Klaasist süsiniku tiiglik

1. Materjali omadused: mittegramfiteerimata klaasjas süsinik, jõudlus ületab traditsioonilisi materjale kõigis aspektides

Veteksemiconi klaasjas süsiniku tiigel võtab kasutusele kõrge temperatuuriga paagutamise tehnoloogia ja polümeeri eelkäijat töödeldakse temperatuuril 3000 ° C inertses gaasikeskkonnas. Sellel on nii klaasi tihedus kui ka keraamika kõrge temperatuuriga vastupidavus.Põhieelised hõlmavad:

✔ Ülikõrge puhtus: Lisandite sisaldus on väiksem kui 2PPM (näiteks metalli lisandid, näiteks alumiinium ja raud), mis vastab pooljuhtmaterjalide vajadustele.

✔ Äärmuslik temperatuurikindlus: Seda saab kasutada stabiilselt kuni 3000 ° C vaakumis või inertses gaasis ja tugevus suureneb temperatuuri tõusuga (tugevus temperatuuril 2400 ° C on kaks korda suurem kui normaalne temperatuur).

✔ Null poorsus ja võivastane vastavus: Avatud poore pole ja gaasi läbilaskvuse koefitsient on nii madal kui 10⁻⁹ cm²/s, mis võib vältida sulametalli oksüdeerumist või saastumist.

✔ Suurepärane elektriline ja soojusjuhtivus: Soojusjuhtivus 6,3 W/(M · K), takistus 45μΩ · m, sobib kõrgsageduse induktsiooni kuumutamise protsessis.

✔ Keemiline korrosioonikindlus: Tugeva happe, tugeva leelise ja sula soola korrosiooni vastupidav, osakesteta valamist, tagades pooljuhtide tootmise puhtuse.

2. Põhirakenduse stsenaariumid pooljuhtide töötlemisel

Veteksemiconi klaasjas süsiniku tiiglitooted hõlmavad kogu protsessi peamisi seoseid pooljuhtide tootmisel, sisaldades üldiselt:

1) Üksikkristallide räni kasv:

SIC kristallide kasvu ahju jaoks kasutatav isoleeriv kate, soojusvälja stabiilsuse parandamine ja energiatarbimise vähendamine 20%.

Suure puhtuse omadused Vältige räni sulamist ja vähendage võredefekte.

2) ioonide implanteerimine ja söövitusprotsess:

Plasma söövitussüsteemi elektroodi ja gaasi hajutina tagab see ühtlase tühjenemise ja protsessi järjepidevuse.

Iioonide pommitamise omadused pikendavad seadmete eluiga.

3) Metalliseerimine ja sulami sulatamine:

Ideaalne sulami, pallaadiumi ja titaansulamite jaoks, niisutamispind vähendab materjali kadu.

Sobib väga aktiivsete haruldaste metallide (näiteks gallium ja indium) puhastamiseks ja vormimiseks.

Hoiatus: Klaasist süsiniku tiigleid ei saa kasutada kroomium-cobalt-molybdeeni sulamite sulatamiseks. Sarnaselt ei saa neid kasutada hõlpsasti karbiidi, näiteks räni või volframi sulatamiseks.

4) Täiustatud pakendid ja testimine:

Vahvliülekande kandjana (näiv vahvli) ja soojuseflektorina tagab see kõrgtemperatuuriliste protsesside stabiilsuse.

3. Ettevõtte tootmise tugevus: suuremahuline tootmine ja tehnoloogiline innovatsioon

Hiina juhtiva klaasist süsiniku tooraine tarnijana on Veteksemiconil järgmised põhieelised:

✔ Täisprotsessi sõltumatu tootmine

Alates tooraine polümerisatsioonist kuni kõrge temperatuuriga paagutamiseni on kogu protsess kontrollitav, et tagada partii järjepidevus.

Masstootmisvõimsus hõlmab suurtele tiiglistele (näiteks läbimõõduga 132 mm, kõrgus 273 mm spetsifikatsioonid) 5 μm tasemel ultra-õhukese katteid.

✔ Kohandatud töötlemisvõimalused

Toetab mittestandardset suuruse kohandamist (näiteks spetsiaalse kujuga tiiglid, torud, kiled), tolerantsi täpsusega ± 0,2 mm.

✔ Tehnoloogia teadus- ja arendustegevuse reservid

Tehke koostööd Hiina Teaduste Akadeemia teadusuuringute institutsioonidega, et arendada Nano klaasjas süsinikku (tugevus kuni 3GPA) ja laiendada miniatuurse pooljuhtseadmete rakendamist.

Pange välja arenevad väljad, näiteks kütuseelementide bipolaarsed plaadid ja kosmose saba düüsid, et edendada piiriülest materjalide innovatsiooni.