SiC-kattega ränikarbiidist vahvelpaat

Vetek Semiconductor on Hiina tootja ja tarnija, kes toodab peamiselt SIC -i kaetud räni karbiidi vahvlipaati, millel on palju aastaid kogemusi. Loodetavasti luua ärisuheid teiega.SIC-i kaetud räni karbiidi vahvlipaati kasutatakse pooljuhtide difusiooniahjudes vahvlite kandmiseks mitmesuguste kõrgete temperatuuridega protsesside jaoks, näiteks ioonide implanteerimine, difusioon ja lõõmutamine. See võib pakkuda vahvlitele stabiilset keskkonda, tagades töötlemise ajal temperatuuri ühtluse ja järjepidevuse.

SIC -kaetud räni karbiidi vahvlipaatidel on kõrgem soojuskindlus ja keemiline stabiilsus, mis võimaldab neil töötada kõrgemal temperatuuril ja tagada pikema elueaga. Lisaks on neil madalamad materjalide aurustumise määrad ja gaasi adsorptsiooni määrad, aidates vähendada lisandite mõju vahvli töötlemisele.

Saame valmistada erinevat tüüpi ränikarbiidist vahvelpaate, näiteks horisontaalset vahvlipaati, vertikaalset vahvlipaati ja muid kohandatud paate.

Meie kõrge puhtusastmega ränikarbiidi eelised:

1. Kõrge temperatuuri stabiilsus

2.Keemiline inertsus

3.Low ebapuhtusisu

4.termaalne juhtivus

Ümberkristalliseeritud ränikarbiidi füüsikalised omadused

VeTeki pooljuhtide tootmispood: