Füüsiline aurustamine-sadestamine

Vetek Semiconductor on Hiina tootja, kes tarnib täiustatud pooljuhtmaterjale füüsilise aurustamise-sadestamise protsessis, näiteksSIC kaetud tiiglis, klaasjas süsiniktiigel,SiC kattega grafiitküttekehad,Elektronkiirrelvade aurustustiiglid.

PVD protsessi põhiprintsiibid

Füüsikaliste aurude sadestumisprotsessid hõlmavad tavaliselt mitmesuguseid konkreetseid meetodeid, näiteks aurustumine, pritsimine ja ioonide pindamine. Sõltumata kasutatud meetodist on füüsilise aurude sadestumise aluspõhimõte materjali aurutamine allikast kõrge temperatuuriga kütte- või ioonide pommitamise kaudu. Aurustatud materjal liigub vaakumis või madalrõhukeskkonnas aatomite või molekulide kujul ja kondenseerub substraadi pinnal oleva õhukeseks kileks. See protsess saavutatakse peamiselt füüsikaliste vahenditega, vältides seega keemiliste reaktsioonide mõju materjali puhtusele.

Füüsilise aurustamise-sadestamise tehnoloogia eelised

Suur puhtus ja kõrge tihedus: PVD deponeeritud kiledel on tavaliselt kõrge puhtus ja tihedus, mis võib oluliselt parandada katte jõudlust, näiteks kulumiskindlus, korrosioonikindlus ja kõvadus.

Tugev filmi adhesioon: PVD -protsess võib moodustada substraadile tugeva adhesiooniga filmi, tagades, et filmi pole kasutamise ajal kerge koorida, pikendades toote kasutusaega.

Lai materjalivalik: PVD-tehnoloogiat saab rakendada mitmesugustele materjalidele, sealhulgas metallidele, keraamikale ja sulamitele, ning sellega saab valmistada erinevaid funktsionaalseid katteid, nagu juhtivad, isoleerivad, kuumakindlad ja oksüdatsioonivastased katted.

Keskkonnakaitse ja jätkusuutlikkus: Võrreldes selliste protsessidega nagu keemiline aurude ladestumine (CVD), on füüsikalise aurude sadestamise (PVD) protsess keskkonnasõbralikum, ei hõlma kahjulike gaaside genereerimist ja vähendab keskkonda saastet.

PVD tehnoloogia rakendamine

Pooljuhtide tööstus: Pooljuhtide tootmisel kasutatakse õhukeste kile elektroodide, difusioonbarjääride ja metallide ühenduste valmistamisel sageli füüsilist aurude ladestumist, et tagada komponentide hea juhtivus ja stabiilsus.

Optilised seadmed: Füüsikalise aurude sadestamise tehnoloogiat kasutatakse laialdaselt optiliste kattete puhul, näiteks peeglite ja läätsede peegeldavate kattekihtide ning optiliste filtrite tootmine optiliste seadmete jõudluse parandamiseks.