TAC -katte varuosa

See pooljuhtTAC -katteplaaton spetsiaalne materjal, mida kasutatakse laialdaseltpooljuhtTootmisprotsess. Koos selle kõrge kõvaduse ja kulumiskindlusega, kõrge temperatuurikindluse, korrosioonikindluse, madala hõõrdekoefitsiendi ja hea soojusjuhtivuse korral mängib TAC -katteplaadil asendamatu roll paljudes pooljuhtide töötlemise seostes.

Üldiselt rakendusedTAC -kaetud plaadidPooljuhtide töötlemine on järgmine:

● CVD/ALD kasvu substraat: TAC -kaetud plaatide kõrge temperatuuri takistus, keemiline stabiilsus ja madal hõõrdetegur muudavad need ideaalseks CVD/ALD kasvusubstraatideks. See võib pakkuda stabiilset kasvukeskkonda, et tagada kile ühtlus ja tihedus.

●  Söövitusmaskiplaat: TAC-ga kaetud plaatide kõrge kõvadus ja korrosioonikindlus võimaldab neil taluda suure energiatarbega protsesse nagu plasma söövitus, kui maskiplaate söövitusplaatidena, kaitsta aluseks olevat kilet.

●  CMP poleerimispadja: TAC -kaetud plaatide kulumiskindlus ja madal hõõrdekoefitsient muudavad need ideaalseks materjaliks CMP poleerimispadjade jaoks, mis võivad tõhusalt eemaldada osakesed ja defektid kile pinnalt.

●  Kõrge temperatuuriga ahjutoru: TAC -ga kaetud plaatide kõrge temperatuuri takistus ja korrosioonikindlus võimaldavad neid kasutada kõrge temperatuuriga ahjudes ahjutorudena kõrge temperatuuri lõõmutamiseks, difusiooni ja muude protsesside jaoks.

CVD TAC -katte tehnilised parameetrid：

Vetek Semiconductor TAC CATATION varuosade tootepoed：