TAC kaetud kolme petaalse rõngaga

Vetek Semiconductor on professionaalne Hiina TAC-i kaetud kolme petaalse rõngatootja ja tarnija. TAC-i kaetud kolme petaalset rõngast kasutatakse Aixtron G10-depositsioonisüsteemis ühendi pooljuhtide jaoks, G10-gan 150/200 mm suure läbilaskevõimega epitaksia jaoks Gan Power & RF jaoks Gan Power & RF jaoks. applications.

VeTek Semiconductor TaC kate on uue põlvkonna kõrgel temperatuuril vastupidav materjal, millel on parem kõrge temperatuuri stabiilsus kui SiC, korrosioonikindla kattena, oksüdatsioonikindla kattekihina, kulumiskindla kattena, mida saab kasutada keskkonnas, mille temperatuur on üle 2000 ℃, mida kasutatakse laialdaselt kosmosetööstuse ülikõrge temperatuuriga kuuma otsa osad, kolmanda põlvkonna pooljuhtide monokristallide kasvu ja muud valdkonnad.

Tooteomadused:

1. Kõrge puhtusastmega, lisandite sisaldus < 5ppm

2. High temperature resistance, corrosion resistance, high density, high density

3. See on kõrgel temperatuuril keemiliselt inertne ammoniaagi, vesiniku, silaani ja räni suhtes ning sellel on hea termiline stabiilsus.

4. Soojusšoki vastupidavus, võib kiirendada töötsüklit

5. tugev grafiidi adhesioon tagab pika tööea ja katte delaminatsiooni puudumise.

6. Ranged mõõtmete tolerantsid.

Peamised rakendused:

1. epitaksiaalne kasv

2. ühekristallide kasv

3. Kõrge temperatuuriga korrosiooni ümbersuunamine

4. Kõrge temperatuur ja oksüdatsiooniresistent otsik

5. Gaasiturbiini labad

TAC-i kaetud kolme petaalse rõnga tooteparameeter

VeTeki pooljuhtide tootmispood: