Veebi menüü

Tooteotsing

Keel

Tooted

Tantaalkarbiidi kate

VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.


Peamised tooted onTaC-kattega juhtrõngas, CVD TaC-kattega kolme kroonlehega juhtrõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu, CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor, Tantaalkarbiidist katterõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit, TaC katte pöörlemissusseptor, Tantaalkarbiidist rõngas, TaC katte pöörlemisplaat, TaC-ga kaetud vahvli sustseptor, TaC-kattega deflektorirõngas, CVD TaC kate, TaC-kattega padrunjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.


TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. Eelis on näidatud alloleval pildil:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaksimisprotsess. Samuti on sellel laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.


Põhifunktsioonid:

 ●Temperatuuri stabiilsus

 ●Ultra kõrge puhtusastmega

 ●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes

 ●Vastupidavus termilisele materjalile

 ●Tugev nake grafiidiga

 ●Konformne kattekiht

 ● Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)


Rakendused:

 ●Vahvlikandja

 ● Induktiivne küttesusseptor

 ● Resistiivne kütteelement

 ●Satelliidi ketas

 ●Dušipea

 ●Juhtrõngas

 ●LED Epi vastuvõtja

 ●Sissepritse otsik

 ●Maskeeriv rõngas

 ● Kuumakaitse


Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus 14,3 (g/cm³)
Eriemissioon 0.3
Soojuspaisumise koefitsient 6.3 10-6/K
Kõvadus (HK) 2000 HK
Vastupidavus 1 × 10-5Ohm*cm
Termiline stabiilsus <2500 ℃
Grafiidi suurus muutub -10-20 um
Katte paksus ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)


TaC katte EDX andmed：

EDX data of TaC coating


TaC katte kristallstruktuuri andmed:

Element Aatomiprotsent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskmine
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -katteplaneetide vastuvõtja

TAC -katteplaneetide vastuvõtja

TAC -i katteplaneetide vastuvõtja on Aixtron Epitaxy seadme erakordne toode. Vetek Semiconductori TAC-kattekiht pakub suurepärast kõrge temperatuuriga vastupidavust ja keemilist ineritust. See ainulaadne kombinatsioon tagab usaldusväärse jõudluse ja pika kasutusaja, isegi nõudlikes keskkondades. Vetek on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele ja pikaajalise partnerina Hiina turul, millel on konkurentsivõimeline hinnakujundus.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
TAC -katte pjedestaali tugiplaat

TAC -katte pjedestaali tugiplaat

TAC -kattekiht talub kõrget temperatuuri 2200 ℃. Vetek Semiconductor tagab kõrge puhtuse TAC -katte, mille lisandid on Hiinas alla 5 ppm. TAC -katte pjedestaali tugiplaat on võimeline taluma ammoniaagi vesinikku, argonini epitaksiaalse seadme reaktsioonikambris. See parandab toote kasutusaega. Esitate nõuded, pakume kohandamist.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
TAC -i kattekatted

TAC -i kattekatted

Vetek Semiconductori TAC-kattekatte Chuckil on pinna kvaliteetne kate, mis on tuntud silmapaistva kõrgtemperatuuri vastupidavuse ja keemilise inertsuse poolest, eriti räni karbiidi (sic) epitaxy (EPI) protsesside osas. Oma erakordsete funktsioonide ja suurepärase jõudluse korral pakub meie TAC-kattekoor Chuck mitmeid peamisi eeliseid. Oleme pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega ja loodame olla Hiinas teie pikaajaline partner.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
CVD TAC katterõngas

CVD TAC katterõngas

Pooljuhtide tööstuses on CVD TAC -kattekatterõngas väga soodne komponent, mis on loodud vastama räni karbiidi (SIC) kristallide kasvuprotsesside nõudlikele nõuetele. Vetek Semiconductori CVD TAC-kattekatterõngas pakub silmapaistvat kõrgtemperatuuriga vastupidavust ja keemilist inertsust, muutes selle ideaalseks keskkonnaks, mida iseloomustavad kõrgendatud temperatuurid ja söövitavad seisundid. Oleme pühendunud räni karbiidi üksikute kristallide aksessuaaride tõhusa tootmise loomisele. Pls võtke meiega rohkem küsimusi ühendust.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
LPE sic epi pooleldi

LPE sic epi pooleldi

LPE SiC Epi Halfmoon on spetsiaalne disain horisontaalse epitaksiahju jaoks, revolutsiooniline toode, mis on loodud LPE reaktori SiC epitaksia protsesside tõstmiseks. Sellel tipptasemel lahendusel on mitu põhifunktsiooni, mis tagavad suurepärase jõudluse ja tõhususe kogu teie tootmistoimingute jooksul.Vetek Semiconductor on professionaalne LPE SiC Epi poolkuu tootmisel 6-tollises, 8-tollises. Ootame teiega pikaajalist koostööd.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
LED EPI

LED EPI

Vetek Semiconductor on juhtiv TAC -katte ja SIC -katte grafiidiosade tarnija. Oleme spetsialiseerunud tipptasemel juhitud EPI-osutajate tootmisele, mis on hädavajalik LED-epitaxy protsesside jaoks. Ootan teie edasist konsultatsiooni.
Vaata rohkem >> Saada päring >>
Hiinas professionaalse Tantaalkarbiidi kate tootja ja tarnijana on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite Hiinas valmistatud täiustatud ja vastupidavat Tantaalkarbiidi kate osta, võite jätta meile sõnumi.
Uudiste soovitused
Milline on SIC kasvu põhimaterjal?
Milline on SIC kasvu põhimaterjal?Vaata rohkem >>
Mis on kuum pressitud sic -keraamika?
Mis on kuum pressitud sic -keraamika?Vaata rohkem >>
Mis on klaasjas süsinik - Veteksemicon
Mis on klaasjas süsinik - VeteksemiconVaata rohkem >>
ALD aatomkihtsadestamise retsept
ALD aatomkihtsadestamise retseptVaata rohkem >>
Mis täpselt on kolmanda põlvkonna pooljuht?
Mis täpselt on kolmanda põlvkonna pooljuht?Vaata rohkem >>
Milline on epitaksiaalne protsess?
Milline on epitaksiaalne protsess?Vaata rohkem >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept