Tooted

Tantaalkarbiidi kate

VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.


Peamised tooted onTaC-kattega juhtrõngas, CVD TaC-kattega kolme kroonlehega juhtrõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu, CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor, Tantaalkarbiidist katterõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit, TaC katte pöörlemissusseptor, Tantaalkarbiidist rõngas, TaC katte pöörlemisplaat, TaC-ga kaetud vahvli sustseptor, TaC-kattega deflektorirõngas, CVD TaC kate, TaC-kattega padrunjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.


TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. Eelis on näidatud alloleval pildil:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaksimisprotsess. Samuti on sellel laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.


Põhifunktsioonid:

 ●Temperatuuri stabiilsus

 ●Ultra kõrge puhtusastmega

 ●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes

 ●Vastupidavus termilisele materjalile

 ●Tugev nake grafiidiga

 ●Konformne kattekiht

 Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)


Rakendused:

 ●Vahvlikandja

 ● Induktiivne küttesusseptor

 ● Resistiivne kütteelement

 ●Satelliidi ketas

 ●Dušipea

 ●Juhtrõngas

 ●LED Epi vastuvõtja

 ●Sissepritse otsik

 ●Maskeeriv rõngas

 ● Kuumakaitse


Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus 14,3 (g/cm³)
Eriemissioon 0.3
Soojuspaisumise koefitsient 6.3 10-6/K
Kõvadus (HK) 2000 HK
Vastupidavus 1 × 10-5Ohm*cm
Termiline stabiilsus <2500 ℃
Grafiidi suurus muutub -10-20 um
Katte paksus ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)


TaC katte EDX andmed

EDX data of TaC coating


TaC katte kristallstruktuuri andmed:

Element Aatomiprotsent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskmine
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tantaalkarbiidkattega rõngas

Tantaalkarbiidkattega rõngas

Hiinas asuva tantaalkarbiidkattega rõngatoodete professionaalse uuendaja ja juhina mängib Veteki pooljuhtide tantaalkarbiidkattega rõngas SIC kristallide kasvu asendamatut rolli koos suurepärase kõrge temperatuuriga vastupidavuse, kulumiskindluse ja suurepärase soojusjuhtivusega. Tere tulemast oma edasist konsultatsiooni.
Poorne tantaalkarbiid

Poorne tantaalkarbiid

Vetek Semiconductor on Hiinas asuvate poorsete tantaalkarbiiditoodete professionaalne tootja ja juht. Poorne tantaalkarbiid toodetakse tavaliselt keemilise aurude sadestamise (CVD) meetodil, tagades selle pooride suuruse ja jaotuse täpse kontrolli ning see on materiaalne tööriist, mis on pühendatud kõrge temperatuuriga äärmuslikele keskkondadele. Tere tulemast oma edasist konsultatsiooni.
TAC -i kattejuhend Ring

TAC -i kattejuhend Ring

Vetek Semiconductori TAC -kattejuhendite rõngas luuakse, rakendades grafiidosadele tantaal -karbiidikatet, kasutades kõrgelt arenenud tehnikat, mida nimetatakse keemiliseks aurude sadestumiseks (CVD). See meetod on väljakujunenud ja pakub erakordseid katteomadusi. TAC -kattejuhendi rõnga abil saab grafiidi komponentide eluiga märkimisväärselt pikendada, grafiidi lisandite liikumist saab maha suruda ning SIC ja AIN -i üksikkristallide kvaliteeti saab usaldusväärselt säilitada. Tere tulemast meile järelepärimisele.
Tantaalkarbiidrõngas

Tantaalkarbiidrõngas

Hiinas asuva tantaalkarbiiditsüklite täiustatud tootja ja tootjana on Veteki pooljuhtide tantaalkarbiiditsüklis äärmiselt kõrge karedus, kulumiskindlus, kõrge temperatuurikindlus ja keemiline stabiilsus ning seda kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmisväljal. Eriti CVD, PVD, ioonide implantatsiooniprotsessi, söövitusprotsessi ning vahvli töötlemise ja transportimise korral on see asendamatu toode pooljuhtide töötlemiseks ja tootmiseks. Ootan teie edasist konsultatsiooni.
Tantaalkarbiidkatte tugi

Tantaalkarbiidkatte tugi

Professionaalse tantaalkarbiidkatte tugitoodete tootja ja Hiinas asuva tehasena kasutatakse VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support tavaliselt pooljuhtseadmete konstruktsioonikomponentide või tugikomponentide pinnakatmiseks, eriti pooljuhtide tootmisprotsessides, näiteks peamiste seadmete komponentide pinnakaitseks. CVD ja PVD. Tere tulemast teie edasisele konsultatsioonile.
Tantaal

Tantaal

Vetek Semiconductor on Hiinas asuva Tantalumi karbiidijuhistoodete professionaalne tootja ja juht. Meie tantaalkarbiid (TAC) juhtrõngas on suure jõudlusega rõngakomponent, mis on valmistatud tantaalkarbiidist, mida tavaliselt kasutatakse pooljuhtide töötlemisseadmetes, eriti kõrge temperatuuriga ja väga söövitavates keskkondades, näiteks CVD, PVD, PVD, söövitus ja difusioon. Vetek Semiconductor on pühendunud pooljuhtide tööstusele arenenud tehnoloogia ja tootelahenduste pakkumisele ning tervitab teie edasisi järelepärimisi.
Hiinas professionaalse Tantaalkarbiidi kate tootja ja tarnijana on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite Hiinas valmistatud täiustatud ja vastupidavat Tantaalkarbiidi kate osta, võite jätta meile sõnumi.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept