Mis on Notch on Wafers?

Räniplaadidon integraallülituste ja pooljuhtseadmete alus. Neil on huvitav omadus - lamedad servad või pisikesed sooned külgedel .See ei ole defekt, vaid teadlikult disainitud funktsionaalne marker.Tegelikult toimib see sälk suunaviitena ja identiteedimarkerina kogu tootmisprotsessi vältel.

Algusaegadel kasutasid vahvlid markerina enamasti "tasapinda", mis tähendab lühikest sirget segmenti, mis oli lihvitud ringikujulisel serval. Nende tasapindade asukohta ja arvu kasutati kristallide orientatsiooni ja dopingutüüpide eristamiseks. Kui vahvli suurus suurenes ja protsessi täpsus paranes, on tavalised 200 mm ja 300 mm vahvlid suures osas standardiseeritud väikese kaarekujulise sälguga. Selle sälgu asukoht on määratletud standarditega ja see asub kindlas asendis, mida kasutatakse vahvli kristallide orientatsiooni näitamiseks (näiteks <100> või <111>) ja ühise võrdluspunkti loomiseks järgnevatele seadmetele.

Mis on vahvli sälgu funktsioon? 

• Esiteks annab see viite vahvlite joondamiseks. Peamised etapid, nagu litograafia, söövitamine ja ioonide implanteerimine, nõuavad mitme mustrikihi virnastamist. Kui iga kihi koordinaatsüsteem ei ole ühtlane, joondatakse lõplikud seadmed valesti ja lammutatakse. Sälgu asukoha tuvastamisega saavad seadmed kiiresti luua ühtse koordinaatsüsteemi ja seejärel kasutada joondusmärke täpse ülekatte saavutamiseks.
• Teiseks kodeerib see vahvliteavet. Erinevatel kristallide orientatsioonidel ja erinevatel dopingutüüpidel (nagu P-tüüp ja N-tüüp) on erinevad materjaliomadused ja disainikaalutlused. Sälgu orientatsioon koos tagumise külje märgistuse ja muude vahenditega võimaldab tootmisliinil automaatse käsitsemise ja sorteerimise käigus vahvleid kiiresti tuvastada, vältides erinevate tootetüüpide segamist.
• Kolmandaks tagab see ohutuse automatiseeritud käsitsemisel. Kaasaegsetes tehastes kasutatakse laialdaselt robotkäsivarsi ja automatiseeritud materjalikäitlussüsteeme (AMHS). Need süsteemid tuginevad sälkule, et määrata kindlaks vahvli esi-/tagakülg ja orientatsioon, vältides vale laadimist või ümberpööramist, mis muidu tooks kaasa saagikao.

Seadme- ja protsessiinseneride jaoks võib vahvli sälk tunduda tähtsusetu, kuid see läbib kogu protsessiahelat alates kristallide tõmbamisest, epitaksist ja vahvlite valmistamisest kuni eelpakendamise testini. Alati, kui tegemist on suunaga – kristallide orientatsiooniga, paigutuse joondamisega, pinge orientatsiooniga või isegi teatud toiteseadmete struktuuriga –, on see väike geomeetriline marker peaaegu alati taustal. Kui mõistate sälgu rolli, on palju lihtsam jälgida, kuidas vahvel "liikub" läbi tootmisliini ja kuidas iga protsessietapp selle ränitüki ümber oma koordinaatide süsteemi ehitab.