TAC -i kattejuhend Ring

Vetek Semiconductor on professionaalne Hiina TAC -kattejuhendi ring, TAC -katte tiiglis, seemneomaniku tootja ja tarnija.

TaC kate Tiigel, seemnehoidja ja TaC katte juhtrõngas SiC ja AIN monokristallahjus kasvatati PVT meetodil.

Kui SIC valmistamiseks kasutatakse füüsikalist auru transpordimeetodit (PVT), on seemnekristall suhteliselt madala temperatuuriga piirkonnas ja SIC tooraine on suhteliselt kõrgel temperatuuri piirkonnas (üle 2400 ℃). Tooraine lagunemine annab kuuecy (sealhulgas peamiselt Si, SIC₂, Si₂c jne). Aurufaasi materjal transporditakse kõrge temperatuuriga piirkonnast seemnekristallile madala temperatuuriga piirkonnas ning tuuma ja kasvab. Moodustada üksikkristall. Selles protsessis kasutatud soojusväljamaterjalid, näiteks tiigli, voolujuhendi rõngas, seemnekristallhoidja, peaksid olema kõrge temperatuuri suhtes vastupidavad ega saasta SIC toorainet ja SIC -i üksikkristalle. Sarnaselt peavad AlN -i üksikute kristallide kasvu soojenduselemendid olema vastupidavad Al auru, n₂ korrosiooni suhtes ja kristallide preparaadiperioodi lühendamiseks peab olema kõrge eutektilise temperatuuri (ja ALN).

Leiti, et TaC-ga kaetud grafiitsoojusvälja materjalidega valmistatud SiC ja AlN olid puhtamad, peaaegu ei sisaldanud süsinikku (hapnik, lämmastik) ja muid lisandeid, vähem servadefekte, väiksem takistus igas piirkonnas ning mikropooride tihedus ja söövitusava tihedus olid oluliselt vähenenud (pärast KOH söövitamist) ja kristallide kvaliteet paranes oluliselt. Lisaks on TaC tiigli kaalukaotuse määr peaaegu null, välimus on mittepurustav, seda saab taaskasutada (eluiga kuni 200 tundi), võib parandada sellise monokristalli valmistamise jätkusuutlikkust ja tõhusust.

TaC pinnakatte juhtrõnga tooteparameeter:

Tootmispoed:

Ülevaade pooljuhtkiibi epitaxy tööstusahelast: