Tantaalkarbiidi kate

VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.

Peamised tooted onTaC-kattega juhtrõngas, CVD TaC-kattega kolme kroonlehega juhtrõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu, CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor, Tantaalkarbiidist katterõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit, TaC katte pöörlemissusseptor, Tantaalkarbiidist rõngas, TaC katte pöörlemisplaat, TaC-ga kaetud vahvli sustseptor, TaC-kattega deflektorirõngas, CVD TaC kate, TaC-kattega padrunjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.

TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. Eelis on näidatud alloleval pildil:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaksimisprotsess. Samuti on sellel laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.

Põhifunktsioonid:

●Temperatuuri stabiilsus

●Ultra kõrge puhtusastmega

●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes

●Vastupidavus termilisele materjalile

●Tugev nake grafiidiga

●Konformne kattekiht

● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)

Rakendused:

●Vahvlikandja

● Induktiivne küttesusseptor

● Resistiivne kütteelement

●Satelliidi ketas

●Dušipea

●Juhtrõngas

●LED Epi vastuvõtja

●Sissepritse otsik

●Maskeeriv rõngas

● Kuumakaitse

Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus	14,3 (g/cm³)
Eriemissioon	0.3
Soojuspaisumise koefitsient	6.3 10^-6/K
Kõvadus (HK)	2000 HK
Vastupidavus	1 × 10^-5Ohm*cm
Termiline stabiilsus	<2500 ℃
Grafiidi suurus muutub	-10-20 um
Katte paksus	≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)

TaC katte EDX andmed：

EDX data of TaC coating

TaC katte kristallstruktuuri andmed:

Element	Aatomiprotsent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskmine
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-katte padrun TaC Coating Planetary Disk
TaC-ga kaetud plaat TaC katte pöörlemisplaat TaC katte vastuvõtja CVD TaC kate kate CVD TaC katterõngas TaC katteplaat

View as

TAC -kattekihi pöörlemisplaat

Vetek Semiconductori toodetud TAC-kattekihi pöörlemisplaadil on silmapaistev TAC-kattekiht koos oma erakordse TAC-kattekihiga, TAC-kattekihi pöörlemisplaadil on märkimisväärne kõrge temperatuuriga vastupidavus ja keemiline inentus, mis eristab seda traditsioonilistest lahustest. Meil on loodavad kvaliteetseid tooteid ja ootame oma pikaajalist partneriks ja loodame oma pikaajalisele partnerile.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

TAC -katteplaat

Täpsusega kujundatud ja täiuslikkuseni konstrueeritud Vetek Semiconductori TAC -katteplaat on spetsiaalselt kohandatud erinevate rakenduste jaoks räni karbiidi (sic) üksikute kristallide kasvuprotsessides. TAC -katteplaadi täpsed mõõtmed ja tugev konstruktsioon võimaldavad olemasolevatesse süsteemidesse integreerida, tagades sujuva ühilduvuse ja tõhusa toimimise. Selle usaldusväärne jõudlus ja kvaliteetne kate aitavad SIC kristallide kasvu rakendustes järjekindlaid ja ühtseid tulemusi. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja loodame olla teie pikaajaline partner Hiinas.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

CVD TAC kattekate

Vetek Semiconductori pakutav CVD TAC -kattekate on väga spetsialiseeritud komponent, mis on loodud spetsiaalselt nõudlikeks rakendusteks. Täpsemate funktsioonide ja erakordse jõudluse abil pakub meie CVD TAC -kattekate mitmeid peamisi eeliseid.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

TAC -katteplaneetide vastuvõtja

TAC -i katteplaneetide vastuvõtja on Aixtron Epitaxy seadme erakordne toode. Vetek Semiconductori TAC-kattekiht pakub suurepärast kõrge temperatuuriga vastupidavust ja keemilist ineritust. See ainulaadne kombinatsioon tagab usaldusväärse jõudluse ja pika kasutusaja, isegi nõudlikes keskkondades. Vetek on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele ja pikaajalise partnerina Hiina turul, millel on konkurentsivõimeline hinnakujundus.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

TAC -katte pjedestaali tugiplaat

TAC -kattekiht talub kõrget temperatuuri 2200 ℃. Vetek Semiconductor tagab kõrge puhtuse TAC -katte, mille lisandid on Hiinas alla 5 ppm. TAC -katte pjedestaali tugiplaat on võimeline taluma ammoniaagi vesinikku, argonini epitaksiaalse seadme reaktsioonikambris. See parandab toote kasutusaega. Esitate nõuded, pakume kohandamist.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

TAC -i kattekatted

Vetek Semiconductori TAC-kattekatte Chuckil on pinna kvaliteetne kate, mis on tuntud silmapaistva kõrgtemperatuuri vastupidavuse ja keemilise inertsuse poolest, eriti räni karbiidi (sic) epitaxy (EPI) protsesside osas. Oma erakordsete funktsioonide ja suurepärase jõudluse korral pakub meie TAC-kattekoor Chuck mitmeid peamisi eeliseid. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja loodame olla Hiinas teie pikaajaline partner.

Vaata rohkem >> Saada päring >>

Hiinas professionaalse Tantaalkarbiidi kate tootja ja tarnijana on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite Hiinas valmistatud täiustatud ja vastupidavat Tantaalkarbiidi kate osta, võite jätta meile sõnumi.

QR kood

Meist

Tooted

Võta meiega ühendust

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Aadress
Wangda tee, Ziyangi tänav, Wuyi maakond, Jinhua linn, Zhejiangi provints, Hiina

Veebi menüü

Tooteotsing

Keel

Välju menüüst

Tantaalkarbiidi kate

Põhifunktsioonid:

Rakendused:

Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:

VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte EDX andmed：

TaC katte kristallstruktuuri andmed:

TAC -kattekihi pöörlemisplaat

TAC -katteplaat

CVD TAC kattekate

TAC -katteplaneetide vastuvõtja

TAC -katte pjedestaali tugiplaat

TAC -i kattekatted

Saada päring

QR kood

Meist

Tooted

Võta meiega ühendust

Telefon

Faks

E-post

Aadress