Kuidas parandab TaC kate grafiitkomponentide kasutusiga? - VeTeki pooljuht

CVD tantaalkarbiidikatetoodetakse tantaalkarbiidi (TAC) aurude ladestumisel kõrge puhtusega grafiidi substraadi pinnale, kasutades Vetek Semiconductori patenteeritud keemilise aurude ladestumise (CVD) protsessi.

Tantalumi karbiidi (TAC) katted parandavad märkimisväärselt kasutusaegagrafiidiosadMitme mehhanismi kaudu, eriti kõrge temperatuuriga, väga söövitavates keskkondades, näiteks pooljuhtide tootmine ja kristallide kasv. 

Siin on konkreetsed põhjused, miksTaC kattedsuurendada grafiitdetailide vastupidavust:

●  Parem vastupidavus kõrgele temperatuurile

Äärmiselt kõrge termiline stabiilsus: TaC katted suudavad püsida stabiilsena ülikõrgetel temperatuuridel üle 2000°C ja võivad töötada tõhusalt isegi 2200°C juures. See kõrge temperatuuritaluvus võimaldab kattekihil taluda sulametallide ja keemiliste gaaside erosiooni pooljuhtide valmistamisel, pikendades seeläbi grafiitdetailide kasutusiga.

● Suurepärane korrosioonikindlus

Keemilise erosiooniresistentsus: TAC -kattetel on tugev vastupidavus söövitavatele gaasidele nagu vesinik, ammoniaak ja räni aurud, mis võib tõhusalt takistada nende gaaside söövitamist grafiidi substraati ja vähendada grafiidiosade kahjustuste riski Harsh -keskkonnas. See tähendab, et kristallide kasvuprotsessi ajal võib kate pärssida lisandite migratsiooni ning parandada kristallide kvaliteeti ja saaki.

●  Täiustatud mehaanilised omadused

Hea adhesioon ja termiline löögikindlus: TAC-kattetel on tugev adhesioon grafiidi substraadiga, tagades, et kattekiht ei koori ega delamineerub kõrgete temperatuuride ajal. Lisaks suudab selle suurepärane termiline šokitakistus taluda kiireid temperatuurimuutusi ilma pragunemise või koorimiseta, pikendades veelgi grafiidiosade kasutusaega.

●  Vähendage lisanditega saastumist

Ülikõrge puhtusastmega: TaC kattekihtidel on äärmiselt madal lisandite sisaldus, mis aitab vähendada saasteprobleeme, mis võivad tekkida kõrge temperatuuri tingimustes. TaC-katted parandavad oluliselt kristallide kasvuprotsessi puhtust ja kvaliteeti, vältides soovimatute lisandite migreerumist epitaksiaalsesse kihti.

● termilise juhtimise optimeerimine

Parandage soojusjuhtivust ja vastupidavust: TAC -kattetel on suhteliselt madal soojusjuhtivus ja vastupidavus, mis võimaldab selle kasutamist küttekehades ja muudes soojushalduse komponentides, et parandada energiatõhusust ja vähendada energiakadu. See funktsioon mitte ainult ei paranda töötõhusust, vaid vähendab ka ülekuumenemisest põhjustatud materjali väsimust ja kahjustusi.