Poorne tantaalkarbiidiga (TaC) kaetud grafiitrõngas

Toote omadused

• Põhivarustus:Mõeldud SiC monokristallide kasvuahjudele, mis töötavad PVT tehnoloogiaga.
• Peamine rakendus:Sobib termoväljasüsteemidele kolmanda põlvkonna pooljuhtide SiC kristallide kasvatamisel.
• Kõrge temperatuuri stabiilsus:TaC kate säilitab struktuurse terviklikkuse ülikõrgete temperatuuride korral, toetades pikemat tööd nõudlikes termilistes keskkondades.
• Korrosioonikaitse:Tihe CVD TaC kiht kaitseb grafiidi substraati räni aurude, süsinikku sisaldavate gaaside ja muude ränikarbiidi kasvu ajal esinevate söövitavate liikide eest.
• Soojusvälja jõudlus:Poorne grafiitpõhi aitab soojust jaotada ja auru transportida, mis aitab säilitada stabiilseid kasvutingimusi.
• Madal saastatus:Kõrge puhtusastmega lähtematerjalid ja tihe kate piiravad lisandite vabanemist ja osakeste eraldumist, mis parandab kristallide kvaliteeti.
• Pikendatud eluiga:TaC kiht parandab oksüdatsioonikindlust, pinna kõvadust ja üldist vastupidavust kõrgendatud temperatuuridel.
• Katte adhesioon:CVD-protsess annab tugeva sideme TaC-kile ja grafiidist substraadi vahel.
• Kohandatud valikud:Mõõtmeid, konstruktsiooni detaile ja katte spetsifikatsioone saab kohandada vastavalt erinevatele ränikarbiidi kasvuahjude nõuetele.

Tehnilised andmed

Rakendused

VETEKi poorset TaC-ga kaetud grafiitrõngast kasutatakse peamiselt:

• SiC monokristallide kasv PVT kaudu
• Kolmanda põlvkonna pooljuhtide tootmine
• SiC substraadi tootmine
• Termoväljasüsteemid kristallide kasvuahjudes
• Kõrge temperatuuriga pooljuhtide töötlemine
• Täiustatud grafiidist kuumatsooni komponendid

KKK

1. Mis on poorne TaC-ga kaetud grafiitrõngas?

See on termovälja komponent SiC kristallide kasvuahjude jaoks. See ühendab poorse grafiitstruktuuri ja CVD TaC kattega, et tagada soojusjuhtimine ja kaitse kõrgtemperatuurse korrosiooni eest.

2. Miks kasutada SiC kristallide kasvatamiseks TaC katet?

TaC tagab stabiilsuse kõrgel temperatuuril ja keemilise vastupidavuse. See kaitseb grafiiti räni aurude rünnaku eest ja aitab säilitada puhast ja stabiilset kasvukeskkonda.

3. Mida pakub poorne grafiidi struktuur?

Poorne disain toetab soojusjaotust ja gaasi transporti ahjus, mis aitab kaasa stabiilsetele SiC kristallide kasvutingimustele.

4. Kas VETEK saab toota kohandatud TaC-kattega grafiitrõngaid?

Jah. VETEK pakub kohandamist vastavalt kliendi joonistele, ahju kujundusele ja protsessi vajadustele, sealhulgas mõõtmetele, substraadi konfiguratsioonile ja katte parameetritele.