Alumiiniumnitriidi keraamiline ketas

Veteki pooljuhtide alumiiniumnitriidi keraamiline plaat on ideaalne isoleeriv keraamiline produkt, millel on kõrge soojusjuhtivusega, madala paisumiskoefitsient, kõrge tugevus, kõrge temperatuurikindlus, keemiline korrosioonikindlus, kõrge vastupidavus ja madal dielektriline kadu. Alumiiniumnitriidi keraamika võib asendada toksilise berülliumoksiidi keraamika ja neid kasutatakse laialdaselt elektroonikatööstuses.

Tulemuslikkuse eelis:

Võrreldes alumiiniumoksiidi keraamikaga on alumiiniumnitriidil kõrge soojusjuhtivus, 100 kraadi Celsiuse juures, soojusjuhtivus on üle 170W/ mk ja alumiiniumoksiidi soojusjuhtivus on umbes 15-35 W/ (M · K) ja alumiinium nitriid on rohkem kui 5-kordne alumiiniumist.

Alumiiniumnitriidide keraamilise materjali kõvadus on tavaliselt 9 MOHS -i kõvadust, mis tähendab, et alumiiniumnitriidi keraamika kõvadus on väga kõrge, teiseks ainult teemandist, pooljuhtide pakendiprotsessis, tavaliselt alumiiniumnitriidide keraamiliste tasside, mis on substraadi ja muu peamise intensiivsuse parandamiseks.

Seda tüüpi keraamika lineaarne laienemiskoefitsient on tavaliselt vahemikus 4 kuni 5 × 10^^-6/℃, mis muudab selle paremini kokku metallmaterjalide laienemiskoefitsiendiga, aidates vähendada stressi tekitamist ja Thtemperatuurimuutustest põhjustatud erma stress.

Samal ajal on alumiiniumnitriidi keraamika paindetugevus tavaliselt vahemikus 300 kuni 700 MPa, mis on kõrgem kui paljudel teistel keraamilistel materjalidel, näiteks tsirkoonia ja alumiiniumoksiid.

Temperatuuri osas võib alumiiniumnitriidi keraamika töötada stabiilselt kõrge temperatuuriga keskkonnas ja selle kasutamise temperatuur võib ulatuda üle 1500 ℃, mis sobib kõrgete temperatuuride protsesside ja rakenduste jaoks.

Lisaks inertsetele gaaside resistentsusele on alumiiniumnitriidi keraamilisel kettal suurepärane keemiline stabiilsus ja kõrge vastupidavus söövitavatele söötmetele nagu happed ja leelised, muutes need keemiatööstuses laialdaselt kasutamiseks.

Alumiiniumnitriidi keraamilise kettaga on kõrge vastupidavus, tavaliselt vahemikus 10^¹⁴ja 10^¹⁵Ω · cm, mis sobib juhtudeks, kus on vaja elektriisolatsiooni omadusi. Alumiiniumnitriidi keraamika on väga madal dielektriline kadu, mis tähendab, et energiakadu saab vähendada dielektrilistes rakendustes.

Taotlusala:

Pooljuhtide pakend: toitemoodulite (näiteks IGBT-de), suure võimsusega kiibikandjate, tahke oleku relee jne jaoks, et pakkuda tõhusat soojusjuhtimist 3410.

Elektrooniline substraat: õhukese kile/paksu kilelauana toetage ülitäpset töötlemist (nt poleerimist RA -ga 0,3 μm pinnakaredusega) 410.

RF/mikrolaineseadmed: madala dielektrilise kadu (tanΔ ≤3 × 10⁻⁴, 1MHz) omadused, mis sobivad kõrgsagedusliku vooluringi tahvli 1018 jaoks.

Muud tööstusstsenaariumid: näiteks vaakumkatteseadmete osad, Hig

Töötlemis- ja kohandamisteenused

Täpsusmehange: toetage lõikamist, puurimist, lihvimist, poleerimist (pinna karedus RA kuni 0,3 μm) ja kohandatud spetsiaalse kujuga struktuur 410.

Pinna töötlemine: paagutatud substraati saab uuesti töötleda, et parandada pinna sujuvust (nt 30 mikroinhi RA-st kuni 1 mikroinch RA-ni) 4.

See pooljuhtAlumiiniumnitriidi keraamiliste kettatoodete poodid: