Ränikarbiidi kate

Halfmoon on grafiidikomponent, mida kasutatakse LPE SiC reaktorites ja mis on peamiselt paigaldatud kambri kuuma tsooni ümber. Kuigi see ei puutu otseselt vahvliga kokku, mängib see siiski rolli gaasivoolu stabiilsuses ja reaktori töös epitaksiaalse kasvu ajal. Kõrge temperatuuri ja reaktiivsete protsessitingimustega toimetulemiseks on komponent tavaliselt kaitstud CVD SiC kattega, samas kui teatud rakenduste jaoks on saadaval ka TaC kate. VETEK tarnib ka grafiitvildist isolatsiooni ja muid kaetud grafiidiosisolatsioone SiC epitaksisüsteemide jaoks.

8-tolline SiC epi ülemine rõngas on pooljuhtreaktorite riistvaraosa. See töötab Si/SiC epitaksi ja MOCVD/CVD süsteemides. See rõngas stabiliseerib soojust kambri sees. Samuti kontrollib see gaasivoogu. Materjal on kõrge puhtusastmega CVD ränikarbiid. Sellel ei ole grafiidiga seotud probleeme. See vähendab ka osakeste saastumist tootmise ajal. Ootame teie päringuid.

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor on täpselt konstrueeritud kandelahendus, mis on spetsiaalselt välja töötatud LED- ja liitpooljuhtide epitaksiaalseks kasvuks. See näitab erakordset termilist ühtlust ja keemilist inertsust keerukates MOCVD keskkondades. Kasutades ära VETEKi ranget CVD-sadestamise protsessi, oleme pühendunud vahvlite kasvu järjepidevuse suurendamisele ja põhikomponentide kasutusea pikendamisele, pakkudes stabiilse ja usaldusväärse jõudluse tagamise iga teie pooljuhtide tootmise partii jaoks.

Veteksemicon Solid Silicon Carbide (SiC) teravustamisrõngas on kriitilise tähtsusega kulukomponent, mida kasutatakse täiustatud pooljuhtide epitaksi- ja plasmasöövitusprotsessides, kus plasmajaotuse, termilise ühtluse ja vahvli servaefektide täpne juhtimine on hädavajalik. Kõrge puhtusastmega tahkest ränikarbiidist valmistatud teravustamisrõngal on erakordne plasma erosioonikindlus, kõrge temperatuuri stabiilsus ja keemiline inertsus, mis võimaldab usaldusväärset jõudlust agressiivsetes protsessitingimustes. Ootame teie päringut.

Veteksemicon SiC Coated Epitaxial Reactor kamber on põhikomponent, mis on loodud nõudlike pooljuhtide epitaksiaalsete kasvuprotsesside jaoks. Kasutades täiustatud keemilist aurustamise-sadestamise meetodit (CVD), moodustab see toode tugeva ja kõrge puhtusastmega SiC katte kõrge tugevusega grafiidist substraadil, mille tulemuseks on suurepärane stabiilsus kõrgel temperatuuril ja korrosioonikindlus. See talub tõhusalt reaktiivgaaside söövitavat mõju kõrge temperatuuriga protsessikeskkondades, vähendab märkimisväärselt tahkete osakeste saastumist, tagab ühtlase epitaksiaalse materjali kvaliteedi ja suure saagise ning pikendab oluliselt reaktsioonikambri hooldustsüklit ja eluiga. See on oluline valik lairibavahega pooljuhtide, nagu SiC ja GaN, tootmise efektiivsuse ja töökindluse parandamiseks.

Ränikarbiidi epitaksiaalse kasvu põhiprotsessis mõistab Veteksemicon, et sustseptori jõudlus määrab otseselt epitaksiaalse kihi kvaliteedi ja tootmise efektiivsuse. Meie kõrge puhtusastmega EPI-sustseptorid, mis on loodud spetsiaalselt ränikarbiidi välja jaoks, kasutavad spetsiaalset grafiidist substraati ja tihedat CVD SiC katet. Oma suurepärase termilise stabiilsuse, suurepärase korrosioonikindluse ja äärmiselt madala osakeste tekkekiirusega tagavad need klientidele võrratu paksuse ja dopingu ühtluse isegi karmides kõrge temperatuuriga protsessikeskkondades. Veteksemiconi valimine tähendab oma täiustatud pooljuhtide tootmisprotsesside usaldusväärsuse ja jõudluse nurgakivi valimist.