SiC Coating Epi vastuvõtja

Vetek Semiconductor on Hiinas professionaalne SiC Coating Epi retseptori tootja.

Vetek Semiconductori SIC -katte EPI -osutaja on valmistatud grafiidist ja räni karbiidist. See SIC -kattetoode kasutab imporditud grafiiti, millel on stabiilsem jõudlus ja pikk kasutulu ning mida meie Euroopa ja Ameerika kliendid kiidetakse väga. Samal ajal on SIC -katte EPI -osutaja kontsentratsioon alla 5 ppm ja ühtlus on väga hea. Pärast pidevat tehnoloogilist versiooniuuendusi kasutab Vetek Semiconductor uut protsessi, et moodustada hea vaste SIC -katte ja grafiidmaterjalide soojuspaisumisteguri vahel.

SiC Coating Epi Susceptor on spetsiaalselt kasutatav kõrgel temperatuuril ja söövitavas keskkonnas pooljuhtseadmetes. SiC Coating Epi sustseptorit kasutatakse tavaliselt sellistes seadmetes nagu AIXTRON, eriti sügava ultraviolettkiirguse epitaksia (DUV Epitaxy) protsessis, mängides võtmerolli.

Sügavas ultraviolettkiirguse epitaxy (DUV epitaxy) protsessis koos SIC -katte EPI vastuvõtja suurepärase kõrge temperatuuriresistentsuse ja korrosioonikindlusega paigaldatakse Aixtroni seadmena reaktsioonikambri ümber SIC -kattekambri ümber epitaksiaprotsessis epitaksiaprotsessis tavaliselt reaktsioonikambri ümber. seadme kahjustamine või saastumine.

See SiC-kattega Epi sustseptor on mõeldud sügava ultraviolettkiirguse epitaksia jaoks. Me kontrollime rangelt ränikarbiidkatet, kasutame puhverkihi tehnoloogiat, et vähendada probleeme, mis on põhjustatud grafiidist ja ränikarbiidist katete soojuspaisumistegurite erinevustest, pikendades seega toote eluiga. Praegu on meie toode pälvinud arvukalt tunnustusi ja on tunnistatud üheks parimaks koduturul.

SiC Coating toodete tööstusharu liidrina toetab VeTek Semiconductor toodete kohandamisteenuseid ja rahuldavaid tootehindu ning ootab teie edasist konsultatsiooni.

CVD SIC -filmi SEM -andmed:

Vetek Semiconductor SIC -katte seelikutoodete poodid:

Ülevaade pooljuhtkiibi epitaxy tööstusahelast: