Veebi menüü

Tooteotsing

Keel

Tooted

Tantaalkarbiidi kate

VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.


Peamised tooted onTaC-kattega juhtrõngas, CVD TaC-kattega kolme kroonlehega juhtrõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu, CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor, Tantaalkarbiidist katterõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit, TaC katte pöörlemissusseptor, Tantaalkarbiidist rõngas, TaC katte pöörlemisplaat, TaC-ga kaetud vahvli sustseptor, TaC-kattega deflektorirõngas, CVD TaC kate, TaC-kattega padrunjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.


TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. Eelis on näidatud alloleval pildil:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaksimisprotsess. Samuti on sellel laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.


Põhifunktsioonid:

 ●Temperatuuri stabiilsus

 ●Ultra kõrge puhtusastmega

 ●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes

 ●Vastupidavus termilisele materjalile

 ●Tugev nake grafiidiga

 ●Konformne kattekiht

 ● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)


Rakendused:

 ●Vahvlikandja

 ● Induktiivne küttesusseptor

 ● Resistiivne kütteelement

 ●Satelliidi ketas

 ●Dušipea

 ●Juhtrõngas

 ●LED Epi vastuvõtja

 ●Sissepritse otsik

 ●Maskeeriv rõngas

 ● Kuumakaitse


Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus 14,3 (g/cm³)
Eriemissioon 0.3
Soojuspaisumise koefitsient 6.3 10-6/K
Kõvadus (HK) 2000 HK
Vastupidavus 1 × 10-5Ohm*cm
Termiline stabiilsus <2500 ℃
Grafiidi suurus muutub -10-20 um
Katte paksus ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)


TaC katte EDX andmed：

EDX data of TaC coating


TaC katte kristallstruktuuri andmed:

Element Aatomiprotsent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskmine
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tantaalkarbiidkattega poorne grafiit

Tantaalkarbiidkattega poorne grafiit

Tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit on pooljuhtide töötlemise protsessis, eriti SIC-kristallide kasvatamise protsessis, asendamatu toode. Pärast pidevaid teadus- ja arendustegevuse investeeringuid ning tehnoloogia uuendamist on VeTek Semiconductori TaC-kattega poorse grafiidi tootekvaliteet pälvinud Euroopa ja Ameerika klientide kõrget kiitust. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor

CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor

CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor on MOCVD planetaarreaktori üks põhikomponente. CVD TaC-kattega planetaarse SiC epitaksiaalse sustseptori kaudu tiirleb suur ketas ja väike ketas pöörleb ning horisontaalse voolu mudelit laiendatakse mitme kiibiga masinatele, nii et sellel on nii kvaliteetne epitaksiaalse lainepikkuse ühtluse haldamine kui ka üksikute defektide optimeerimine. -kiibimasinad ja mitmekiibiliste masinate tootmiskulude eelised. VeTek Semiconductor võib pakkuda klientidele väga kohandatud CVD TaC-i katab planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor. Kui ka Sina tahad teha sellist planetaarset MOCVD ahju nagu Aixtron, tule meie juurde!
Vaata rohkem >> Saada päring >>
TAC -kaetud rõngas

TAC -kaetud rõngas

Hiinas juhtiva TAC -kaetud rõngatoodete tootja ja tarnijana on Vetek Semiconductor keskendunud erinevate TAC -katte toodete teadus- ja arendustegevusele ja tootmisele. TAC -kattetoodete peamiste klientidena on Euroopa ja Ameerika tootjad meie kattetooteid kõrgelt kiitnud. Tere tulemast oma edasisele konsultatsioonile.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
Gan Epitaxy Undertaker

Gan Epitaxy Undertaker

Vetek Semiconductor on Hiina ettevõte, mis on maailmatasemel tootja ja Gan Epitaxy-osutaja tarnija. Oleme töötanud pooljuhtide tööstuses, näiteks räni karbiidi katted ja pikka aega Gan Epitaxy vastuvõtja. Saame teile pakkuda suurepäraseid tooteid ja soodsaid hindu. Vetek Semiconductor loodab saada teie pikaajaliseks partneriks.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
TAC -i kaetud vahvli vastuvõtja

TAC -i kaetud vahvli vastuvõtja

Vetek Semiconductor TAC -kaetud vahvli vastuvõtja on grafiidialus, mis on kaetud tantaalkarbiidiga räni karbiidi epitaksiaalse kasvu jaoks, et parandada vahvli kvaliteeti ja jõudlust. Vetek on valitud selle täiustatud kattetehnoloogia ja vastupidavate lahenduste tõttu, et tagada suurepärased sic epitaxy tulemused ja laiendatud vastuvõtja eluiga, tervitada oma täiendavaid päringuid.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
TAC -kattejuhend Rõngad

TAC -kattejuhend Rõngad

Hiinas juhtiva TAC -kattejuhend Rõngaste toodete tootjana on Veteki pooljuhtide TAC -i kattega giidrõngad MOCVD -seadmetes olulised komponendid, tagades täpse ja stabiilse gaasi kohaletoimetamise epitaksiaalse kasvu ajal ning on pooljuhtide epitaksiaalse kasvu korral hädavajalik materjal. Tere tulemast meiega nõu pidama.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
Hiinas professionaalse Tantaalkarbiidi kate tootja ja tarnijana on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite Hiinas valmistatud täiustatud ja vastupidavat Tantaalkarbiidi kate osta, võite jätta meile sõnumi.
Uudiste soovitused
Kuidas parandab TaC kate grafiitkomponentide kasutusiga? - VeTeki pooljuht
Kuidas parandab TaC kate grafiitkomponentide kasutusiga? - VeTeki pooljuhtVaata rohkem >>
Füüsilise aurude ladestumise põhimõtted ja tehnoloogia (1/2) - Vetek Semiconductor
Füüsilise aurude ladestumise põhimõtted ja tehnoloogia (1/2) - Vetek SemiconductorVaata rohkem >>
Kiibitootmise protsessi täielik selgitus (2/2): vahvlilt pakendamise ja testimiseni
Kiibitootmise protsessi täielik selgitus (2/2): vahvlilt pakendamise ja testimiseniVaata rohkem >>
Miks paistab 3C-SIC paljude SIC polümorfide seas silma? - Veteki pooljuht
Miks paistab 3C-SIC paljude SIC polümorfide seas silma? - Veteki pooljuhtVaata rohkem >>
Mis vahe on MBE ja MOCVD tehnoloogiate vahel?
Mis vahe on MBE ja MOCVD tehnoloogiate vahel?Vaata rohkem >>
Sanan Optoelectronics Co., Ltd.: 8-tollised SiC kiibid pannakse tootmisse eeldatavasti detsembris!
Sanan Optoelectronics Co., Ltd.: 8-tollised SiC kiibid pannakse tootmisse eeldatavasti detsembris!Vaata rohkem >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept