Räni karbiidi keraamiline kattekütteseade

See pooljuhtRäni karbiidi keraamiline katteküttekeha on küttekeha, mis on mõeldud kõrge temperatuuri ja karmi keskkonna jaoks. See katab kütteelemendi pinnale kihi räni süsiniku keraamilise katte (SIC), et anda seadmele suurepärane soojustakistus, korrosioonikindlus ja soojusjuhtivus. 

Räni karbiidi keraamiline kattekütteseadekasutatakse peamiselt vaakumkatte (aurustumise) seadmetes. Tavaliselt kasutatavad meetodid on PCD (plasma keemiline kuivatamine) ja PVD (füüsikalise aurude sadestumine), mida kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmisel ja muudes kõrge nõudlusega tööstusrakendustes.

Koos räni karbiidi keraamilise katteküttekeha suure jõudlusega kattekujundusega,See võib pakkuda suurepärase küttelahenduse kõrgtemperatuuride jaoks.

Suurepärane soojusjuhtivus: SIC -materjalil on suurepärane soojusjuhtivus, tagades, et kütteseade suudab tööpiirkonnas ühtlase soojuse jaotuse saavutada ja temperatuurigradiente vähendada.

Pakkuge ühtlast soojusjaotust: Räni karbiidi keraamiline katteküttekeha kasutab SIC -materjali kõrget soojusjuhtivust, et saavutada ühtlane temperatuurijaotus kogu küttepiirkonnas. See on kriitilise tähtsusega, et tagada pooljuhtide vahvlite ühtlane kuumtöötlus erinevates kõrgtemperatuurilistes protsessides, näiteks kiire termiline töötlemine (RTP), difusioon ja oksüdatsioon, vältides produktide puudusi, mis on põhjustatud kohalikust ülekuumenemisest või ebaühtlast temperatuurist.

Kõrge temperatuuri tolerants: SIC-kate võimaldab küttekehal vastu pidada äärmiselt kõrgetele temperatuuridele, tavaliselt kuni 1600 ° C, mis sobib mitmesuguste kõrgete temperatuuridega töötlemisprotsesside jaoks.

Parandage kuumustakistust: Kuna kattekiht talub äärmiselt kõrgeid temperatuure, toimib see hästi protsessides, mis nõuavad pikaajalist kõrgtemperatuuriga töötamist. Näiteks keemiliste aurude ladestumise (CVD) protsessides võib räni karbiidi keraamiline katteküttekeha tagada seadmete pikaajalise stabiilse töö kõrgel temperatuuril ja säilitada järjepideva kütte jõudluse, parandades sellega protsessi korratavust ja usaldusväärsust.

Keemiline korrosioonikindlus: SIC -kattel on äärmiselt kõrge vastupidavus happe, leelise ja söövitava gaaside suhtes ning see võib pikka aega püsida keerulises keemilises atmosfääri keskkonnas, laiendades seadmete eluiga. 

Seadme eluea pikendamine: SIC -kattel on suurepärane oksüdatsiooniresistentsus ja korrosioonikindlus ning see võib tõhusalt vastu keemilisele erosioonile ja oksüdeerumisele kõrgel temperatuuril. See on pooljuhtide tootmisprotsessis väga kriitiline, eriti söövitavate gaaside ja kemikaalidega tegelevas keskkonnas. Katte kaitsev toime võib märkimisväärselt pikendada küttekeha kasutusaega ja vähendada seadmete asendamise ja hoolduskulude sagedust.

Räni karbiidi keraamilise katteküttekeha põhilised omadused:

Vetek Semiconductor Räni karbiidi keraamiliste katteküttekehade kauplused:

Ülevaade Vetek Semiconductor Chip Epitaxy tööstusahela: