Alumiiniumnitriid (AlN) keraamiline elektrostaatiline padrun

1.Eelised

• Kõrge puhtusastmega AlN keraamika soojusjuhtivusega kuni ~180 W/m·K tõhusa soojusülekande ja temperatuuri ühtluse tagamiseks

• Tugev elektriisolatsioon ja suur eritakistus, mis toetab stabiilset kinnitust 1–3 kV juures (saadaval kõrgem pinge)

• Kohandatud dielektrilise kihi materjalid ja elektroodide paigutused: Coulomb või Johnsen–Rahbek (JR); ühe- või mitmetsooniline

• Kiire kinnitus- ja lahtiklambri jõudlus, tavaliselt alla 0,1 sekundi

• Pinna lohutavad mikrostruktuurid kuni ~ 300 μm läbimõõduni, vähendades kontaktpinda kuni ~ 1%

• Kõrge tasasuse võime; tüüpiline ülemaailmne tasapinnalisus suurusjärgus 0,5–3 μm PV 300 mm klassi platvormidele

• Tihe mikrostruktuur peaaegu nullilähedase veeimavusega ja hea keemilise vastupidavusega protsessikeskkondades

2.Tüüpilised rakendused

Alumiiniumnitriidkeraamilisi elektrostaatilisi padruneid kasutatakse protsessietappides, mis nõuavad nii vahvli turvalist hoidmist kui ka kontrollitud termilist käitumist:

• Kuivplasma söövitus (ICP / RIE) ja sellega seotud kambriprotsessid

• CVD, PEALD, termiline ALD ja muud õhukese kilega sadestamise etapid

• Lõõmutamis- ja termilise protsessi moodulid, mis nõuavad ühtlast vahvli temperatuuri

• Kontrolli, metroloogia ja täppisetapid, mille puhul on kriitilise tähtsusega väike osakeste hulk ja stabiilne kinnitus

3.AlN materjaliklassid – tüüpilised omadused

VeTek pakub ESC-konstruktsioonide soojusjuhtivuse, mehaanilise tugevuse ja kulude tasakaalustamiseks mitut alumiiniumnitriidi klassi:

Ühikud: soojusjuhtivus W/(m·K); dielektriline tugevus kV/mm; mahutakistus Ω·cm (25 °C); dielektriline konstant 1 MHz juures. Väärtused on tüüpilised ja võivad olenevalt protsessist ja osa geomeetriast erineda.

4.Tüüpilised ESC disainiparameetrid

5.Miks Choose VeTek AlN elektrostaatilised padrunid?

VeTek Semiconductor integreerib täiustatud AlN keraamika täppis-ESC tootmisega pooljuhtide klientidele, kes vajavad nii soojuslikku jõudlust kui ka usaldusväärset kinnitust:

• Mitu AlN klassi soojusjuhtivusega ~90 kuni ~180 W/m·K, et sobitada protsessi soojuseelarve

• Paindlik elektrood ja dielektriline disain Coulombi või JR-i kinnituskäitumiseks

• Tasasuse, pinna mikrostruktuuri ja elektriisolatsiooni jõudluse täpne kontroll

• Täielik elutsükli tugi: projekteerimine, uus ehitamine ja mitmetasandiline renoveerimine

Söövitamise, sadestamise ja termiliste tööriistade jaoks, mis sõltuvad vahvli ühtlasest temperatuurist ja puhtast, korduvast kinnitusest, pakuvad VeTeki alumiiniumnitriidkeraamilised elektrostaatilised padrunid suure jõudlusega keraamilist platvormi, mida toetab rakendusekeskne tehniline tugi.