Tantaalkarbiidi kate

VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.

Peamised tooted onTaC-kattega juhtrõngas, CVD TaC-kattega kolme kroonlehega juhtrõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu, CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor, Tantaalkarbiidist katterõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit, TaC katte pöörlemissusseptor, Tantaalkarbiidist rõngas, TaC katte pöörlemisplaat, TaC-ga kaetud vahvli sustseptor, TaC-kattega deflektorirõngas, CVD TaC kate, TaC-kattega padrunjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.

TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. Eelis on näidatud alloleval pildil:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaksimisprotsess. Samuti on sellel laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.

Põhifunktsioonid:

●Temperatuuri stabiilsus

●Ultra kõrge puhtusastmega

●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes

●Vastupidavus termilisele materjalile

●Tugev nake grafiidiga

●Konformne kattekiht

● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)

Rakendused:

●Vahvlikandja

● Induktiivne küttesusseptor

● Resistiivne kütteelement

●Satelliidi ketas

●Dušipea

●Juhtrõngas

●LED Epi vastuvõtja

●Sissepritse otsik

●Maskeeriv rõngas

● Kuumakaitse

Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus	14,3 (g/cm³)
Eriemissioon	0.3
Soojuspaisumise koefitsient	6.3 10^-6/K
Kõvadus (HK)	2000 HK
Vastupidavus	1 × 10^-5Ohm*cm
Termiline stabiilsus	<2500 ℃
Grafiidi suurus muutub	-10-20 um
Katte paksus	≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)

TaC katte EDX andmed：

EDX data of TaC coating

TaC katte kristallstruktuuri andmed:

Element	Aatomiprotsent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskmine
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-katte padrun TaC Coating Planetary Disk
TaC-ga kaetud plaat TaC katte pöörlemisplaat TaC katte vastuvõtja CVD TaC kate kate CVD TaC katterõngas TaC katteplaat

View as

TaC katte pöörlemissusseptor

Hiinas TaC Coating Rotation Susceptor toodete professionaalse tootja, uuendaja ja juhina. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor paigaldatakse tavaliselt keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) ja molekulaarkiire epitaksia (MBE) seadmetesse, et toetada ja pöörata vahvleid, et tagada ühtlane materjali sadestumine ja tõhus reaktsioon. See on pooljuhtide töötlemise põhikomponent. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

CVD TaC kattetiigel

VeTek Semiconductor on CVD TaC Coating Crucible toodete professionaalne tootja ja juht Hiinas. CVD TaC Coating Crucible põhineb tantaalsüsi (TaC) kattel. Tantaal-süsinikkate on tiigli pinnal ühtlaselt kaetud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessiga, et suurendada selle kuumakindlust ja korrosioonikindlust. See on materjalist tööriist, mida kasutatakse spetsiaalselt kõrge temperatuuriga äärmuslikes keskkondades. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

CVD TAC -katte vahvli kandja

Hiinas professionaalse CVD TAC -katte vahvli kandjatoodete tootjana ja tehasena on Vetek Semiconductor CVD TAC -katte vahvlikandja vahvli kandevahend, mis on spetsiaalselt loodud kõrge temperatuuri ja söövitava keskkonna jaoks pooljuhtide tootmisel. ja CVD TAC-katte vahvli kandjal on kõrge mehaaniline tugevus, suurepärane korrosioonikindlus ja termiline stabiilsus, pakkudes vajalikku garantiid kvaliteetsete semikuditeadete tootmiseks. Teie edasised päringud on teretulnud.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

TAC -kattekütteseade

VeTek Semiconductor TaC Coating Coating Heater on äärmiselt kõrge sulamistemperatuuriga (umbes 3880 °C). Kõrge sulamistemperatuur võimaldab sellel töötada äärmiselt kõrgetel temperatuuridel, eriti galliumnitriidi (GaN) epitaksiaalsete kihtide kasvatamisel metalli orgaanilise keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) protsessis. VeTek Semiconductor on pühendunud klientidele kohandatud tootelahenduste pakkumisele. Ootame teid huviga.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

CVD TAC kate

Vetek Semiconductor on Hiina juhtiv CVD TAC -katte toodete tootja. Aastaid oleme keskendunud erinevatele CVD TAC -kattetoodetele, näiteks CVD TAC -kattekattele, CVD TAC -katterõngale. Vetek Semiconductor toetab kohandatud tooteteenuseid ja rahuldavaid tootehindu ning ootab teie edasist konsultatsiooni.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

TAC -i kaetud padrun

Kõrge temperatuuri, keemilise inertsuse ja suurepärase jõudlusega on Vetek Semiconductori TAC -i kaetud padrunid mõeldud pooljuhtide ahjude jaoks. Usume, et meie tooted võivad tuua teile arenenud tehnoloogia ja kvaliteetseid tootelahendusi.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Hiinas professionaalse Tantaalkarbiidi kate tootja ja tarnijana on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite Hiinas valmistatud täiustatud ja vastupidavat Tantaalkarbiidi kate osta, võite jätta meile sõnumi.

QR kood

Meist

Tooted

Võta meiega ühendust

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Aadress
Wangda tee, Ziyangi tänav, Wuyi maakond, Jinhua linn, Zhejiangi provints, Hiina

Veebi menüü

Tooteotsing

Keel

Välju menüüst

Tantaalkarbiidi kate

Põhifunktsioonid:

Rakendused:

Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:

VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte EDX andmed：

TaC katte kristallstruktuuri andmed:

TaC katte pöörlemissusseptor

CVD TaC kattetiigel

CVD TAC -katte vahvli kandja

TAC -kattekütteseade

CVD TAC kate

TAC -i kaetud padrun

Saada päring

QR kood

Meist

Tooted

Võta meiega ühendust

Telefon

Faks

E-post

Aadress