QR kood

Meist
Tooted
Võta meiega ühendust
Telefon
Faks
+86-579-87223657
E-post
Aadress
Wangda tee, Ziyangi tänav, Wuyi maakond, Jinhua linn, Zhejiangi provints, Hiina
Vetek Semiconductor tahke räni karbiid on oluline keraamiline komponent plasma söövitusseadmetes, tahke räni karbiidi (CVD räni karbiid) Söövitamisseadmete osad hõlmavadKeskendumine rõngad, gaasi duššhead, kandik, servarõngad jne. Tahke räni karbiidi (CVD räni karbiidi) madala reaktsioonivõime ja juhtivuse tõttu kloori - ja fluori sisaldavate söövitusgaaside tõttu, on see ideaalne materjal plasma söövitusseadmete jaoks, mis keskenduvad rõngastele ja muudele komponentidele.
Näiteks on fookusrõngas oluline osa, mis on paigutatud vahvlist väljapoole ja otsekontakti vahvliga, rakendades rõngale pinget, et keskenduda rõngast läbivat plasma, keskendudes seeläbi plasma vahvlile, et parandada töötlemise ühtlust. Traditsiooniline fookusrõngas on valmistatud ränist võikvarts, juhtiv räni kui tavaline fookusrõnga materjal, on see peaaegu lähedal räni vahvlite juhtivusele, kuid puudus on kehv söövituskindlus fluorit sisaldavas plasmas, söövitusmasina materjalides, mida sageli kasutatakse teatud aja jooksul, on tõsist korrosiooninähtust, vähendades selle tootmise tõhusust tõsiselt.
SOlid sic fookusrõngasTööpõhimõte:
SI -põhise keskendumisrõnga ja CVD SIC fookuserõnga võrdlus :
SI -põhise keskendumisrõnga ja CVD SIC fookusrõnga võrdlus | ||
Ese | Ja | CVD sic |
Tihedus (g/cm3) | 2.33 | 3.21 |
Ribavahe (EV) | 1.12 | 2.3 |
Soojusjuhtivus (w/cm ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/℃) | 2.6 | 4 |
Elastne moodul (GPA) | 150 | 440 |
Kõvadus (GPA) | 11.4 | 24.5 |
Vastupidavus kulumisele ja korrosioonile | Vaene | Suurepärane |
Vetek Semiconductor pakub täiustatud tahket räni karbiidi (CVD räni karbiidi) osi, näiteks SIC Focusing rõngaid pooljuhtide seadmetele. Meie tahke räni karbiidi keskenduvad rõngad edestavad traditsioonilist räni mehaanilise tugevuse, keemilise takistuse, soojusjuhtivuse, kõrge temperatuuri vastupidavuse ja ioonide söövitamise osas.
Suur tihedus vähenenud söövituskiirusel.
Suurepärane soojustus suure ribaga.
Kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumise koefitsient.
Parem mehaaniline löögikindlus ja elastsus.
Kõrge kõvadus, kulumiskindlus ja korrosioonikindlus.
Valmistatud kasutadesPlasma täiustatud keemiline aurude ladestumine (PECVD)Tehnikad, meie SIC -fookusesõrmused vastavad pooljuhtide tootmisel söövitamisprotsesside kasvavatele nõudmistele. Need on loodud taluma suuremat plasmavõimsust ja energiat, eriti sissemahtuvalt ühendatud plasma (CCP)süsteemid.
Vetek Semiconductori SIC -fookusesõrmused pakuvad pooljuhtseadmete tootmisel erakordset jõudlust ja töökindlust. Valige suurepärase kvaliteedi ja tõhususe huvides meie SIC komponendid.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
Wangda tee, Ziyangi tänav, Wuyi maakond, Jinhua linn, Zhejiangi provints, Hiina
Autoriõigus © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd. Kõik õigused kaitstud.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |