Pooljuhtide termopihustustehnoloogia

Pooljuhtide termiline pritsimistehnoloogia on täiustatud protsess, mis pritsib katte moodustamiseks substraadi pinnale sulatatud või poolmuutud olekus materjale. Seda tehnoloogiat kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmise valdkonnas, mida kasutatakse peamiselt substraadi pinnal olevate konkreetsete funktsioonidega kattekihtide loomiseks, näiteks juhtivus, isolatsioon, korrosioonikindlus ja oksüdatsiooniresistentsus. Termilise pihustamise tehnoloogia peamised eelised on kõrge efektiivsuse, kontrollitav katte paksus ja hea kattekraami adhesioon, mis muudab selle eriti oluliseks pooljuhtide tootmisprotsessis, mis nõuab suurt täpsust ja usaldusväärsust.

Termopihustustehnoloogia rakendamine pooljuhtides

Plasmakiirte söövitus (kuiv söövitus)

Tavaliselt viitab hõõguva tühjenemise kasutamine, et genereerida aktiivseid osakesi, mis sisaldavad laetud osakesi, nagu plasma ja elektronid, ning väga keemiliselt aktiivsed neutraalsed aatomid ja molekulid ja vabad radikaalid, mis difundeeruvad söövitatava osaga, reageerivad söövitava materjaliga, moodustavad lenduvad, lenduvad materjalid, moodustavad lenduvad materjalid, moodustavad lenduvad materjalid tooted ja eemaldatakse, täites seeläbi mustriülekande söövitustehnoloogia. See on asendamatu protsess, et realiseerida peente mustrite ülekandumist fotolitograafia mallidest vahvliteni ülikergete integreeritud vooluahelate tootmisel.

Genereeritakse suur arv aktiivseid vabade radikaalide, näiteks CL ja F. Pooljuhiseadmete söövitamisel söövitavad nad seadmete muude osade sisepindu, sealhulgas alumiiniumsulamid ja keraamilised konstruktsiooniosad. See tugev erosioon tekitab suure hulga osakesi, mis mitte ainult ei nõua tootmisseadmete sagedast hooldamist, vaid põhjustab ka söövitamisprotsessi kambri rikke ja seadme kahjustusi rasketel juhtudel.

Y2O3 on väga stabiilsete keemiliste ja termiliste omadustega materjal. Selle sulamistemperatuur on palju üle 2400 ℃. See võib püsida stabiilsena tugevas söövitavas keskkonnas. Selle vastupidavus plasma pommitamisele võib oluliselt pikendada komponentide kasutusiga ja vähendada osakesi söövituskambris.

Peavoolulahus on söövituskambri ja muude võtmekomponentide kaitsmiseks pihustada kõrge puhtusega Y2O3 katte.