TAC -kattekihi pöörlemisoperatsioon

Vetek Semiconductor TAC -kattekihi pöörlemissageldaja on vahvli käitlemise põhikomponent pooljuhtide töötlemisel. OmaTac midaMeieSellel on suurepärane kõrge temperatuuriga tolerants (sulamistemperatuur kuni 3880 ° C), keemilise stabiilsuse ja korrosioonikindluse, mis tagab vahvli töötlemisel suure täpsuse ja kõrge kvaliteedi.

TAC -kattekihi pöörlemissapttor (Tantalum süsiniku kattekihi pöörlemissapttor) on peamiste seadmete komponent, mida kasutatakse pooljuhtide töötlemisel. Tavaliselt on see installitud sisseKeemiline aurude ladestumine (CVD)ja molekulaarkiire epitaksia (MBE) seadmed vahvlite toetamiseks ja pööramiseks, et tagada materjali ühtlane ladestumine ja tõhus reaktsioon. Seda tüüpi toode parandab märkimisväärselt seadmete kasutusaega ja jõudlust kõrgel temperatuuril ja söövitavates keskkondades, kattes substraaditantaami süsinik (TAC) katmine.

TAC -kattekihi pöörlemissaptsor koosneb tavaliselt substraadi materjalina TAC -kattest ja grafiidist või räni karbiidist. TAC on ülikõrge temperatuuriga keraamiline materjal, millel on äärmiselt kõrge sulamistemperatuur (sulamistemperatuur kuni 3880 ° C), kõvadus (Vickersi kõvadus on umbes 2000 hK) ja suurepärane keemiline korrosioonikindlus. Vetek Semiconductor saab CVD -tehnoloogia abil tõhusalt ja ühtlaselt katta substraadi materjali tantaal -süsinikukatte.

Pöörlemisoperatsioon on tavaliselt valmistatud kõrgest soojusjuhtivusest ja suurest tugevusest (grafiit võiränikarbiid), mis võib pakkuda head mehaanilist tuge ja termilist stabiilsust kõrge temperatuuriga keskkonnas. Nende kahe täiuslik kombinatsioon määrab TAC -katte pöörlemisoperatsiooni täiusliku jõudluse vahvlite toetamisel ja pöörlemisel.

TAC -kattekihi pöörlemissapttor toetab ja pöörab vahvli CVD -protsessis. TAC -i Vickersi kõvadus on umbes 2000 hK, mis võimaldab tal vastu seista materjali korduvale hõõrdumisele ja mängida head toetavat rolli, tagades sellega, et reaktsioongaas jaotatakse ühtlaselt vahvli pinnale ja materjal on ühtlaselt ladestunud. Samal ajal võimaldavad TAC -katte kõrge temperatuuri tolerantsi ja korrosioonikindlust seda kasutada pikka aega kõrgel temperatuuril ja söövitavates atmosfäärides, mis väldib tõhusalt vahvli ja kandja saastumist.

Veelgi enam, TAC soojusjuhtivus on 21 W/m · K, millel on hea soojusülekanne. Seetõttu võib TAC -kattekihi pöörlemissapttor soojendada vahvli kõrgete temperatuuri tingimustes ühtlaselt ja tagada gaasi sadestumisprotsessi ühtluse pöörlemisliikumise kaudu, säilitades sellega seeläbi järjepidevuse ja kõrge kvaliteedivahvli kasv.

Tantaalkarbiid (TAC) kate mikroskoopilisel ristlõikel：

TAC -katte füüsikalised omadused：

TAC -kattekihi pöörlemispoodid: