Milline on TAC -i kaetud osade konkreetne rakendus pooljuhtide väljal?

Tantaalkarbiidi (TAC) kattematerjali füüsikalised omadused

Tantaami karbiidi (TAC) katte pealekandmine pooljuhtide väljal

1. epitaksiaalse kasvureaktori komponendid

TAC kattekihti kasutatakse laialdaselt keemilise aurude ladestumisel (CVD) reaktori komponentides galliumnitriidi (GAN) epitaksiaalse ja räni karbiidi (sic) epitaksiaalvahvli kandjad, satelliitatod, pihustid ja andurid. Need komponendid nõuavad kõrge temperatuuri ja söövitava keskkonnas eriti suurt vastupidavust ja stabiilsust. TAC -kattekiht võib tõhusalt pikendada nende kasutusaega ja parandada saagikust.

2. ühekristallide kasvukomponent

Selliste materjalide nagu SIC, GAN ja alumiiniumnitriidi (AIN) üksikkristallide kasvuprotsessis,TAC -kattekihtrakendatakse põhikomponentidele nagu tiiglid, seemnekristallide hoidjad, juhtrõngad ja filtrid. TAC -kattega grafiidimaterjalid võivad vähendada lisandite migratsiooni, parandada kristallide kvaliteeti ja vähendada defektide tihedust.

3. kõrge temperatuuriga tööstuslikud komponendid

TAC -kattekihti saab kasutada kõrge temperatuuriga tööstuslikes rakendustes, näiteks takistuslik kütteelemendid, süstimispihustid, varjestusrõngad ja puuraukumisvahendid. Need komponendid peavad säilitama hea jõudluse kõrge temperatuuriga keskkonnas ning TAC-i soojustakistus ja korrosioonikindlus muudavad selle ideaalseks valikuks.

4. küttekehad MOCVD süsteemides

TAC-kattega grafiitküttekehad on edukalt kasutusele võetud metalli orgaaniliste keemiliste aurude ladestumise (MOCVD) süsteemides. Võrreldes traditsiooniliste PBN-kattega küttekehadega võivad TAC-küttekehad pakkuda paremat tõhusust ja ühtlust, vähendada energiatarbimist ja vähendada pinna emissiooni, parandades sellega terviklikkust.

5. vahvli kandjad

TAC-kattega vahvli kandjad mängivad olulist rolli kolmanda põlvkonna pooljuhtmaterjalide nagu SIC, AIN ja GAN valmistamisel. Uuringud on näidanud, et korrosioonimäär onTAC -kattedKõrgtemperatuurilises ammoniaagis ja vesinikukeskkonnas on palju madalam kuiSic katted, mis muudab selle pikaajalises kasutamises parema stabiilsuse ja vastupidavuse.