SiC Keraamiline vaakumpadrun vahvli jaoks

Minu rivaal sic keraamiline vaakumpadrun vahvlite jaoks on põhikomponent, mis on spetsiaalselt välja töötatud kolmanda põlvkonna pooljuhtide tootmiseks, optimeeritud kõrge temperatuuri ja rõhuga töötlemiskeskkondade jaoks, mida vahvlid kogevad. Kõrge puhtusastmega keraamilistest materjalidest valmistatud täppistöötlus ja spetsiaalne pinnatöötlus tagavad stabiilse vaakumi hoidmise ja suurepärase termilise stabiilsuse nõudlikus pooljuhtide tootmisprotsessis. Meie vaakumpadruneid on kohapeal tõestanud sajad pooljuhtide tootjad, näidates suurepärast jõudlust kriitilistes protsessides, nagu ränidioksiidi epitakseerimine, fotoliioonide implanteerimine. Need lahendavad tõhusalt vahvlite väändumise ja positsioneerimise täpsusega seotud probleeme, mis on põhjustatud materjali kõrgest kõvadusest ja kõrgetest protsessitemperatuuridest.

Üldine tooteteave

Toote äritingimused

Rakendus: Veteksemicon keraamiline vaakumpadrun vahvlile on valmistatud suure jõudlusega keraamilistest materjalidest ja täppistöötlusega, et tagada ülitasane pind ja suurepärane termiline stabiilsus. See pakub usaldusväärseid vahvlite adsorptsiooni ja temperatuuri reguleerimise lahendusi selliste protsesside jaoks nagu epitaksiaalne kasv, ioonide implanteerimine ja fotolitograafia, parandades tõhusalt protsessi saagist ja tootmise efektiivsust.

Teenused, mida saab pakkuda: kliendirakenduse stsenaariumide analüüs, materjalide sobitamine, tehniliste probleemide lahendamine.

Ettevõtte profiil：Veteksemiconil on 2 laboratooriumit, ekspertide meeskond, kellel on 20-aastane materjalikogemus, teadus- ja arendustegevuse ning tootmise, testimise ja kontrollimise võimalused.

Minu rivaal keraamiline vaakumpadrun vahvli südamiku eelisteks

 ● Materjaliteaduse läbimurre

Minu rivaal kasutab ainulaadset materjali koostist ja paagutamisprotsessi, et oluliselt suurendada oma toodete mehaanilist tugevust ja termilist stabiilsust, säilitades samal ajal keraamiliste materjalide suurepärased isolatsiooniomadused. Meie alumiiniumoksiidil põhinevas keraamikas on kasutatud kõrge puhtusastmega tooraineid ja spetsiaalset lisaaine koostist, mis tagab suurepärase mõõtmete stabiilsuse isegi kõrge temperatuuriga keskkondades. Meie ränikarbiidil põhinev keraamika saavutab optimeeritud paagutamisprotsessi kaudu kõrgema soojusjuhtivuse ja parema termilise sobitamise, muutes need eriti hästi sobivaks kõrge temperatuuriga SiC vahvlite töötlemiseks.

 ● Suurepärane soojusjuhtimise jõudlus

Meie ainulaadne mitmekihiline disain ja täppistöötlus tagavad, et padrun säilitab suurepärase termilise ühtluse isegi kõrge temperatuuriga töötingimustes. Ränikarbiidist padruni soojusjuhtivus ületab 200 W/m·K, mis võimaldab kiiret temperatuuri tasakaalustamist ja hoiab vahvli pinna temperatuuri kõikumised ±0,8 °C piires. See suurepärane soojusjuhtimise võime väldib tõhusalt temperatuurimuutustest põhjustatud protsessidefekte ja parandab oluliselt toote saagist.

● Ülitäpne töötlemistehnoloogia

Minu rivaalil on Hiinas juhtivad täppistöötluskeskused, mis kasutavad submikronilise pinna tasasuse saavutamiseks ainulaadseid lihvimis- ja poleerimisprotsesse. Meie ränikarbiidist padrunid saavutavad pinna tasasuse 0,8 μm piires ja pinna kareduse Ra väärtus ei ületa 0,1 μm. See ülitäpne pinnakvaliteet tagab ideaalse sobivuse vahvli ja padruni vahel, pakkudes usaldusväärset tasast võrdlust täppisprotsesside jaoks, nagu fotolitograafia.

● Pikenenud kasutusiga

Tänu optimeeritud materjalide koostisele ja tugevdatud konstruktsioonile on meie toodete kasutusiga võrreldes traditsiooniliste toodetega üle 40%. Spetsiaalsed servatugevdus- ja pinnakattetehnoloogiad võimaldavad meie toodetel taluda sagedasi kinnitus- ja puhastustoiminguid. Alumiiniumoksiidil põhinevad tooted töötavad garanteeritult üle 200 000 korra, samas kui ränikarbiidil põhinevad tooted võivad jõuda üle 500 000 tsükli, vähendades oluliselt meie klientide tegevuskulusid.

● Ökoloogilise keti kontrollimise kinnitus

Minu rivaal keraamiline vaakumpadrun vahvlite ökoloogilise ahela kontrollimiseks hõlmab toorainet kuni tootmiseni, on läbinud rahvusvahelise standardi sertifikaadi ning omab mitmeid patenteeritud tehnoloogiaid, mis tagavad selle töökindluse ja jätkusuutlikkuse pooljuhtide ja uutes energiavaldkondades.

Üksikasjalike tehniliste kirjelduste, valgete paberite või proovide testimise korra saamiseks palunvõtke ühendust meie tehnilise toe meeskonnagauurida, kuidas Veteksemicon saab teie protsesside tõhusust tõsta.