1. elektrostaatilised padrunid ja söövituskambri komponendid

Räni nitriidide keraamikat kasutatakse sageli elektrostaatiliste pakkide ja söövituskambri komponentide materjalidena pooljuhtide tootmisel, kuna need on suurepärase keemilise stabiilsuse ja kõrge temperatuuri vastupidavuse tõttu. Vahvlite või substraatide kinnitamiseks ja stabiliseerimiseks kasutatakse elektrostaatilisi pakke, söövitavate gaaside ja kõrgtemperatuuriga keskkondade talumiseks kasutatakse söövituskomponente.

2. Gaasi jaotusplaadid ja helkurid

Räni nitriidi keraamikat kasutatakse ka pooljuhtide seadmete tootmisel gaasi jaotusplaatides ja helkurites. Gaasijaotusplaate kasutatakse reaktiivsete või kaitsegaaside ühtlaseks jaotamiseks reaktsioonikambrisse, samas kui reflektoreid kasutatakse reaktsiooni kambris valguse jaotuse ja peegelduse optimeerimiseks, et parandada reaktsiooni efektiivsust ja ühtlust.

3. omanikud ja termilised komponendid

Räni nitriidi keraamikat kasutatakse sageli pooljuhtide tootmisseadmetes hoidjate ja soojusjuhtimise komponentidena. Nendel komponentidel peab olema hea mehaaniline tugevus, kulumiskindlus ja soojusjuhtivus, et tagada stabiilse seadme töö ja seadme töötlemise täpsus.

4. keemilise mehaanilise poleerimise (CMP) padjad

Räni nitriidi keraamikat kasutatakse keemilise mehaanilise poleerimise (CMP) protsessis laialdaselt padja materjalina. Sellel on suurepärane tasasus ja kulumiskindlus ning see võib olla poleerimisprotsessi ajal stabiilset tuge, et tagada pooljuhtide vahvli pinna tasasus ja täpsus.