Räni karbiidi keraamiline kattega grafiidi kütteseade

See pooljuht Räni karbiidi keraamiline kattega grafiidi kütteseadeÜhendab grafiidi suurepärase elektrilise ja soojusjuhtivuse kõrge temperatuuri vastupidavuse, korrosioonikindluse ja räni süsiniku keraamilise katte kulumiskindlusega ning on mõeldud karmile pooljuhtide tootmiskeskkonnale. 

Räni karbiidi keraamiline kattega grafiidi kütteseadekasutatakse peamiselt vaakumkatte (aurustumise) seadmetes ning tavaliselt kasutatavad meetodid on PCD (plasma keemiline kuivatamine) ja PVD (füüsikaline aurude ladestumine). See toode on mänginud olulist rolli tehnoloogia arengu edendamisel ja tootmise tõhususe parandamisel pooljuhtide tööstuses.Ootame siiralt edasist koostööd teiega.

Räni karbiidi keraamilise katte grafiidiküttekeha materiaalsed ja struktuurilised omadused on järgmised:

Grafiidi substraat: Grafiit on tuntud oma kõrge soojusjuhtivuse ja madala soojuspaisumise koefitsiendi poolest. See võib temperatuurimuutustele kiiresti reageerida ja säilitada kõrgetel temperatuuridel struktuuri stabiilsust.

Räni süsinik keraamiline katmine: SIC -kattekiht on grafiidi pinnal ühtlaselt kaetud läbi keemilise aurude ladestumise või muude täiustatud protsesside. SIC-l on äärmiselt kõrge kõvadus ja keemiline korrosioonikindlus, mis võib kaitsta grafiidi substraati kõrge temperatuuri oksüdatsiooni ja söövitava keskkonna eest.

Räni karbiidi keraamilise kattega grafiidiküttekeha spetsiaalne tootekonstruktsioon määrabSelle toote asendamatu toote eelised pooljuhtide töötlemisprotsessis:

Tõhus ja ühtlane küte:

Soojusjuhtivus: Grafiidi kõrge soojusjuhtivus võimaldab kütteseadet kiiresti jõuda ja säilitada nõutava temperatuuri ning SIC -kattekiht tagab soojuse ühtlase jaotuse. See on eriti oluline pooljuhtide protsesside jaoks, mis nõuavad täpset temperatuurikontrolli, näiteks kiire termiline töötlemine (RTP) ja keemiline aurude ladestumine (CVD).

Temperatuuri ühtsus: Ühtse soojusjaotuse kaudu võib räni karbiidi keraamilise kattega grafiidikütteseade tõhusalt vähendada soojuspinget ja temperatuuri gradienti, tagades pooljuhtide vahvlite järjepidevuse ja kvaliteedi stabiilsuse kogu kütteprotsessi vältel.

Korrosioonivastane kaitse:

Keemiline vastupidavus: SIC -katte keemiline korrosioonikindlus võimaldab küttekehal töötada stabiilselt ja pikka aega söövitavates gaasi- ja keemilises keskkonnas, vältides grafiidi substraadi kahjustusi. See omadus on eriti kriitiline sellistes protsessides nagu keemiline aurude ladestumine (CVD) ja plasma tugevdatud keemiline aurude ladestumine (PECVD).

Oksüdatsiooniresistentsus: Kõrgetel temperatuuridel võib SIC -kate ära hoida grafiidi substraadi oksüdeerumist, pikendada kütteseadme kasutusaega ja vähendada seadme hoolduse sagedust ja kulusid.

Vähendage osakeste saastumist:

Pinna stabiilsus: SIC-kattekiht ei ole ainult kulumiskindel, vaid takistab ka osakestelt termilise tsükli või keemiliste reaktsioonide tõttu materjali pinnalt maha kukkumist, vähendades seeläbi osakeste saastumise riski, mis võib tekkida pooljuhtide tootmisel ja tagades kõrgpuhastusega protsessikeskkonna.

Parandage protsessi usaldusväärsust ja tõhusust:

Pikaajaline disain: Grafiidi mehaanilise tugevuse ja SIC-katte kulumiskindluse kombinatsiooni tõttu võib räni karbiidi keraamiline kattekiht grafiidi küttekeha säilitada pikka aega karmides protsessitingimustes, parandades oluliselt seadmete üldist usaldusväärsust.

Tõhus energia kasutamine: Grafiidi kõrge soojusjuhtivus ja SIC-katte kõrge temperatuuriga stabiilsus võimaldavad küttekehal vähendada energiatarbimist, parandades samal ajal temperatuuri kontrolli täpsust, parandades seeläbi pooljuhtide tootmise üldist efektiivsust.

Põhilised füüsilised omadusedRäni karbiidi keraamiline kattega grafiidi kütteseade:

See pooljuhtRäni karbiidi keraamiline kattega grafiidi kütteseadekauplused:

Ülevaade pooljuhtkiibi epitaxy tööstusahelast:

/teine ​​protsess