Tahke sic ketaskujuline dušš pea

Tahke SIC-kujulise dušipea roll CVD-protsessis on reaktsioonigaasi ühtlaselt jaotada sadestusala, nii et gaasi saaks kogu reaktoris ühtlaselt hajutada, et saada tasast ja ühtlast kilet.

Tahke SIC -dušš pea on seatud CVD ahju ülaosas või gaasi sisselaskeava lähedale. Reaktsioongaas siseneb kettakujulisele konstruktsioonile läbi duššipeale jaotunud aukude ja hajub mööda duššipea pinda. Mitme kanali kujunduse ja ühtlaselt jaotunud väljalaskeava kaudu võib reaktsioongaas voolata ühtlaselt kogu reaktori piirkonda, vältides kontsentratsiooni või turbulentsi ja tagades substraadile ladestunud kihi paksuse järjepidevuse.

Samal ajal on pooljuhtide ketta kujuga duššipea struktuuril ka difusiooniefekt, mis võib tõhusalt vähendada gaasi voolukiirust, nii et seda saab düüsi väljalaskeavas ühtlaselt hajutada ja vähendada kohalike gaasi voolu muutuste mõju sadestumise efektile. See aitab vältida otsest gaasi mõju substraadile ja vältida ebaühtlase ladestumise probleemi.

Materjalide vaatenurgast on tahke sic-gaasi dušš pea valmistatud kõrge temperatuuriga vastupidavast, korrosioonikindlast ja ülitugevast tahkest SIC-materjalist, millel on väga kõrge stabiilsus. See võib CVD -ahjus pikka aega stabiilselt töötada ja sellel on pikk kasutusaeg.

Vetek Semiconductor pakub kvaliteetseid kohandatud teenuseid. Tahke SIC-kettakujulise dušinormi kuju ja aukude paigutust saab paindlikult reguleerida vastavalt kliendi protsessinõuetele erinevate gaasitüüpide, voolukiiruste ja ladestumismaterjalidega kohanemiseks. Reaktorite või substraadi suuruse erineva suuruse korral saab gaasijaotuse efekti optimeerimiseks kohandada erineva läbimõõdu ja augujaotusega kettakujulisi duššpead.

Vetek Semiconductoril on küpsed protsessid ja arenenud tehnoloogiad kindlate sic -semiconductor duššinormide jaoks, aidates suurel hulgal klientidel saavutada CVD -protsessides pidevat edu. Vetek Semiconductor loodab saada Hiinas teie pikaajaliseks partneriks.

Tahke sic füüsikalised omadused

See pooljuhtTahked SIC kettakujulised dušikujulised tootmispoed