Mis on elektrostaatiline padrun (ESC)?

Elektrostaatiline padrun (ESC), tuntud ka kui elektrostaatiline padrun (ESC, E-Chuck), on kinnitus, mis kasutab adsorbeeritud materjali hoidmiseks ja kinnitamiseks elektrostaatilise adsorptsiooni põhimõtet. See sobib vaakumi- ja plasmakeskkonda. Selle peamine funktsioon on ultrabi adsorbPuhastage õhukesed lehed (näiteks räni vahvlid) ja hoidke adsorbeeritud materjali hea tasapinnaga, mis võib pärssida ka adsorbeeritud materjali deformatsiooni protsessi ajal ja see võib reguleerida adsorbaadi temperatuuri.

Elektrostaatiline padrun (ESC) on spetsiaalne padrun, mis kasutab objektide (töörühmade) hoidmiseks, vajutamiseks ja korjamiseks elektrostaatilist jõudu. Mis tahes materjal kannab positiivseid ja negatiivseid laenguid, mis on palja silmaga nähtamatud. Kui materjal asetatakse ESC -le ja ESC sisemiste elektroodide jaoks rakendatakse bipolaarset pinget, liiguvad positiivsed ja negatiivsed laengud materjali piires, et see vastaks ESC sisemise elektroodide polaarsusele. Seda ESC ja materjali vahelist külgetõmmet nimetatakse elektrostaatiliseks jõuks ja see on ka meie padrunite aluspõhimõte.

Toote eelised

Sellel on lai töötemperatuuri vahemik (-50 kuni 700 ℃)

Nendel elektrostaatilistel imemistassidel on suurepärane tugevus, soojusjuhtivus ja termiline šokikindlus ning need võivad NGK patenteeritud keraamilise mahutakistuse kontrolli kaudu kohaneda laia temperatuurivahemikuga.

Kõrge korrosioonikindlus

Nendel elektrostaatilistel imemistassidel on suurepärane korrosioonikindlus halogeengaaside suhtes.

Madala osakeskusega töötlemine

Madala osakeskuse ravi saab saavutada pinna töötlemise ja spetsiaalse puhastamise kaudu

Kõrge puhtus

Saadaval on ka tooted, mille puhtus on 99,9% või kõrgem.

Küttefunktsioon

Ületoimelise kütteelemendi manustamise tehnoloogia saab integreerida küttekeha funktsiooniga ja vahvli temperatuuri saab juhtida ± 1%piires.

Jahutusfunktsioon

Nendel elektrostaatilistel imemistassidel on äärmiselt kõrge jahutus jõudlus, mis ühendab keraamilisi plaate kõrge soojusjuhtivuse ja jahutusplaatidega.

Raadiosagedus elektrood

Bulk metallielektroodid võivad samaaegselt pakkuda stabiilset vahvli klammerdamist ja raadiosageduse plasma genereerimist.

Parameeter

1.Pooljuhtide ja elektroonilise tootmise valdkonnas: pooljuhtide ja elektrooniliste tootmisprotsesside ajal kasutatakse õhukeste ja habraste räni vahvlite, vahvlite jms kinnitamiseks ja käitlemiseks elektrostaatilisi imemistasse. Selle eelised on tugevas adsorptsioonijõus, mehaanilise stressi puudumise ja lihtsa tööga, mis parandab tootmise tõhusust ja toote kvaliteeti tõhusalt.

2. Klaasi- ja keraamikatööstus: klaasi ja keraamika lõikamise, lihvimise ja käitlemise käigus võivad elektrostaatilised imemistapid teha hapratel materjalidel mittepurustavaid toiminguid, vähendades toote purunemiskiirust.

3. Täpsete masinate ja optiliste komponentide tootmine: Täpsete masinate ja optiliste komponentide jaoks võivad elektrostaatilised imemistapid tagada stabiilse adsorptsioonijõu, hoides ära deformatsiooni või kriimustusi töötlemise ajal.

4. Automatiseeritud tootmisliinid: automatiseeritud tootmisliinides kasutatakse elektrostaatilisi iminaitopse laialdaselt osade positsioneerimisel, käitlemisel ja monteerimisel jne, suurendades tootmisliini automatiseerimise ja tõhususe astet.