ALD sulatatud kvartspjedestaal

Vetek Semiconductor Ald sulatatud kvartsi pjedestaal mängib pooljuhtide tootmisprotsessis võtmerolli kui tugistruktuurikvartspaat, mida kasutatakse hoidmiseksvahvl. Sulatatud kvartsi pjedestaal aitab saavutada kile ühtlase ladestumise, säilitades stabiilse temperatuuri, mis mõjutab otseselt pooljuhtseadmete jõudlust ja usaldusväärsust. Lisaks tagab kvartsi pjedestaal soojuse ja valguse ühtlase jaotuse protsessikambris, parandades seeläbi ladestumisprotsessi üldist kvaliteeti.

Ald sulatatud kvartsi pjedestaali materjali eelised

Kõrge temperatuuritaluvus: Sulatatud kvartsi pjedestaali pehmenemispunkt on nii kõrge kui umbes 1730 ° C ja see talub pikka aega kõrge temperatuuriga töötamist 1100 ° C kuni 1250 ° C ning seda saab kokku puutuda äärmuslike temperatuuride keskkondadega kuni 1450 ° C lühikese aja jooksul.

Suurepärane korrosioonikindlus: Sulatatud kvarts on keemiliselt väga inertne peaaegu kõikide hapete suhtes, välja arvatud vesinikfluoriidhape. Selle happekindlus on 30 korda kõrgem kui keraamikal ja 150 korda kõrgem kui roostevabal terasel. Sulatatud kvarts on kõrgel temperatuuril keemiliselt võrreldamatu, mistõttu on see ideaalne materjal keeruliste keemiliste protsesside jaoks.

Termiline stabiilsus: Sulatatud kvartsi pjedestaalmaterjali põhijooned on selle äärmiselt madal soojuspaisumise koefitsient. See tähendab, et see saab hõlpsalt hakkama dramaatiliste temperatuuri kõikumistega ilma pragunemiseta. Näiteks saab sulatatud ränidioksiidi kvarts kiiresti kuumutada temperatuurini 1100 ° C ja sukelduda otse külma vette kahjustusteta, mis on oluline omadus kõrge stressi tootmistingimustes.

Range tootmisprotsess: sulatatud ränidioksiidi pjedestaalide tootmisprotsess järgib rangelt kõrgeid kvaliteedistandardeid. Tootmisprotsessis kasutatakse kuumvormimis- ja keevitusprotsesse, mis viiakse tavaliselt lõpule 10 000 klassi puhasruumi keskkonnas. Seejärel puhastatakse sulatatud kvartsklaasist pjedestaal põhjalikult ülipuhta veega (18 MΩ), et tagada toote puhtus ja optimaalne jõudlus. Iga valmistoodet kontrollitakse rangelt, puhastatakse ja pakitakse vähemalt 1000. klassi puhasruumi, et see vastaks pooljuhtide tööstuse kõrgetele standarditele.

Kõrge puhtusastmega läbipaistmatu ränikvartsmaterjal

VeTeksemi ALD Fused Quartz Postament kasutab kõrge puhtusastmega läbipaistmatut kvartsmaterjali, et isoleerida tõhusalt soojust ja valgust. Selle suurepärased kuuma- ja valgusvarjestusomadused võimaldavad säilitada protsessikambris ühtlase temperatuurijaotuse, tagades õhukese kihi ühtluse ja konsistentsi.filmide ladestuminevahvli pinnal.

Rakendusväljad

Sulatatud kvartsi pjedestaale kasutatakse paljudes pooljuhtide valdkondades laialdaselt tänu nende suurepärase jõudluse tõttu. Sisseaatomkihtsadestamise (ALD) protsess, toetab see kile kasvu täpset kontrolli ja tagab pooljuhtseadmete edasiliikumise. Aastalmadalrõhu keemilise aurustamise-sadestamise (LPCVD) protsess, kõrge puhtusega kvartsi pjedestaali termiline stabiilsus ja kerge varjestusvõime annab garantiid õhukeste kilede ühtlase ladestumise jaoks, parandades seeläbi seadme jõudlust ja saagikust.

Lisaks tagavad sulatatud kvartsi pjedestaali kõrge temperatuuriresistentsus ja keemiline korrosioonikindlus difusiooniprotsessis pooljuhtmaterjali dopinguprotsessi usaldusväärsuse ja järjepidevuse. Need peamised protsessid määravad pooljuhtide seadmete elektrilise jõudluse ja kvaliteetsed sulatatud kvartsmaterjalid mängivad hädavajalikku rolli nende protsesside parimate tulemuste saavutamisel.

Vetek Semiconductor Ald sulatatud kvartsi pjedestaalipoed: