Tooted

Tantaalkarbiidi kate

VeTek semiconductor on pooljuhtide tööstusele mõeldud tantaalkarbiidkattematerjalide juhtiv tootja. Meie peamised tootepakkumised hõlmavad CVD-tantaalkarbiidkatte osi, paagutatud TaC-katte osi ränikarbiidi kristallide kasvatamiseks või pooljuhtide epitaksiprotsessiks. Läbinud ISO9001, VeTek Semiconductor kontrollib hästi kvaliteeti. VeTek Semiconductor on pühendunud tantaalkarbiidkatte tööstuse uuendajaks pideva iteratiivsete tehnoloogiate uurimise ja arendamise kaudu.


Peamised tooted onTaC-kattega juhtrõngas, CVD TaC-kattega kolme kroonlehega juhtrõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poolkuu, CVD TaC kattega planetaarne SiC epitaksiaalne sustseptor, Tantaalkarbiidist katterõngas, Tantaalkarbiidiga kaetud poorne grafiit, TaC katte pöörlemissusseptor, Tantaalkarbiidist rõngas, TaC katte pöörlemisplaat, TaC-ga kaetud vahvli sustseptor, TaC-kattega deflektorirõngas, CVD TaC kate, TaC-kattega padrunjne, puhtus on alla 5 ppm, võib vastata klientide nõudmistele.


TaC-katte grafiit saadakse kõrge puhtusastmega grafiidist substraadi pinna katmisel peene tantaalkarbiidi kihiga patenteeritud keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. Eelis on näidatud alloleval pildil:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalkarbiidi (TaC) kate on pälvinud tähelepanu tänu oma kõrgele sulamistemperatuurile (kuni 3880 °C), suurepärasele mehaanilisele tugevusele, kõvadusele ja vastupidavusele termilisele šokkidele, muutes selle atraktiivseks alternatiiviks kõrgemate temperatuurinõuetega liitpooljuhtide epitaksiprotsessidele. nagu Aixtron MOCVD süsteem ja LPE SiC epitaksimisprotsess. Samuti on sellel laialdane rakendus PVT meetodil SiC kristallide kasvuprotsessis.


Põhifunktsioonid:

 ●Temperatuuri stabiilsus

 ●Ultra kõrge puhtusastmega

 ●Vastupidavus H2, NH3, SiH4, Si suhtes

 ●Vastupidavus termilisele materjalile

 ●Tugev nake grafiidiga

 ●Konformne kattekiht

 Suurus kuni 750 mm läbimõõduga (ainus Hiina tootja jõuab selle suuruseni)


Rakendused:

 ●Vahvlikandja

 ● Induktiivne küttesusseptor

 ● Resistiivne kütteelement

 ●Satelliidi ketas

 ●Dušipea

 ●Juhtrõngas

 ●LED Epi vastuvõtja

 ●Sissepritse otsik

 ●Maskeeriv rõngas

 ● Kuumakaitse


Tantaalkarbiidi (TaC) kate mikroskoopilisel ristlõikel:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTeki pooljuht-tantaalkarbiidkatte parameeter:

TaC katte füüsikalised omadused
Tihedus 14,3 (g/cm³)
Eriemissioon 0.3
Soojuspaisumise koefitsient 6.3 10-6/K
Kõvadus (HK) 2000 HK
Vastupidavus 1 × 10-5Ohm*cm
Termiline stabiilsus <2500 ℃
Grafiidi suurus muutub -10-20 um
Katte paksus ≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)


TaC katte EDX andmed

EDX data of TaC coating


TaC katte kristallstruktuuri andmed:

Element Aatomiprotsent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskmine
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
CVD TAC katterõngas

CVD TAC katterõngas

Pooljuhtide tööstuses on CVD TAC -kattekatterõngas väga soodne komponent, mis on loodud vastama räni karbiidi (SIC) kristallide kasvuprotsesside nõudlikele nõuetele. Vetek Semiconductori CVD TAC-kattekatterõngas pakub silmapaistvat kõrgtemperatuuriga vastupidavust ja keemilist inertsust, muutes selle ideaalseks keskkonnaks, mida iseloomustavad kõrgendatud temperatuurid ja söövitavad seisundid. Oleme pühendunud räni karbiidi üksikute kristallide aksessuaaride tõhusa tootmise loomisele. Pls võtke meiega rohkem küsimusi ühendust.
LPE sic epi pooleldi

LPE sic epi pooleldi

LPE SiC Epi Halfmoon on spetsiaalne disain horisontaalse epitaksiahju jaoks, revolutsiooniline toode, mis on loodud LPE reaktori SiC epitaksia protsesside tõstmiseks. Sellel tipptasemel lahendusel on mitu põhifunktsiooni, mis tagavad suurepärase jõudluse ja tõhususe kogu teie tootmistoimingute jooksul.Vetek Semiconductor on professionaalne LPE SiC Epi poolkuu tootmisel 6-tollises, 8-tollises. Ootame teiega pikaajalist koostööd.
LED EPI

LED EPI

Vetek Semiconductor on juhtiv TAC -katte ja SIC -katte grafiidiosade tarnija. Oleme spetsialiseerunud tipptasemel juhitud EPI-osutajate tootmisele, mis on hädavajalik LED-epitaxy protsesside jaoks. Ootan teie edasist konsultatsiooni.
MOCVD sustseptor TaC kattega

MOCVD sustseptor TaC kattega

Vetek Semiconductor on terviklik tarnija, kes on seotud TAC -kattete ja SIC -katteosade uurimise, arendamise, tootmise, kavandamise ja müügiga. Meie teadmised seisnevad TAC-kattega kaasaegse Mocvd-i osakaalu tootmises, millel on ülioluline roll LED-epitaxy protsessis. Me tervitame teid arutama meiega päringuid ja lisateavet.
TAC -i kaetud sügav UV LED -vastuvõtja

TAC -i kaetud sügav UV LED -vastuvõtja

TAC -kate on uue põlvkonna kattekiht, mis areneb karmi keskkonna jaoks. VETEKi pooljuht on integreeritud tarnija, kes tegeleb TAC -kattete teadusuuringute ja arendamise, tootmise, kavandamise ja müügiga. Oleme spetsialiseerunud servaga lõigata TAC-kaetud UV-LED-osutajate tootmisele, mis on LED-epitaksia protsessis olulised komponendid. Meie TAC -i kaetud sügava UV -LED -osutaja pakub kõrget soojusjuhtivust, kõrget mehaanilist tugevust, paremat tootmise efektiivsust ja epitaksiaalse vahvli kaitset. Tere tulemast meile järelepärimisele.
Tantaalkarbiid TAC kaetud poolmoona

Tantaalkarbiid TAC kaetud poolmoona

CVD TaC kattega kaetud poolkuu osad on vastupidavamad kui SiC kattega poolkuu osad. VeTek Semiconductor on Hiinas juhtiv tantaalkarbiidiga kaetud Halfmoon tootja ja tarnija, oleme spetsialiseerunud uurimis- ja arendustegevusele ning tootmisele, suudame kontrollida kvaliteeti ja pakkuda konkurentsivõimelist pakkumist. hind. Olete teretulnud külastama meie tehast, et arutada pikaajalist koostööd.
Hiinas professionaalse Tantaalkarbiidi kate tootja ja tarnijana on meil oma tehas. Ükskõik, kas vajate oma piirkonna konkreetsete vajaduste rahuldamiseks kohandatud teenuseid või soovite Hiinas valmistatud täiustatud ja vastupidavat Tantaalkarbiidi kate osta, võite jätta meile sõnumi.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept