8-tolline CVD ränikarbiidiga (SiC) kaetud epitaksi ülemine rõngas

8-tollise SiC Epi ülemise rõnga põhiomadused

● Kõrge puhtusaste: vähemalt 99,9995%. Metall ei rända epikihti. See hoiab vahvlikandja kontsentratsiooni seal, kus see peab olema.

● Osakeste summutamine: CVD struktuur on tihe. Pole poore. See ei eralda tööriista töötamise ajal osakesi. Tehased näevad nii paremat saaki.

● Kuumuskindlus: rõngas püsib stabiilsena 1500°C juures. Madal CTE (termiline paisumine) tähendab, et kiirete soojendamis-/jahutustsüklite ajal ei esine väändumist.

● Keemiline stabiilsus: tahke CVD SiC peab vastu gaasidele H2 ja HCl. Samuti on see vastupidav NH3-le. Sellel pole katet, mida eemaldada. See ei lagune karmides CVD keskkondades.

● Komponendi kasutusiga: pind on äärmiselt kõva. See talub korduvat HF/HCl keemilist puhastust. See vähendab asendamise sagedust. See vähendab ka fabi omamiskulusid.

Tehnilised andmed

Katte paksuse ühtlust partiide vahel kontrollitakse 10 um juures

Rakendused

CVD SiC epi ülemist rõngast kasutatakse laialdaselt:

● Silicon epitaxy (Si Epi) reaktorid

● ränikarbiidi epitaks (SiC Epi)

● MOCVD süsteemid

● CVD-sadestamise seadmed

Tavaliselt seotud:

● Sustseptorid

● Vahvlikandjad

● Eelsoojendage rõngaid

● Epitaksia reaktorid

Miks kasutada VETEK SiC Epi Top Ringi?

● Täielik tootmisvõimsus: 

Alates tooraine puhastamisest kuni täppistöötluse ja CVD-kattamiseni juhib VETEK kogu tootmisprotsessi, et tagada ühtlane pooljuhtkvaliteediga kvaliteet.

● Kõrge täpsus: 

Kasutame mikronitasemel töötlemist. CVD paksus on väga ühtlane. See paneb iga sõrmuse toimima täpselt samamoodi.

KKK

(1) Mida teeb SiC epi ülemine rõngas?

Rõngas juhib soojuse ja gaasi voolu. See tagab, et õhuke kile kasvab ühtlaselt üle vahvli.

(2) Miks on CVD SiC parem kui grafiit?

Grafiit on poorne. Grafiidil on poorid ja see eraldab gaasi. Tahke CVD SiC on tihe ja puhas. See kestab söövitavates tööriistades palju kauem.

(3). Kas 8-tollist SiC ülemist rõngast saab kohandada?

Jah. Ehitame teie konkreetsete tööriistajooniste järgi. Saame teie protsessi põhjal geomeetriat kohandada.

(4). Millistes tööstusharudes kasutatakse SiC epitaksirõngaid?

Neid kasutatakse peamiselt pooljuhtide tootmises, sealhulgas toiteseadmetes, RF-seadmetes ja ränikarbiidiplaatide tootmises.