Tantalumi karbiidi katmise tugi

Vetek Semiconductori peamine funktsioonTantaalkarbiid (TAC) kateTugi on parandadakuumakindlus, kulumiskindlus ja korrosioonikindlussubstraadist, kattes tantaalkarbiidikihi kihi, et parandada protsessi täpsust ja usaldusväärsust ning pikendada komponentide kasutusaega. See on suure jõudlusega kattematerjal, mida kasutatakse pooljuhtide töötlemise valdkonnas.

Vetek Semiconductori karbiidi katmise toetaja MOHSi kõvadus on ligi 9 ~ 10, teisel korral ainult Diamond. Sellel on äärmiselt tugev kulumiskindlus ja see võib töötlemise ajal tõhusalt vastu pinna kulumisele ja mõjule, laiendades sellega tõhusalt seadmete komponentide kasutusaega. Koos oma kõrge sulamistemperatuuriga umbes 3880 ° C, kasutatakse seda sageli pooljuhtide seadmete võtmekomponentide, näiteks tugikonstruktsioonide pinnakatte, kuumtöötlemisseadmete, kambrite või tihendite katteks pooljuhtseadmetes, et suurendada selle kulumiskindlust ja kõrge temperatuurikindlust.

Tantalumkarbiidi äärmiselt kõrge sulamistemperatuuri tõttu umbes 3880 ° C, pooljuhtide töötlemisprotsessides, näiteksKeemiline aurude ladestumine (CVD)jaFüüsiline aurude sadestumine (PVD), TAC -kattekiht tugeva kõrge temperatuuri ja keemilise korrosioonikindlusega võib tõhusalt kaitsta seadmete komponente ja takistada substraadi korrosiooni või kahjustusi äärmuslikes keskkondades, pakkudes tõhusat kaitset vahvli tootmisel kõrgel temperatuuril keskkonnas. See funktsioon määrab ka, et Vetek Semiconductori karbiidi kattekihi tuge kasutatakse sageli söövitus- ja söövitavates protsessides.

Tantalumi karbiidkatte tugi on ka osakeste saastumise vähendamise funktsioon. Vahvli töötlemise ajal tekitab pinna kulumine tavaliselt osakeste saastumist, mis mõjutab vahvli toote kvaliteeti. TAC-katte ekstreemsete toodete omadused, mis on ligi 9-10 MOHS kõvadus, võivad seda kulumist tõhusalt vähendada, vähendades sellega osakeste genereerimist. Kombineerituna TAC -katte suurepärase soojusjuhtivusega (umbes 21 W/m · K) suudab see kõrgetel temperatuuridel säilitada head soojusjuhtivust, parandades sellega oluliselt vahvli tootmise saagikust ja konsistentsi.

Vetek Semiconductori peamised TAC -katte tooted hõlmavadTAC -kattekütteseade, CVD TAC -katte tiiglis, TAC -kattekihi pöörlemisoperatsioonjaTAC -katte varuosajne ja toetage kohandatud tooteteenuseid. Vetek Semiconductor on pühendunud suurepäraste toodete ja tehniliste lahenduste pakkumisele pooljuhtide tööstusele. Loodame siiralt saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Tantaalkarbiid (TAC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:

CVD TAC -katte füüsikalised omadused：