TAC -kattekütteseade

TAC-kattekütteseade on kõrge jõudlusega kütteelement, mida kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmisprotsessides. Selle pind on kaetud tantaalkarbiidi (TAC) materjaliga, mis annab küttekehale suurepärase kõrge temperatuuri vastupidavuse, keemilise korrosioonikindluse ja suurepärase soojusjuhtivuse.

TAC -katteküttekeha peamised rakendused pooljuhtide tootmisel hõlmavad järgmist:

 ✔ Galliumnitriidi (GAN) epitaksiaalse kasvuprotsessi ajal pakub TAC -kattekütteseade täpselt kontrollitud kõrge temperatuuriga keskkonda, et tagada epitaksiaalse kihi ladestumine substraadile ühtlase kiirusega ja kõrge kvaliteediga. Selle stabiilne soojusväljund aitab saavutada õhukeste kilematerjalide täpset kontrolli, parandades seeläbi seadme jõudlust.

 Veelgi enam, metalli orgaanilise keemilise aurude ladestumise (MOCVD) protsessis koos TAC -katte kõrge temperatuuri vastupidavuse ja soojusjuhtivusega kasutatakse TAC -katte küttekeha tavaliselt reaktsioonigaasi soojendamiseks ja pakkudes ühtlast soojuse jaotust Soodustab selle keemilist reaktsiooni substraadi pinnal, parandades sellega epitaksiaalse kihi ühtlust ja moodustades kvaliteetse kile.

 ✔ TAC -i katteküttekeha toodete tööstusharu juhina toetab Vetek Semiconducto alati toodete kohandamisteenuseid ja rahuldavaid tooteid. Pole tähtis, millised on teie konkreetsed nõuded, sobitame parima lahenduse teie TAC -kattekütteseadme vajaduste jaoks ja ootame teie konsultatsiooni igal ajal.