Räni karbiidi vahvli chuck

Vetek Semiconductor Silicon Carbiidi vahvnik Chuck kasutab räni karbiidimaterjalide suurepäraseid omadusi, et vastata pooljuhtide tootmise rangetele nõuetele, eriti pooljuhtide töötlemisel, mis nõuab äärmiselt suurt täpsust ja usaldusväärsust.

Pooljuhtide töötlemisprotsessis,RänikarbiidSelle on suurepärane kõrge temperatuuriga vastupidavus (võib töötada stabiilselt kuni 1400 ° C), madala juhtivusega (sic on suhteliselt madal juhtivus, tavaliselt 10^^^-3S/M) ja madal soojuspaisumistegur (umbes 4,0 × 10^^-6/° C), mis on hädavajalik ja oluline materjal, mis sobib eriti räni karbiidi vahvli valmistamiseks.

Ajalepitaksiaalne kasvuprotsess, õhuke kiht pooljuhtmaterjali ladestub substraadile, mis nõuab vahvlist absoluutset stabiilsust, et tagada ühtlased ja kvaliteetsed kilede sadestumiskihid. SIC -vaakum Chuck saavutab selle, luues kindla, järjepideva vaakum, et vältida vahvli liikumist või deformatsiooni.

Räni karbiidi vahvli Chuck pakub ka suurepärast vastupidavust termilisele šokile. Kiired temperatuurimuutused on pooljuhtide tootmisel tavalised ja materjalid, mis ei talu neid kõikumisi, võivad puruneda, painutada või ebaõnnestuda. Räni karbiidil on madal soojuspaisumistegur ja see suudab oma kuju ja funktsiooni säilitada isegi drastiliste temperatuurimuutuste korral, tagades, et vahvel püsib epitaksia protsessi ajal turvaline ilma liikumise või valesti joondamiseta.

Pealegiepitaksia protsesshõlmab sageli reaktiivseid gaase ja muid söövitavaid kemikaale. SIC -vahvli Chucki keemiline inersus tagab, et need karmid keskkonnad ei mõjuta, säilitades selle jõudluse ja laiendades kasutusaja. See keemiline vastupidavus mitte ainult ei vähenda vahvlipuhasti asendamise sagedust, vaid tagab ka toote järjepideva jõudluse mitmete tootmistsüklite võrreldes, aidates parandada pooljuhtide tootmisprotsessi üldist tõhusust ja kulutõhusust.

Vetek Semiconductor on Hiinas räni karbiidi vahvlite padrunitoodete juhtiv tootja ja tarnija. Saame pakkuda erinevat tüüpi padrunitooteid, näiteksPoorne sic keraamiline padrun, Poorne sic vaakum Chuck, Poorne keraamiline vaakum ChuckjaTAC -i kaetud padrunjne. Vetek Semiconductor on pühendunud pooljuhtide tööstusele täiustatud tehnoloogia- ja tootelahenduste pakkumisele. Loodame siiralt saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

SEM -andmed CVDSIC -kile kristallstruktuur：

Vetek Semiconductor Silicon Carbiidi vahvlipoodid：