MOCVD SiC kaetud sustseptor

Tehnilised parameetrid

CVD SIC FILMIKRISTALLI STRUKTUUR

Toote määratlus ja koostis

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor on esmaklassiline vahvleid kandev komponent, mis on loodud spetsiaalselt kolmanda põlvkonna pooljuhtide, nagu GaN ja SiC, epitaksiaalseks töötlemiseks. See toode ühendab kahe suure jõudlusega materjali suurepärased füüsikalised omadused:

Kõrge puhtusastmega grafiitpõhimik: Valmistatud isostaatilise pressimistehnoloogia abil, et tagada alusmaterjali erakordne struktuurne terviklikkus, kõrge tihedus ja termilise töötlemise stabiilsus.

CVD SiC kate: Täiustatud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) tehnoloogia abil on grafiidi pinnale kasvatatud tihe pingevaba ränikarbiidi (SiC) kaitsekiht.

Miks on VETEK teie tootluse garantii?

Ülim täpsus termilise ühtluse juhtimises: Erinevalt tavalistest kandjatest saavutavad VETEK-i sustseptorid kõrgelt sünkroniseeritud soojusülekande kogu pinna ulatuses läbi katte paksuse ja soojustakistuse nanomeetrilise täpsuse juhtimise. See keerukas soojusjuhtimine minimeerib tõhusalt lainepikkuse standardhälbe (STD) vahvli pinnal, parandades märkimisväärselt nii ühe vahvli kvaliteeti kui ka kogu partii konsistentsi.

Pikaajaline kaitse ilma osakesteta saastumisega: Väga söövitavaid gaase sisaldavates MOCVD reaktsioonikambrites on tavalised grafiidist pjedestaalid altid osakeste ketendusele. VETEKi CVD SiC kate omab erakordset keemilist inertsust, toimides läbimatu kilbina, mis sulgeb grafiidi mikropoore. See tagab substraadi lisandite täieliku isoleerimise, vältides GaN või SiC epitaksiaalsete kihtide saastumist.

Erakordne väsimuskindlus ja kasutusiga:Tänu VETEKi patenteeritud liidese töötlemisprotsessile saavutab meie SiC kate optimeeritud soojuspaisumise sobivuse grafiidist substraadiga. Isegi äärmuslike temperatuuride vahelise kõrgsagedusliku termilise tsükli korral säilitab kate suurepärase nakkuvuse ilma koorumiseta või mikropragude tekkimiseta. See vähendab oluliselt varuosade hoolduse sagedust ja alandab teie kogu omamiskulusid.

Meie töötuba