CVD sic -katte kütteelement

CVD sic -katte kütteelementi kasutatakse peamiselt PVD (füüsikalise aurude sadestumise) seadmetes. Aurustusprotsessis kuumutatakse materjali aurustumise või pritsimise saavutamiseks ning lõpuks moodustub substraadil ühtlane õhuke kile.

Ⅰ.Spetsiifiline rakendus

Õhuke kilede sadestumine: CVD SIC -katte kütteelementi kasutatakse aurustusallika või pritsimisallika korral. Kuumutamise teel soojendab element kõrgele temperatuurile ladestuvat materjali, nii et selle aatomid või molekulid eraldatakse materjali pinnast, moodustades sellega auru või plasma. Meie kütteelemendil põhinev SIC -kattekiht võib vahetult soojendada mõnda metalli- või keraamilist materjali, et neid vaakumkeskkonnas aurustuda või sublimeerida, et seda kasutada materiaalse allikana PVD -protsessis. Kuna struktuuril on kontsentrilised sooned, saab see kuumutamise ühtluse tagamiseks paremini kontrollida voolu ja soojust.

Aurustumisprotsessi skemaatiline diagramm

Ⅱ.Tööpõhimõte

Takistuslik kuumutamine, kui vool läbib SIC -kattega küttekeha takistusrada, genereeritakse džauli soojus, saavutades sellega kuumutamise mõju. Kontsentriline struktuur võimaldab voolu ühtlaselt jaotada. Temperatuuri juhtimisseade on elemendiga tavaliselt ühendatud temperatuuri jälgimiseks ja reguleerimiseks.

Ⅲ.Materiaalne ja konstruktsiooni kujundus

CVD SIC-katte kütteelement on valmistatud kõrge puhtusastmega grafiidist ja SIC-kattest, et tulla toime kõrge temperatuuriga keskkonnaga. Kõrgpuhustusega grafiiti ise on laialdaselt kasutatud termilise välja materjalina. Pärast seda, kui CVD-meetodil rakendatakse grafiidi pinnale kattekihti, parandatakse selle kõrgtemperatuuri stabiilsust, korrosioonikindlust, soojuslikku efektiivsust ja muid omadusi veelgi.

Kontsentriliste soonte disain võimaldab voolul moodustada ketta pinnale ühtlase silmuse. See saavutab ühtlase soojusjaotuse, väldib kohalikku ülekuumenemist, mis on põhjustatud kontsentratsioonist teatud piirkondades, vähendab voolukontsentratsioonist põhjustatud täiendavat soojuskadu ja parandab seega kuumutamise tõhusust.

CVD sic -katte kütteelement koosneb kahest jalast ja kehast. Igal jalal on niit, mis ühendatakse toiteallikaga. Vetek Semiconductor võib valmistada üheosalisi osi või jagatud osi, see tähendab, et jalad ja kere valmistatakse eraldi ja seejärel kokku panna. Pole tähtis, millised nõuded teil on CVD SIC -i kaetud küttekeha jaoks, palun pidage meiega ühendust. Veteksemi võib pakkuda vajalikke tooteid.

CVD sic -katte põhilised omadused ：