Poorsed räni karbiidi (sic) keraamilised plaadid: suure jõudlusega materjalid pooljuhtide tootmisel

Ⅰ. Mis on poorne sic -keraamiline plaat?

Poorne räni karbiidi keraamiline plaat on poorne struktuur keraamiline materjal, mis on valmistatud räni karbiidist (sic) spetsiaalsete protsesside abil (näiteks vahutamine, 3D-printimine või pooride moodustavate ainete lisamine). Selle põhifunktsioonid hõlmavad järgmist:

● Kontrollitav poorsus: 30% -70% reguleeritav, et rahuldada erinevate rakenduse stsenaariumide vajadusi.

● Pooride ühtlane jaotus: tagage gaasi/vedeliku ülekande stabiilsus.

● Kerge disain: Vähendage seadmete energiatarbimist ja parandage tööefektiivsust.

Ⅱ. Poorsete SIC -keraamiliste plaatide füüsikalised omadused ja kasutaja väärtus

1. Kõrge temperatuuri vastupidavus ja soojusjuhtimine (peamiselt seadme termilise rikke probleemi lahendamiseks)

● Äärmuslik temperatuurikindlus: Pidev töötemperatuur ulatub 1600 ° Cni (30% kõrgem kui alumiiniumoksiidi keraamika).

● Suure efektiivsusega soojusjuhtivus: Soojusjuhtivuse koefitsient on 120 W/(M · K), kiire soojuse hajumine kaitseb tundlikke komponente.

● Ülimalt madala soojuspaisumine: Soojuspaisumistegur on ainult 4,0 × 10⁻⁶/° C, mis sobib tööks äärmiselt kõrgel temperatuuril, vältides tõhusalt kõrge temperatuuri deformatsiooni.

2. keemiline stabiilsus (hoolduskulude vähendamine söövitavates keskkonnas)

● Vastupidav tugevate hapete ja leelise suhtes: suudab taluda söövitavaid meediume nagu HF ja H₂so₄

● Vastupidav plasma erosioonile: Kuivas söövitusseadmetes suureneb elu rohkem kui 3 korda

3. Mehaaniline tugevus (seadmete laiendamine)

● Kõrge kõvadus: Mohsi kõvadus on koguni 9,2 ja kulumiskindlus on parem kui roostevaba teras

● Paindetugevus: 300-400 MPA, toetades vahvleid ilma väändumiseta

4. Poorsete struktuuride funktsionaliseerimine (protsessi saagise parandamine)

● Ühtne gaasi jaotus: CVD protsessi kile ühtlus suurendatakse 98%-ni.

● Täpne adsorptsiooni kontroll: Elektrostaatilise padruni (ESC) positsioneerimise täpsus on ± 0,01mm.

5. Puhtuse garantii (vastavalt pooljuhtide standarditele)

● Nullmetalli saastumine: puhtus> 99,99%, vältides vahvli saastumist

● Isepuhastuvad omadused: mikropoorne struktuur vähendab osakeste sadestamist

Iii. Poorsete SIC -plaatide neli peamist rakendust pooljuhtide tootmisel

1. stsenaarium: kõrgtemperatuuriga protsessiseadmed (difusiooniahju/lõõmutusahju)

● Kasutaja valu punkt: Traditsioonilised materjalid on hõlpsasti deformeeruvad, mille tulemuseks on vahvli lammutamine

● lahendus: Kandusplaadina töötab see stabiilselt alla 1200 ° C keskkonna

● Andmete võrdlus: Termiline deformatsioon on 80% madalam kui alumiiniumoksiidi oma

2. stsenaarium: keemiline aurude ladestumine (CVD)

● Kasutaja valu punkt: Ebaühtlane gaasi jaotus mõjutab kilede kvaliteeti

● lahendus: Poorne struktuur paneb reaktsiooni gaasi difusiooni ühtluseni 95% -ni

● Tööstuse juhtum: Rakendatud 3D NAND Flash Memory õhukese kile sadestumise jaoks

3. stsenaarium: kuiv söövitusseadmed

● Kasutaja valu punkt: Plasma erosioon shortensi komponendi elu

● lahendus: Plasmavastane jõudlus pikendab hooldustsüklit 12 kuuni

● kulutõhusus: Seadmete seisakuid vähendatakse 40%

4. stsenaarium: vahvlipuhastussüsteem

● Kasutaja valu punkt: Osade sagedane asendamine happelise ja leelise korrosiooni tõttu

● lahendus: HF happelise vastupidavus paneb kasutusaja rohkem kui 5 aastat

● Kontrollimisandmed: Tugevuse säilitamise määr> 90% pärast 1000 puhastustsüklit

IV. 3 peamist valiku eeliseid võrreldes traditsiooniliste materjalidega

V. KKK tööstuse kasutajatele

Q1: Kas poorne sic -keraamiline plaat sobib galliumnitriidi (GAN) seadme tootmiseks?

Vastus: Jah, selle kõrge temperatuuri vastupidavus ja kõrge soojusjuhtivus sobivad eriti GAN epitaksiaalse kasvuprotsessi jaoks ja neid on rakendatud 5G tugijaama kiipi tootmiseks.

Q2: kuidas valida poorsuse parameeter?

Vastus: Valige vastavalt rakenduse stsenaariumile:

● Jaotusgaasoma: Soovitatav on 40–50% avatud poorsust

● Vaakum adsorptsioon: 60–70% kõrge poorsusega on soovitatav

Q3: Mis vahe on teiste räni karbiidi keraamikaga?

Vastus: Võrreldes tihedagaSic -keraamika, poorsetel konstruktsioonidel on järgmised eelised:

● 50% kaalu vähendamine

● Konkreetse pindala suurenemine 20 korda suureneb

● Termilise stressi vähenemine 30%