Pooljuhtide kvartspelk purk

SeemnedPooljuhtKvartsist kellapurkmängib pooljuhtide töötlemisel mitut võtmerolli. a kellapurgi vaakumsüsteemmitte ainult ei paku stabiilset ja kontrollitud reaktsioonikeskkonda, vaid tagab ka erinevate protsesside tõhususe ja täpsuse tänu suurepärasele termilisele stabiilsusele, keemilisele inertsusele ja optilisele läbipaistvusele. Need omadused määravad ka sellekella vaakumkamberon pooljuhtide tootmisprotsessis asendamatu komponent.

SeemnedPooljuhtide kvarts Loob suletud töötlemiskeskkonna, mis võimaldab töötleda gaase ühtlaselt jaotuda ja reageerida vahvli pinnaga kontrollitud tingimustes. SeetõttuPooljuhtide kvartspelk purkTavaliselt kasutatakse atmosfääri kompositsiooni ja rõhu täpseks kontrollimiseks sellistes protsessides nagu CVD, difusioon ja oksüdeerimine, tagades seeläbi kile ühtluse ja materjali puhtuse.

Samal ajal on kvartsmaterjalidel suurepärane termiline stabiilsus, vastupidavus kõrgele temperatuurile (kõrge temperatuuriga keskkond pooljuhtide töötlemisel on tavaliselt kuni 1000 ° C või rohkem) ning toote omadused säilitavad kuumutamisel ja jahutamisel stabiilse kuju ja suuruse. See määrab, etKvartsist kellapurksuudab täielikult tagada vahvli pinna temperatuuri ühtluse difusiooni ja oksüdatsiooni kõrge temperatuuri keskkonnas, parandades seeläbi ladestunud või hajutatud kihi kvaliteeti ja ühtlust.

Veelgi olulisem,SeemnedSemiconductor kõrge puhtuse kvarts ei ole kõrge temperatuuriga keskkondades protsessigaasidega lihtne reageerida ja sellel on tugev korrosioonikindlus. See tooteomadus määrab, et protsessides, milles kasutatakse söövitavaid gaase (nt mõni CVD-protsess),Pooljuhtkvartsist kellapurksuudab täielikult säilitada keemilise stabiilsuse, vältides sellega pooljuhtseadmete saastumist.

VeTek pooljuhtKvartsist kellapurk:

Ülevaade pooljuhtkiibi epitaxy tööstusahelast: