TAC -kaetud rõngas

Veteksemi TAC -kattega rõngas on kõrge jõudlusega komponent, mis on kohandatud pooljuhtide tootmisprotsessideks. Selle ainulaadselt kujundatud tantaalkarbiid (TAC) kate annab tootele suurepärase kõrge temperatuuri vastupidavuse, korrosioonikindluse ja mehaanilise stabiilsuse, parandades märkimisväärselt pooljuhtide seadmetes olevate grafiidi komponentide kasutusaega ja usaldusväärsust.

Tantalumi karbiidikatete parem jõudlus ：

● Ülimalt kõrge temperatuurikindlus: TAC-katted võivad hõlpsalt vastu pidada äärmuslikele temperatuuridele kuni 2200 ° C ja püsida stabiilsena pooljuhttootmisel levinud termiliste šokikeskkondades.

● Suurepärane keemiline stabiilsus: kattekiht näitab tugevat resistentsust tavaliste söövitavate gaaside, näiteks vesiniku, ammoniaagi, silaani ja räni suhtes, kaitstes substraati tõhusalt keemilise rünnaku eest.

● Suurepärased mehaanilised omadused: TAC -kattel on kõrge karedus, kõrge kulumiskindlus ja hea termiline šokikindlus ning võib karmides töötingimustes pikka aega stabiilselt töötada.

● Suurepärane adhesioon: kate on tihedalt seotud grafiidi substraadiga, takistades kattekoort koorimist ja tagades järjepideva jõudluse kogu toote kasutuses.

● Suur puhtus: CVD -ga valmistatud TAC -kattel on äärmiselt kõrge puhtus, mis minimeerib lisandite kasutuselevõttu ja tagab puhta protsessi keskkonna pooljuhtide tootmiseks.

Tantalumi karbiidiga kaetud rõngaste eelised:

● Laiendatud seadmete elu: TAC -kate blokeerib tõhusalt keemilisi reaktsioone ja lisandite hajumist, pikendades märkimisväärselt grafiidi komponentide kasutusaega ja vähendades hoolduskulusid.

● Parandage tootmise tõhusust: Toote kõrge temperatuuri vastupidavus ja korrosioonikindlus võimaldavad tal töötada nõudlikes tingimustes, lühendades tootmistsüklit ja suurendades tootmisvõimsust.

● täiustatud toote kvaliteet: Suur puhtus TAC -kate aitab vähendada saastumist, tagades pooljuhttoodete kvaliteedi ja järjepidevuse.

Vetek Semiconductor on spetsialiseerunud TAC -katte toodetele naguTAC -i kattekatted, TAC -kattekihi pöörlemisplaat, TAC -katte alam, TAC -i kaetud vahvli vastuvõtjaaastaid. Meie TAC -i kaetud rõngatoodetel on laiendatud seadmete eluea funktsioonid, paranenud tootmise efektiivsus ja paranenud toodete kvaliteet. Samal ajal on Vetek Semiconductor juba pikka aega pühendunud pooljuhtide tööstusele arenenud tehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele. 

Grafiidi ja tantaal -karbiidimaterjalide erinevate keemiliste omaduste tõttu ei ühti soojuspaisumiskoefitsient ning Vetek Semiconductor on kõrgel temperatuuril kuumutamine hõlpsalt soojendatud konkreetse protsessi kaudu, et soodustada osaliselt maatriksi pinnale ladestunud tantaal -karbiidi katte moodustumist ja osaliselt peegeldatud maatriksisse. Sel moel on tantaalkarbiidikate pesastatud grafiidi maatriksis tihedalt läbi situaalse kasvu, mis suurendab märkimisväärselt katte ja maatriksi vahelist sidumisjõudu ning takistab tõhusalt Tantalumi karbiidi katte koorimist. Loodame siiralt saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Tantalumi karbiidiga kaetud rõngaste poed: