Tahke SiC fookusrõngas

6. Peamised rakendusväljad

7. Veteksemi tahke SiC fookusrõnga südamiku eelised

Suurepärane plasma korrosioonikindlus

Pikaajalisel kokkupuutel väga söövitavate ja suure tihedusega plasmadega, nagu CF4, O2 ja Cl2, on tavapärased materjalid vastuvõtlikud kiirele kulumisele ja osakestega saastumisele. Meie tahkel SiC fookusrõngal on suurepärane korrosioonikindlus ja korrosioonikiirus on palju väiksem kui materjalidel nagu kvarts või alumiiniumoksiid. See tähendab, et see säilitab aja jooksul sileda pinna, vähendades oluliselt komponentide kulumisest ja kulumisest põhjustatud vahvlidefektide riski, tagades pideva ja stabiilse masstootmise.

Suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus ja soojusjuhtimise jõudlus

Pooljuhtide söövitusprotsess tekitab märkimisväärset soojust, mis põhjustab kambri komponentide järske temperatuurikõikumisi. Meie fookusrõngastel on äärmiselt madal soojuspaisumistegur, mis on võimeline taluma kuni 1600 °C mööduvaid temperatuure ilma pragunemise või deformatsioonita. Lisaks aitab nende loomupärane kõrge soojusjuhtivus hajutada soojust ühtlaselt ja kiiresti, parandades tõhusalt temperatuuri jaotust vahvli serval, suurendades seeläbing söövituse ühtlus ja kriitiliste mõõtmete järjepidevus kogu vahvli ulatuses.

Materjali erakordne puhtus ja struktuurne tihedus

Me kontrollime rangelt ränikarbiidi tooraine puhtust (≥99,999%) ja kõrvaldame metallide saastumise paagutamisprotsessi ajal, et täita täiustatud tootmisprotsesside rangeid nõudeid lisandite jälgede kontrollimiseks. Kõrgel temperatuuril paagutamisel moodustunud tihe struktuur on äärmiselt madala poorsusega, blokeerides peaaegu täielikult protsessigaaside ja kõrvalsaaduste läbitungimise. See hoiab ära töövõime halvenemise ja osakeste kasvu, mis on põhjustatud materjali sisemisest lagunemisest, tagades puhta protsessikambri keskkonna.

Pikaajaline mehaaniline eluiga ja igakülgne kuluefektiivsus

Võrreldes tavaliste kulumaterjalidega, mida tuleb sageli vahetada, pakuvad Veteksemi tahked SiC fookusrõngad erakordset vastupidavust. Nad säilitavad stabiilse jõudluse kogu kasutusaja jooksul, pikendades asendustsükleid mitu korda. See mitte ainult ei vähenda otseselt varuosade hankimise kulusid, vaid parandab oluliselt ka masinate kasutust, vähendades seadmete hoolduse seisakuid, mis toob klientidele kaasa märkimisväärse üldise kulueelise.

Täpne suuruse juhtimine ja paindlikud kohandamisteenused

Mõistame erinevate masinate ja protsesside täpseid nõudeid kulumaterjalidele. Iga fookusrõngas läbib täppistöötluse ja põhjaliku testimise, et tagada kriitilised mõõtmete tolerantsid ±0,05 mm piires. Pakume ka kohandatud teenuseid, sealhulgas kohandatud suurusi, pinnaviimistlusi (poleerimine kuni Ra ≤ 0,2 μm) ja juhtivuse reguleerimist, et need sobiksid ideaalselt teie konkreetsete protsessinõuete ja rakendusstsenaariumitega.

Üksikasjalike tehniliste spetsifikatsioonide, valgete paberite või proovide testimise korra saamiseks võtke ühendust meie tehnilise toe meeskonnaga, et uurida, kuidas Veteksemi saaks teie protsessi tõhusust tõsta.