Räni karbiidi keraamiline katmine

See pooljuht Räni karbiidi keraamiline katmineon suure jõudlusega kaitsekate, mis on valmistatud äärmiselt kõvast ja kulumiskindlast räni karbiidi (SIC) materjalist, mis tagab suurepärase keemilise korrosioonikindluse ja kõrge temperatuuri stabiilsuse. Need omadused on pooljuhtide tootmisel üliolulised, seetõttu kasutatakse pooljuhtide tootmisseadmete võtmekomponentidel laialdaselt räni karbiidi keraamilist katet.

See pooljuht Silicon karbiidi keraamilise katte spetsiifiline roll on pooljuhtide tootmiseljärgmiselt:

Parandada seadmete vastupidavust: Räni karbiidi keraamiline kate pakub suurepärase pinnakaitse pooljuhtide valmistamisseadmetele, millel on äärmiselt kõrge kõvadus ja kulumiskindlus. Eriti kõrge temperatuuriga, väga söövitava protsessi keskkondades, näiteks keemilise aurude ladestumise (CVD) ja plasma söövitamise korral, võib räni karbiidi keraamiline kattes tõhusalt takistada seadme pinna kahjustusi keemilise erosiooni või füüsilise kulumise tõttu, ulatudes sellega märkimisväärselt ja vähendades märkimisväärselt tööstusaega sagedase asendamise ja hoolduse tõttu.

Parandada protsessi puhtust: Pooljuhtide tootmisprotsessis võib iga pisike saastumine põhjustada tootepuudusi. Räni karbiidi keraamilise katte keemiline inersus võimaldab tal püsida ekstreemsetes tingimustes stabiilseks, takistada materjali osakesi või lisandeid vabastamast ja tagada protsessi ajal keskkonna puhtus. See on eriti oluline tootmisetappide jaoks, mis nõuavad suurt täpsust ja suurt puhtust, näiteks PECVD ja ioonide implanteerimine.

Optimeerida termilist juhtimist: Kõrgete temperatuuridega pooljuhtide töötlemisel, nagu kiire soojus töötlemine (RTP) ja oksüdatsiooniprotsessid, võimaldab räni karbiidi keraamilise katte kõrge soojusjuhtivus seadme sees ühtlast temperatuuri jaotust. See aitab vähendada temperatuuri kõikumistest põhjustatud soojuspinget ja materjali deformatsiooni, parandades seeläbi toodete tootmise täpsust ja järjepidevust.

Toetage keerulist protsessikeskkonda: Protsessides, mis vajavad keerulist atmosfääri kontrolli, näiteks ICP söövitus- ja PSS-söövitusprotsessid, tagavad räni karbiidi keraamilise kattekütteseadise stabiilsus ja oksüdatsiooniresistentsus seadmete stabiilse jõudluse pikaajalise töö korral, vähendades keskkonnamuutuste tõttu materjali lagunemise või seadmete kahjustuste riski.

See pooljuhtkeskendub suure jõudlusega tootmisele ja tarnimiseleRäni karbiidi keraamiline katmine, ja on pühendunud pooljuhtide tööstusele arenenud tehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele.Loodame siiralt olla teie pikaajaline partner Hiinas.

Põhilised füüsilised omadusedRäni karbiidi keraamiline katmine:

See pooljuht Silicon karbiidi keraamiliste kattepoodide poed:

Ülevaade pooljuhtkiibi epitaxy tööstusahelast: